Стекло

, включающее 8102, О, отличаючто, с целью повыры оплавления и вопри снижении коэффикого расширения, оно одержит С 60 при ошении компонентов,Невар,ьев удового ический 14- 32 7-10 13-20 46-54 1-3 1 Ог О088889,А 1 г РЬО СаО ство СССР 1978СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Белорусский ордена ТрКрасного Знамени политехнинститут(прототип),(54) (57) СТЕКЛО А 1 уО, ВОЗ, Р щ е е с я тем щения температу доустойчивости циента термичес дополнительно с следующем соотн мас,Ъ: фй.ф",нф 9 Щ13,",.;,13Щ,ДЬСИзобретение относится к производству алюмоборосиликатного свинцовокадмиевого стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве резистивногоматериала для рутениевых резисторов широкого диапазона применения.Известно стекло для толстопленочных резисторов, включающее,вес,ЪРЬО 45-85ВуОу 2-980 7-40А 1 Оу 0-3Иа 20 0"3ЕпО 0-10ВО 0-10 11 ).Эти стекла обладают пониженнойтемпературой деформации и высокимкоэффициентом теплового расширения,что не позволяет использовать их вкачестве стеклосвязки рутениевыхрезисторов с температурой обжи"га 830-850 С.Наиболее близким к изобретениюпо составу является стекло, включающее, вес.Ъ:Б 102 10-25РЬО 55-75Н 2035-20МпО 1-10СцО21-10А 1 01-10СоО 1-10 (2 ).Данное стекло из-за наличия всоставе сравнительно больших количеств легкоплавких окислов свинца, бора, марганца меди и кобальта характеризуется невысокой вязкостью, а следовательно, и пониженной температурой оплавления. Использование стекла с температурой ополавления 660-720 С в качестве стеклосвязки в рутениевых резисторахна основе рутенита висмута не позволяет повысить температуру вжиганиярезисторов до 830-850 оС из-за растекания стекла на контактные площадки и подложку в результате его легкоплавности, Поэтому обжиг рутениевыхрезисторов производится при пониженных температурах, что ухудшает ихэлектрифизические характеристики, Рутениевые резисторы на основе этогостекла имеют сравнительна высокийТКС, узкий диапазон сопротивления,требуют высокого содержания рутения.Целью изобретения является повы-шение температуры оплавления и водоустойчивости при снижении коэффициента термического расширения,Цель достигается тем, что стекло,включающее 810, А 1 0., В ОЗ, РЪО,дополнительно содержит С 10 йри следующем соотношении компонентов,мас.Ъ:810 д 14-32А 1, О 7-10В 09 13-20РЬО 46-54ЮС 60 1-31 О Конкретные примеры составов стекла и свойства приведены в таблице,Для синтеза стекол используютобычную технологию производства,включающую составление шихты на ос.15 нове песка и химических реактивовквалификации "хч" ,и "чда", варкустекла в газовой и электрическойпечах при 1350+10 оС и выработкуизделий методами вытягивания, отливки с последующим их отжигом в электрических муфельных печах.В табл.1 и 2 представлена рецептурастекла и его свойства соответственноПриведенные в табл, 2 данные сви 25 детельствуют, что применение новогокомпонента Сас и пониженного по сравнению с прототипом содержания РЬСобеспечивает укаэанному стеклу комплекс требуемых вяэкостных, физикоЗО химических и электрических свойств.Использование стекла с повышенной температурой оплавления в резисторах с проводящей фазой на основерутенита висмута позволяет повыситьтемпературу вжигания резисторов да850 С и полностью исключить растекаоние стекла ва время вжигания на контактные площадки и керамическую подложку.Предложенный состав стекла позволяет реализовать диапазон удельных сопротивлений у резисторов ат5 Ом/и да 1 мОм/и за счет изменения процентного содержания стекла в пасте от 20 да 80.45 Электрические характеристики рутениевых резисторов (соотношениестекла и рутената висмута 65:35,отемпература вжигания 850 С) представлены в табл. 350Таким образом, использование пред.ложен наго стекла в каче ст ве стеклосвязки рутениевых реэистивныхкомпозиций позволяет расширить диа: 55 пазон сопротивлений, снизить ТКС иулучшить влагостойкость рутениевыхрезисторов по сравнению с прототипом,Таблица 11 Содержание в стекле, мас.В г 1 Компоненты Прототип 23,0 10-25 1-,10 32,0 14,0 8,0 7,0 10,0 Л 1 О 3 17,0 13,0 20,0 5-20 46,0 55-75 50,0 54,0 РЬО 2,0 1,0 3,0 С 60 Мп О СггО Т а б л и,ц а 2 Стекло Свойства Прототип 1250 1350 1350 1350 510 520 500 Температура оплавления, С 760, сопротивление3 ком/Р 3 ком/Ь 5 ком/а 2-63 Ом/а 2, Температурный коэффициент сопротивления (ТКС1/град. 100 10(0,5 0,5 0,5 Составитель О. СамохинаТехред Т,Фанта Корректор А, Ильин Редактор Г, Гербер Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Эакаэ 261/19 Тираж 469 Подписное ВНИИПИ ГосударственногЬ комитета СССР по делам иэобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5ш ш Ф щ