Устройство для изготовления образцов с косым шлифом

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик щ 994959(22) Заявлено 30.03.81 (21) 3267207/23-26с присоединением заявки Нов(23) Приоритет -1 М Кй з О 03 й 1/32 Государственный комитет СССР но делам изобретений н открытий(088.8) Опубликовано 07.0283. Бюллетень Но 5 Дата опубликования описания 070283. (72) Авторы изобретения Н.В.Большаков и П.А.Пундур Я ъЛатвийский ордена Трудового Красного ЗнаменгоСударственный университет им.П,Стучки(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ С КОСЫМ ШЛИОМИзобретение относится к технике подготовки образцов к исследованию и может быть использовано в промышленных условиях в техническом, процессе изготовления полупроводниковых изделий, на входном и выходном контроле качества материалов микроэлектроники и полупроводниковой техники, а также для проведения широкого круга науч-. 1 О ных исследований.Известно устройство для восстановления зубьев шестерен травлением, состоящее иэ ванны с травителем, в которую погружаются шестерни, причем погружение может осуществляться механическим перемещением шестерни или изменением уровня травителя(13.Качество стравливаемой поверхности невысоко при механическом перемещении из-за сильного влияния разного рода вибраций, а в случае изменения уровня травителяиз-эа отсутствия стабилизации скорости натекания трави- " теля в ванну.Наиболее близким по техническзй сущности и достигаемому эффекту является устройство для изготовления образцов с косым шлифом методом травления, включающее верхнюю и нижннзо емкости, установленные на разных З 0 уровнях и соединенные трубкой, держатель с образцами, расположенными в нижней емкости, Образец погружа- . ется в травитель в результате подъема уровня травителя в нижней емкости(2 ).Недостатком устройства является то, что при заполнении травителем нижней емкости постоянно меняется расстояние между уровнями травителя в емкостях,т.е. меняется давление столба травителя, что обязательно влечет за собой изменение скорости натекания и, следовательно, неравномерность заполнения нижней емкости травителем, что ведет к снижению качества.поверхности шлифа.,Цельюизобретения является повышение качества поверхности шлифа путем стабилизации скорости подачи травителя.Поставленная цель достигается тем. что в устройстве для изготовления образцов с косым шлифом, включающем верхнюю и нижнюю емкости. заполненные травителем. установленные на разных уровнях и соединенные трубкой, держатель с образцами. верхняя емкость. снабжена крышкой и установленной в ней трубкой, нижний конец которойпогружен в травитель, а нижняя емкость снабжена перегородкой с каналом, при этом нижний конец трубки, соединяющей емкости, расположен над уров,нем травителя в нижней емкости.Устройство включает верхнюю емкость 1 с крышкой 2 и установленную в ней трубку 3, нижний конец которой погружен в травитель, Через крышку 2 проходит трубка 4, соединяющая верх- . нюю емкость 1 с нижней емкостью.5.Нижняя емкость 5 разделена перегородкой 6 с каналом 7 на,цва отсека 8 и 9, в одном из которых установлены держатель 10 с образцами 11,Устройство работает следующим образом.Заполняют верхнюю емкость 1 травителем, закрывают ее крышкой 2, через отверстия в которой вводят трубки 3 и 4, Образцы 11 устанавливают в отсеке 9 емкости 5. Нижний конец трубки 4 вводят в верхнюю часть отсека 8 емкости 5.Для подачи травителя из верхней емкости 1 в нижнюю 5 через трубку 3 подают воздух в емкость 1, повышая давление газа над травителем. Под действием давления травитель через трубку 4 поступает в отсек 8 емкости 5 и далее через канал 7 в отсек 9 для травления. 30Со снижением уровня травителя в емкости 1 над травителем создается разряжение, при этом атмосферный воздух, поступая через трубку 3, поддерживает давление на уровне ниж него конца трубки 3, равное атмосферному.Давление в травителе определяется столбом жидкости между нижними концами трубок 3 и 4, оно постоянно, и следовательно, постоянная скорость натекания травителя. При наполнении отсека 8 травителем различные участки образцов по вертикали травятся разное время, в результате чего нижние участки образцов стравливаются больше верхних. Ввиду постоянства скорости натекания травителя уровень его повышается равномерно, косой шлиф имеет ровную линейную поверхность.Скорость наполнения нижней емкости 5 может изменяться в зависимости от расположения верхней емкости 1 по высоте. площади основания нижней емкости 5, а также площади сечения трубки 4.Конструкция устройства обеспечивает стабилизацию скорости наполнения травителем емкости с .образцами из-за постоянства столба жидкости Ь во время всего процесса травления, а равномерность подъема уровня травителя в емкости с образцами влечет за собой линейность поверхность шлифа. С помощью устройства получены косые шлифы длиной 20 мм с отклонением от линейности поверхности не более 1 (при высоте столба жидкости Ь,= 100 мм)Формула изобретенияУстройство для изготовления образцов с косым шлифом, включающее верхнюю и нижнюю емкости, заполненные травителем, установленные на разных уровнях и соединенные трубкой, держатель с образцами, расположенными в нижней емкости, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью повышения качества шлифа путем стабилизации скорости подачи травителя, верхняя емкость снабжена крышкой и установленной в ней трубкой, нижний конец которой погружен в травитель, а нижняя емкость снабжена перегородкой с каналом, при этом нижний конец трубки, соединяющей емкости, расположен над уровнем травителя в нижней емкости.Источники информации, принятые во внимание при.экспертизе1, Авторское свидетельство СССР Р 51862, кл. С 23 Р 1/02, 1947.2. Авторское свидетельство СССР 9 715962, кл. 6 01 М 1/32, 1977 (прототип)..Шароши Редакто аэаре каэ 629 5 филиал ППП "Патент", г. Ужгоро 4 Проек ВНИИПИ по д 113035Тираж 871осударственного коми ам иэобретений и от Москва, Ж, Раушс Подписета СССРытийя наб., д