Устройство для электролитической обработки металлических образцов для электронныхмикроскопов

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК А а) 4. С 25 Г 7 00 г ретЬСТВУ ГОСДАРСТВЕКНЫЙ КОМИТЕТ СССРГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ ИК АВТОРСКОМУ СВИДЕТ(46) 15.12.87. Бюл, В 46 (71) Сумский завод электронных мик скопов им. 50-летия ВЛКСМ (72) И,И.Чемерис, В.Я.Рыжков, Н.И.Короткоручко, В.Н.Капличный, В.В.Скоробогатько и М.Е.Тыщук (53) 621,357 (088,8)(56) Авторское свидетельство СССР У 630306, кл. С 25 Р 7/00, 1977.Ьагвоп 1.М., Таяяагй К., Ро 1 оп 1 в О.Н. - Кеч Бех 1 пвгг., 40, р. 1338, 1969.(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ МЕТАЛПИЧЕСКИХ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ, со-держащее корпус с гнездом для объектодержателя, систему циркуляции электролита, источник тока полировки,усилитель тока индикации начала образования отверстия, объектодержатель и систему электродов, о т л и ч а ю - . щ е е с я тем, что, с целью повышения качества обработки путем снижения краевых эффектов, оно снабжено камерой с нетокопроводящей жидкостью, в которой установлен электрод, закрепленный в объектодержателе, и соплом для подачи электролита, расположен- Е ным с другой стороны объектодержате- фд ля, причем сопло соединено с источни- ф ф ком тока. (:5 10 1 20 3035 40 45 50 55 Изобретение относится к электро- химической обработке металлов, а именно к электрохимическому утончению образцов, исследуемых в просвечивающих электронных микроскопах,Одним из наиболее распространенных методов получения таких образцов является электролитическая полировка, при которой в определенных режимах происходит непрерывное образование и растворение пассивирующего слоя. Прозрачная для электронного луча толщина образца обычно получается на краях образующегося при электролити.ческой полировке отверстия, а отсутствие или сведение к минимуму наличия пассивирующей пленки может быть достигнуто выбором режима полирования и одновременным прекращением химического травления и электрохимического растворения пассивирующего слоя.Однако,при образовании отверстия нарушается однородность электрического поля, максимум напряженности элек- трического поля имеет место на краях отверстия, А наибольшая скорость травления как раз и соответствует участкам с максимальной напряженностью электрического поля. Поэтому тонкие края образовавшегося отверстия, являющиеся наиболее пригодными для электронномикроскопических исследований, стравливаются. Этим явлением и обуславливается необходимость прекращения процесса электрополировки в момент образования отверстия. Причем, чем раньше будет зафиксирован момент образования его, тем вьппе качество приготовленного образца.Известно устройство для электро- полировки тонкой металлической фольги в протоке электролита, содержащее систему подачи электролита, источник питания и систему для наблюдения за процессом, Однако устройство пригодно только при использовании прозрачного электролита, а в практике для электролитической полировки многих металлов используются непрозрачные электролиты, содержащие хромовую кислоту. Кроме того, после прекращения подачи электролита и отключения электропитания (в момент начала образования отверстия), продолжается образование пассивирующего слоя на поверхности образца за счет оставшихся на поверхности капелек электролита, в момент образования отверстия за счет нарушения однородности электрического поля действует краевойэффект, растворяющий наиболее тонкуючасть образца.Наиболее близким к изобретению потехнической сущности является устройство для электролитической обработки металлических образцов дляэлектронных микроскопов, содержащеекорпус с гнездом для объектодержате"ля, систему циркуляции электролита,источник тока полировки, усилительтока индикации начала образованияотверстия, объектодержатель и систему электродов,В цепи электрода включен усилитель, действующий на реле, отключающее цепи полировки и насоса. При появлении отверстия просочившийся электролит заполняет пространство междуобъектом и электродом и создает проводимость в цепи усилителя отключения реле.Данное устройство позволяет работать с непрозрачным электролитом, однако. обладает низкой чувствитель" ностью (сигнал, отключающий реле, поступает только после заполненияэлектролитом объема между образцом и электродом, Объект не защищен от действия электролита, что делает устройство непригодным при работе с электролитом, химически реагирующим с образцом, и не исключает влияния краевого эффекта).Целью данного изобретения являет" ся повьппение качества обработки образца путем снижения краевых эффектов.Поставленная цель достигается тем, что устройство для электролитической обработки металлических образцов для электронных микроскопов, содержащее корпус с гнездом для объектодержателя, систему циркуляции электролита, источник тока полировки, усилитель тока индикации начала образования отверстия, объектодержатель и систему электродов, согласно изобретению снабжено камерой с нетокопроводящей жидкостью, в которой установлен электрод, закрепленный в объектодержателе и соплом для подачи электролита, расположенным с другой стороны объектодержателя, причем сопло соединенос источником тока,Изобретение поясняется чертежом,где представлена функциональная схема предлагаемого устройства.Устройство содержит корпус 1 с гнездом для объектодержателя и соплом 2, соединенным с насосом 3 прокачки электролита, объектодержатель 4 с образцом 5, установленным герметично в объектодержателе, положитель-. ный электрод 6 выполненный в виде стакана, заполненного нетокопроводящей жидкостью, дном которого являет ся образец, электрод 7, опущенный в нетокопроводящую жидкость стакана, усилитель постоянного тока 8, источник питания 9, ключевой элемент 10, отключающий источник питания цепи 15 электрополировки .и ключевой элемент 12, отключающий источник питания электродвИгателя насоса.Устройство работает следующим образом. 20В исходном состоянии стакан положительного электрода 6 заполнен нетокопроводящей жидкостью, в которую погружен электрод 7. В этот момент цепь усилителя постоянного тока (УПТ) 25 8 обладает низкой проводимостью,вклю,чены источник питания 9 и электродвигатель 11 насоса 3 системы циркуляции. Поступающая через сопло струя .электролита омывает образец 5 и за- З 0 мыкает электрическую цепь источника питания 9.Под действием электрохимической полировки образец утончается.В момент образования отверстия молекулы электролита попадают в не 1131255 4токопроводящую жидкость электрода 6,1повышая проводимость цепи УПТ 8 досрабатывания ключевых элементов 10и 12, отключающих электродвигатель11 и источник питания 9, При этомподача электролита в сопло прекращается, а через образовавшееся отверстие нетокопроводящая жидкость просачивается на обратную сторону образцан разбавляет оставшийся на его поверхности электролит, чем снижаетсяего химическое действие.Йспользование данного устройствапозволяет повысить качество образцови снизить трудоемкость их изготовления при электронномикроскопическихисследованиях металлов и полупроводников,Одной из причин, затрудняющих использование просвечивающих электронных микроскопов в металловедении,является трудность приготовления измассивных материалов тонких образцов,прозрачных электронному лучу. Существующие и описанные в литературе устройства не обеспечивают своевременной остановки процесса электрополировки, а следовательно, и автоматизированное получение качественныхобразцов. Использование данного изобретения при разработке прибора утончения металлических образцов позволит выполнить его более простым итехнологичным в изготовлении и удобным в эксплуатации.11131255 Л.Олейник Техр едактор Н.Сильняги ректор С.Черн аказ 64 Тираж 613ВНИИПИ Государственного комитета СССпо делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж"35, Раушская наб., д одписно Производственно-полиграфическое пре ятие, г,ужгород, ул.Проектная,

Смотреть

Заявка

3577963, 10.01.1983

СУМСКИЙ ЗАВОД ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ ИМ. 50-ЛЕТИЯ ВЛКСМ

ЧЕМЕРИС И. И, РЫЖКОВ В. Я, КОРОТКОРУЧКО Н. И, КАПЛИЧНЫЙ В. Н, СКОРОБОГАТЬКО В. В, ТЫЩУК М. Е

МПК / Метки

МПК: C25F 7/00

Метки: металлических, образцов, электролитической, электронныхмикроскопов

Опубликовано: 15.12.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/4-1131255-ustrojjstvo-dlya-ehlektroliticheskojj-obrabotki-metallicheskikh-obrazcov-dlya-ehlektronnykhmikroskopov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для электролитической обработки металлических образцов для электронныхмикроскопов</a>

Похожие патенты