Система питания магнитной линзы электронного микроскопа

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИК 1 7372(51) 1 ЗВМВДиИСАНИЕ ВСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Н ющи па 1 НЗЫ(54) СИ ЭЛЕКТР (57) И ронноЦель и ектте етс ющи льстита и ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ. ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ(56) Поливанов В. В. и др. Питустройства электронного микросУЭМБ, - Известия АН СССР.физич1959, т, 23, 9 4, с. 45Авторское свидетельство СССУ 684648, кл. Н 01 Х 37/26, 19 СТЕМА ПИТАНИЯ МАГНИТНОИННОГО МИКРОСКОПАобретение относится к элптическому приборостроенобретения - упрощение сипри уменьшении уровня пагнитного потока линзы д БРЕТЕНИЯ гается благодаря тому, что в каждыи из и каналов 4 питания введена пер вая фазосдвигающая цепь 5, преобразующая и сдвигающая входное напряже ниепреобразователя 3 на угол = 360 /ш,п, где н, - число фаз преоб" разования переменного напряжения пер" вичного источника, Кроме того, в систему питания введена вторая фазо сдвигающая цепь 7, которая служит для сдвига модулирующих низкочастотных пульсаций напряжения в каждом канале 4 питания. В результате совх действий двух фазосдвигающихи 7 пульсации магнитного поохраняются на заданном уровне. При этом в системе питания не требуя подключения специальных фильтрух элементов. 3 ип."г пряжев Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению и может быть использовано в системах питания магнитных линз электронныхмикроскопов,Целью изобретения является упрощение системы питания при уменьшенииуровня пульсаций магнитного потокалинзы за счет исключения специальныхФильтров и стабилизирующих устройств,На Фиг, 1 представлена схемаСистемЫ питания; на Фиг 2 "- эиюрынапряжения в схеме; на Фиг. 3 - эпюры пульсаций магнитного потока линзыСистема питания (фиг. 1) магнитной линзы 1 с обмоткой возбуждения,состоящей из секций 2 содержит преобразователь 3 частоты и и каналов 4питания, каждый из которых включаетпервую фазосдвигающую цепь 5, источник 6 питания, в .который входят стабилизатор напряжения и стабилизатортока с регулирующими элементами, ивторую фазосдвигающую цепь 7.Первая фазосдвигающая цепь 5 входом подключена к выходу преобразователя З.частоты, а выходом к источнику б питания, выход которого соединен с входом второй фазосдвигающей цепи 7, подключенной выходом к .соответствующей секции 2 обмотки возбуждения магнитной линзы 1,На фиг. 2 обозначено: 8 - напряжение на входе первой Фазосдвигающейцепи 5; 9 напряжение на выходе источника б; 10 - то же напряжение приувеличенном масштабе времени.На Фиг. 3. обозначено: 11 " пульсации магнитногопотока при действии первой Фазосдвигающей цепи для случая и = ш = 2;12 - пульсации магнитного потока впервой секции обмотки; 13 ". пульсациимагнитного потока во,второй секции;14 - пульсации суммарного магнитногопотока. 2Выходное напряжение преобразователя 3, стабилизированное по частотеи величине, поступает на вход первойфазосцвигающей цепи 5 (эпюра 8), 5 Первая фазосдвигающая цепь 5 каждогои-го канала 4 питания преобразовывает и сдвигает входное напряжение на360угол Ч" = , где ш - числои ш( 10Фаз преобразования переменного напряжения первичного источника.С выхода первой Фазосдвигающей .цепи 5 напряжение поступает на входисточника б питания. Затем напряжениес выхода источника питания подается,на вход второй фазосдвигающей цепи 7,, которая служит для сдвига модулирующих низкочастотных пульсаций напряжения. в каждом канале 4 питания. Выходное напряжение преобразователя 3при,ш-- ш : 2 имеет вид, представленньп эпюрой 9 (Фиг, 2), Угол сдвига, обеспечиваемый второй Фазосдвигающей цепью 7, определяется анало"гичным соотношением360аеф ащишгде ш, - число Фаз преобразованияпеременного напряжения на частоте ЗО модуляции.Может оказаться полезным обеспечивать Фазовый сдвиг г , учитывая параметры нагрузки. В случае секционированной магнитной линзы нагрузкой вканале питания является секция обмотки. возбуждения линзы, обладающая омическим сопротивлением и, как правило,большим индуктивным сопротивлением,При малых углах сдвига ( 90) Фазовый сдвиг между н иями во вторых Фазос ющих цепях (и) и итной линзыаботает слеСистема питания магииэлектронного микроскопа р,дующим образом,Напряжение первичного источникаподается на вход преобразователя 3частоты. При этом регулирующие элементы, входящие в состав стабилизатора тока источника б питания, работаяпри постоянном входном напряжении,оказываются в облегченном режиме и,следовательно, могут быть меньшеймощности,налов питания;г - активное сопротивление сек. иции обмотки возбуждения;уЬ - индуктивное сопротивлениесекции обмотки возбуждениялинзы.В результате совместных действий двух Фазосдвигающих цепей 5 и 7 в каждом из каналов питания, суммарный магнитный поток линзы приобретает вид, представленный эпюрой 14 (Фиг, 3)Пульсации магнитного потока (Фиг. 3) сохраняются на заданном уровне, но при этом в систему питания не требуется подключение специальных фильтрующих. элементов, т,е, схема. питания значительно упрощается.Реализация фазосдвигающих цепей, обеспечивающих заданный фазовый сдвиг Ц, и Ц может быть достигнута традиционными способами, например с использованием ВС и ЬС элементов.ГФормула изобретенияСистема питания магнитной линзы электронного микроскопа, содержащая первичный источник напряжения и и каналов питания секций обмотки возбуждения линзы с соответствующими источниками питания, о т л и ч аю щ а я с я тем, что, с целью ее упрощения при уменьшении уровня пульсаций магнитного потока линзы, она 243047 4снабжена преобразователем частоты ивведенными в каждый из каналов питания двумя фазосдвигающими цепями,причем выход преобразователя частоты 5 соединен с входами первых фазосдвигающих цепей, которые соединены последовательна с источниками питания ивторыми фазосдвигающими цепями, афазовые сдвиги между напряжениями в 1 О первых Ч, и во вторых ( фазосдвигающих цепях (и) и и-го каналов определяются иэ соотношений360 .360пг ш п 15 где ш - число фаз преобразования1переменного напряжения первичного источника;ш - число фаз преобразования пе"гременного напряжения на частоте модуляции.Производственно-полиграФическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Тираж б 43Государствелам иэобреМосква, ЖногонийРау Подписноекомитета СССРоткрьтийская наб д, 4/5