Способ изготовления цилиндрических магнитных пленок

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 0% ИИ Ьа) С 11 С 11/14 фйОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИН АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСЗЯАРСТВЕНКЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТЮ(56) 1."Вопросы радиоэлектроники.Сер. ЭВТ, вып. 6, 1974, с. 66-69.2. Авторское свидетельство СССРВ 728158, кл, С 11 С 11/14, 1978(54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЦИПИНД 1 РИЧЕСКИХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК, основанный на электролитическом осаждениислая ферромагнитного сплава на немагнитную проволочную подложку и еготермомагнитной обработке, о т л и -чающийся тем, что, с целью повьппения надежности изготовления цилиндрических магнитных пленок путем одновременного поддержания стабиль" ности их химического состава, толщины и кристаллической структуры, в раствор осаждения периодически вводят соль бдного иэ элементов осаждае.мого сплава с наибольшим электро- отрицательным потенццалом осаждения в количестве 0,06-0,24 исходного содержания ее в растворе при уменьшео нии температуры раствора на 0,5-2 С от исходного значения в момент. пере.хода коэффициента магнитострикции ,в область отрицательньюс значений,после чего температуру раствора повыпают до исходного значения.сплава с наибольшим электроотрицательиым потенциалом осаждения в количестве 0,06-0,24 исходного содержания его в растворе при уменьшении тем:пературы раствора на 0,5-2 С от исходного значения в момент перехода коэффициента магнитастрикции в область отрицательных значений, после чего температуру раствора повышают до исходного значения.На чертеже изображен график зависимости температуры раствора осаждения от времеыи осаждения при условии получения ЦИП с коэффициентом магнитострикции близким к нулю.При злектролитическом осаждении ферромагиитного сплава необходимо поддерживать коэффициент магннтострикции близким к нулю, а значит, обеспечивать постоянство химического состава плЕнки. Для этого снижают температуру раствора осаждения, что дает воэможность за счет большего электроотрицательного элемента сплава относительно скорости осажденияостальных элементов сплава скомпен-.сировать уменьшение относительногосодержания наиболее электроотрица-.тельного элемента в растворе с течееем времени. Для поддержания постоянной толщины ЦИП прн снижении темиературы необходимо увеличивать плотния и поддерживать постоянной кристаллическую структуру, а значит, и определяемую ею коэрцитивную силу, " Дпя одновременного поддержания стабильности химического состава,эффицнента магнитострикции в областьотрицательных значений (точка С),т .е. в момент, когда получение пленок. с прежним химическим составомпри установленной температуре невозсоль наиболее электроотрицательногоэлемента осаждаемого сплава. Количество вводимой соли должно быть пропорционально величине снижения температуры, т.е. пропорционально относительному обеднению раствора осаж. 1427004 3Изобретение относится к вычислительной технике и может быть исполь зовано при изготовлении запоминаю"щих матриц на цилиндрических магнит-ных пленках (ЦМИ). , уИзвестен способ изготовления ЦИП,основанный на иолучениц требуемогозначениякоэффициента магнитострикции путем регулирования ток злектролитического осаждения Ферромагнитного сплава по результазфзи срав"нения коэффициента мюгнитдтрикциис эталонной величиной 1 1Недостаток известного способазаключается в том, что при изменении цплотности тока электролитическогоосаждения изменяется кристаллическая структура осацка и, как следствие, устойчивость записываемой.на пленку информации к воздействиюразмагничивающего магнитного поля,Наиболее близким техническим решением к изобретению является сно"соб изготовления Цй, основанный наэлектролитическом осаждении слоя 25 увеличения скорости Осаждения наиболееферромагнитного сплава, термомагнитной обработке и получении требуемых значений магнитного потока на сыщения и коэффициента магнитострнкции путем регулирования электро;литического тока и температуры осаде Иния ферромагнитного сплава о результатам сравнения магнитного потока .насыщения и коэффициента магнитострикции с эталоннави величинами 2 3 ность тока электролитнческого осаждеНедостаток данного способа обусловлен тем, что при электролитическомосаждении магнитной пленки не удаетсяодновременно обеспечить стабильностьтолщины, химического состава и кристаллической структуры магнитны пле- ф толщины и кристаллической структунок, а значит, и определяемых ими ры ЦИП после снижения температурымагнитных характеристик - магнитного раствора осаждения от первоначальнойпотока насыщения, коэффициента маг- величины Т (точкаА) до температурынитострикции и коэрцитивной силы маг- Т (точки В,С) в момент перехода конитной пленки.Цель изобретения - повышение надежности изготовления ЦИН путем одновременного, поддержания стабильностиих химического состава, толщины икристаллической структуры. 5 О можно, в раствор осаждения вводятПоставленная цель достигается тем,что согласно способу изготовленияЦИП, основанному на электролитическомосаждении слоя ферромагнитного сплавана немагнитную проволочную подложкой Иего термомагнитной обработке, в раствор осаждения периодически вводят дения солью указанного элемента поссоль одного из элементов осаждения ле снижения температуры и при умень1127004 4 3шенин температуры раствора на 0,52 С от первоначальной, количество вводимой соли должносоставить 0,06- 0,24 от исходного содержания ее в .:растворе, После введения соли температуру раствора осаждения увеличивают до первоначальной величины (точка А ) и продолжают процесс изготов- . ления. пленок.При уменьшении температуры раст- .овора осаждения менее, чем на 0,5 С, стабильное поддержание требуемых значений магнитных свойств достигается регулированием плотности тока электролитического осаждения без введения соли элемента с наибольшим: электроотрицательным потенциалом осаждения.При уменьшений температуры раствора осаждения более, чем на 2 С,о уменьшение толщины осаждаемой пленки такового, что увеличение плотности тока осаждения, позволяющее получить требуемое значение магнитного йотока насыщения, приводит к сущест-. д венному изменению кристаллической структуры, а именно, к измельчению зерна ее вследствие увеличения интенсивности образования новых центров Роста пленки при увеличении ско рости разряда ионов на катоде беэ соответствующего возрастания скорости их доставки в прикатодную область (к подложке) и снижению концентрации ионов в прикатодной областиУменьшение зерна структуры пленки вызы 35 вает изменение структурно-чувстви-. тельных магнитных характеристик, в частности величины коэрцитивнойсилы и не позволяет получать цнлиндрические магнитные пленки с требуе-. мыми значениями магнитных свойств. щ пленки от требуемых значений. П р и м е р. Изготовляют ЦИП сог. ласно изобретению при непрерывномпроцессе прохождения проволочной под ложки и последовательном формировании цилиндрической магнитной пленки с требуемыми значениями магнитных параметров. 2 О. В качестве подложек используют 45 При введении соли элемента сплавас наибольшим электроотрицательным потенциалом в количестве менее 0,06 содержания его в растворе осаждения повышением температуры раствора до первоначальной величины не обеспвтр- вается сохранение химического состава ЦМП вследствие, недостаточного отно, сительного изменения содержания соли наиболее электроотрицательного элемента в растворе, что не позволяет получить пленку с заданным коэффициентом магнитострикций. При введении соли наиболее электроотрицательного элемента сплава.в количестве более 0,24 содержания его в растворе для обеспечения сохранения химическогосостава плвнки необходимо повышатьтемпературу раствора осаждения довеличины выше первоначальной и снижать электролитический ток осаждениядля получения заданной толщины ЦИП,что вызывает увеличение зерна кристаллической структуры и отключениеструктурно-чувствительных свойств проволоку из бериллевой бронзы БРБ 2,на которую после осаждения медного подслоя электролитически осаждаютслой .ферромагнитного сплава Ге-Б-Со из электролита, содержащего соли железа, никеля и кобальта с добавкамй сегнетовой соли, сахарина и натрийлаурилсульфата. Измерение коэффициента магнитострикцни производят по изменению дифференциальной проницаемости при растяжении пленки,магнитный поток измеряют индукционньв методом, коэрцитивную силу определяют по петле гистерезиса, измеряемой в направлении оси легкого намагничивания При снижении температуры раствора осаждения на 0,5-2 фСв момент перехода коэффициента магнитострикции в область отрицательньк значений вводят в раствор осаждения соль железа, как наиболееэлектроотрицательного элемента сплава, в количестве 0,06-0,24 содержания его в растворе осаящения, вослечего температуру раствора осажденияподнимают до первоначальной, т, е.соответствующей началу изготовления годных магнитных пленок. Изготовление магнитных пленок с использованием базового варианта 21позволяет получать пленки с разбросом,характеристик около 20% и не дает возможности поддерживать стабильным процент выхода годных ЦМП,При использовании предложенного способа, основанногона коррекции состава раствора осаждения по изменению температуры осаждения и,позволяСоставитель 9. РозентальРедактор М. Келемеш Техред Т,Дубиичак . Корректор И, Эрдейи Заказ 8747/40 Тираа 574 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР,по делам изобретений и открытий113035, Москва, 3-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент"г., Ушгород, ул. Проектная, 4 3 1127004 ющего получать ЦИП заданного химического состава, процент выхода годных пленок стабилизируется, разброс нх характеристик не превышает 5 Х. Окидаемый экономический эффект связан с повышением надекности изготовления ЦМП и составляет около 1 О тыс. руб.