Устройство для измерения параметров пленки в процессе вакуумного испарения вещества

союз ссаетснихСОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХРЕС 1 УБЛИ(51 4 Н 03 М 1/50 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРго дел Ам изсБРетений и отнРцтий(46) 07.09.8 б, Бюл. И 33 ",71) Физико-технический институт низких температур АН УССР (72) М.Я. Фенстер(56) Авторское свидетельство СССР В 255728, кл. Н 03 К 13/20, 1968.Авторское свидетельство СССР 11- 450344, кл. Н 03 К 13/20, 1974 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗ 1 ЖРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ пПЕНКИ В ПРОЦЕССЕ ВАКУУМНОГО ИСПАРЕНИЯ ВЕц 1 ЕСТВА(57) Изобретение, относится к измерительной технике, Цель изобретения повышение точности и расширение функ 80125 208 А 1 циональных вазможностей устроиствадостигается благодаря тому, что вустройство, содержащее кварцевый резонатор 1 и измерительный генератор2, введены цифровой частотомер 3, вычитающий счетчик 4, счетчик 7 толщины, схема 5 сравнения кодов, счетчик8 скорости, схемы 9 и 10 индикации,схема б управления, включающая двухвходовые элементы И-НЕ 11 и 5, элементы НЕ 12 и 2 1, формирователи 13 и17 импульсов, одновибратор 14 блокировки, КВ-триггеры 16 и 8, четырехвходовый элемент И-НЕ 9 и генератор20 тактовых импульсов, с образованием новых связей между элементамиустройства. 2 ил,1256Изобретение относится к измерительной техникеЦелью изобретения является повышение точности и расширение Функциональных возможностей устройства.5На фиг. 1 представлена функциональная схема устройства; на Фиг, 2 диаграммы, поясняющие его работу.Устройство содержит кварцевый резонатор 1, измерительный генератор 10 2, цифровой частотомер 3, вычитающий счетчик 4, схему 5 сравнения кодов, схему 6 управления, счетчик 7 толщины, счетчик 8 скорости, первую схему 9 индикации, вторую схему 10 индика ции, причем в блок 6 управления входят первый двухвходовый элемент И-НЕ 11, первый элемент НЕ 12, первый Формирователь 13 импульсов, одновибратор 14 блокировки, второй двухвхо довый элемент И-НЕ 15, первый КБ- триггер 16, второй Формирователь 17 импульсов, второй КБ-триггер 18, четырехвходовый элемент И-НЕ 19, гене" ратор 20 тактовых импульсов, второй 25 элемент НЕ 21.Кварцевый резонатор 1 соединен с измерительным генератором 2, выход которого соединен с цифровым частотомером 3, выходы декад которого сое- зО динены с установочными входами вычитающего счетчика 4 и с первыми входами схемы 5 сравнения кодов, вторые входы схемы 5 сравнения соединены с кодовыми выходами вычитающего счетчика 4, а выход схемы 5 сравнения - с первым входом схемы 6 управления.Первый выход схемы 6 управления соединен со счетными входами вычитающего счетчика 4, счетчика 7 толщины и счетчика 8 скорости, второй выход схемы 6 управления соединен с входом занесения вычитающего счетчика 4 и входом сброса счетчика 7 толщины, третий выход схемы б управления соединен со сбросовым входом счетчика .8 скорости, четвертый выход схемы б управления . подключен к входам схем 9 и 10 индикации. Кодовые выходы счетчиков 7 и 8 соединены с входами схем 9 и 10 индикации.Схема 6 управления содержит вход "Пуск", соединенный с одним иэ входов первого двухвходового элемента И-НЕ 11, второй вход которого соединен с управляющим выходом частотомера 3, выход которого соединен с входом первого элемента НЕ 12 и входом пер 2082вого формирователя 13 импульсов,входом одновибратора 14 блокировки н сбросовым входом счетчика 8 скорости,Выход первого элемента НЕ 12 соединен с входом второго двухвходового элемента И-НЕ 15, второй вход которого подключен к инверсному выходу первого КБ-триггера 16. Выход второго двухвходового элемента И-НЕ 15 соединен с установочным входом вычитающего счетчика 4, сбросовым входом счетчика 7 толщины и входом второго формироватегя 17 импульсов.Выход первого формирователя 13 импульсов подключен к установочному входу первого КБ-триггера 16, сбросовый вход которого соединен с входом "Общий сброс" схемы 6 управления и сбросовым входом второго КБ-триггера 18. Выход второго формирователя 17 импульсов соединен с установочным входом второго КБ-триггера 18, выход которого подключен к одному иэ входов четырехвходового элемента И-НЕ 19, к второму входу которого подключен выход схемы 5 сравнения кодов, к третьему входу - выход генератора 20 тактовых импульсов. Выход одновибратора 14 блокировки соединен с четвертым входом четырехвходового элемента И-НЕ 19 и второго элемента НЕ 21. Выход четырехвходового элемента И-НЕ 19 подключен к счетным входам счетчиков 4, 7 и 8, а выход второго элемента НЕ 21 соединен с входами управления схем 9 и 10 индикации.Устройство работает следующщ образом.В элемент И-НЕ 11 схемы 6 управления иэ цифрового частотомера поступает импульс "Запуск ЦПИ" (цифропечатающего механизма), свидетельствующий о конце измерения в частотомере 3. Время измерения выбирают, кратным 1 с.Преобразование числа импульсов в значение скорости и толщины пленки производится путем одновременной работы всех счетчиков.После включения схемы 6 управления из первого импульса частотомера 3 в схеме 6 управления вырабатывается сигнал, который подается на вход Б (занесение) вычитающего счетчика 4. Вычитающий счетчик 4 по этому сигналу иэ схемы 6 управления принимает начальное значение кода частотомера 3, после чего в каждом цикле измере3 1256 ния (определяемом следующими импульсами частотомера "Запись ЦПМ") счетчик 4 отслеживает значение кода час- . тотомера 3.Схема 5 сравнения кодов анализиру ет коды, подходящие с частотомера 3 и вычитающего счетчика 4, и подает разрешающий сигнал в схему б управления на выдачу тактовых импульсов только в том случае, если код час тотомера 3 меньше кода счетчика 4. В первом цикле коды частотомера 3 и счетчика 4 всегда равны, При увеличении толщины пленки частота измерительного генератора 2 уменьшается и 15 схема 5 сравнения кодов разрешает из устройства б управления выдачу. тактовых импульсов, которые поступают на счетные входы всех трех счетчиков. Это происходит до тех пор, 22 пока код вычитающего счетчика 4 не станет равным коду частотомера 3.Счетчик 7 толщины сбрасывается только в начале работы, поэтому в нем фиксируется изменение кода час тотомера с момента запуска устройства, пропорциональное толщине пленки.Счетчик 8 скорости сбрасывается с заданным временным интервалом,на пример, один раз в секунду, поэтому в нем фиксируется изменение кода частотомера, пропорциональное скорости напыления пленки,Окончанию периода измерения частотомера соответствует сигнал "Запуск ЦПМ", а накопление импульсов в счетчиках происходит до момента, определяемого схемой сравнения кодов частотомера 3 и счетчика 442 Формула изобретения Устройство для измерения параметров пленки в процессе вакуумного испарения вещества, содержащее кварцевый резонатор, помещенный в зоне осаждения пленки, соединенный с измерительным генератором, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и расширения функциональных возможностей, в него введены цифровой частотомер, вычитающий счетчик, схема сравнения кодов, счетчик толщины, счетчик скорости, 55 первая схема индикации, вторая схема индикации и схема управления, со держащая первый двухвходовый элемент 208 4И-НЕ, первый элемент НЕ, первый формирователь импульсов, одновибратор блокировки, второй формирователь импульсов, второй двухвходовый элемент И-НЕ, первый и второй КБ-триггеры, четырехвходовый элемент И-НЕ, генератор тактовых импульсов и второй элемент НЕ, при этом вход "Пуск" схемы управления соединен через первый элемент И-НЕ, первый элемент НЕ и второй элемент И-НЕ с входом второго фор"мирователя импульсов, являющимся вторым выходом схемы управления, первым выходом которой является выход четырехвходового элемента И-НЕ, первый вход которого является первым входом схемы управления, вторым входом которой является второй вход первого лвухвходового элемента И-НЕ, третий выход схемы управления соединен с входом первого элемента НЕ, входом первого формирователя импульсов и через одно- вибратор блокировки с четвертым входом четырехвходового элемента И-НЕ и входом второго элемента НЕ, выход которого является четвертым выходом схемы управления, вход "Общийсброс" которой соединен с входами сброса 1первого и второго КБ-триггеров, инверсный выход первого КБ-триггера. соединен с вторым вхбдом второго двухвходового элемента И-НЕ, установочные входы первого и второго КБ-триггеров соединены соответственно с выходами первого и второго формирователей импульсов, прямой выход второго КБ-триггера. соединен с вторым вхо-,дом четырехвходового элемента И-НЕ,третий вход которого соединен с выходом генератора тактовых импульсов,приэтом к выходу измерительного генератора подключен цифровой частотомер,выходы декад которого соединены с установочными входами вычитающего счетчика и первыми входами схемы сравнения кодов, вторые входы которой соединены с соответствующими выходамидекад вычитающего счетчика, а выходсхемы сравнения кодов подключен кпервому входу схемы сравнения, к второму входу которой подключен управляющий выход частотомера, первый выход схемы управления соединен со счетными входами всех счетчиков, второйвыход соединен с входом занесениявычитающего счетчика и входом сбросасчетчика толщины, третий выход под