Устройство для измерения линейных перемещений

и 989320 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскнкСоциалистическихРеспублик(22) Заявлено 21. 07, 81(21) 3320444/25-28 Р 11 М К з с присоединением заявки ЙР -Р(23) ПриоритетС 01 В 17/00 Государственный коинтет СССР но делам изобретений н открытийОпубликовано 150133. Бюллетень Мо. 2 Дата опубликования описания 15.01.83 1 И УДК 620. 179. .16(088.8) А. Жаббаров, В. Ю. Снитко и К. Я. Рагульскиа,с9Каунасский политехнический 1 институтим. Антанаса Снечкуса(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫЙ ПЕРЕМЕЩЕНИЙИзобретение относится к измерительной технике, в.частности к устройствам измерения линейных перемещений,Известно, устройство для измерения линейных перемещений, содержащее не-. подвижную и подвижную пьезоэлектрические пластины со встречно-штыревьваи преобраэователямн н измеритель разности фаз иэлученной и принятой волн,1 3. 1 ОНедостатком известного устройства является то, что возбуждаемая встреч но-штыревым преобразователем поверх ностно-акустическая волна распростра" няется в обе стороны от встречно-штыревого преобразователя, что сказыва.ется на точности измерения.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для измерения линейных перемещений, содержащее неподвижную и подвижную пьезоэлектрические пластины с встречно-штыревыми преобразователями и поглотителями поверхностно- . акустических волн, установленнвваю на одном конце каждой пластины, и измери тель разности фаз 123.Однако известное устройство не. обеспечивает достаточно высокую точность измерений вследствие того, что коэффициент передачи уменьшается с изменением эоны взаимодействия при перемещении пластины и передача волны в,такой системе имеет периодически возрастающие потери.Целью изобретения является повышение точности измерения.Цель достигается тем, что в устройстве для измерения линейных Перемещений, содержащем неподвижную и подвижную пьезоэлектрические пластины с встречно-штыревыми преобразователями и поглотителями поверхностно" акустических волн, установленными на одном конце каждой пластины, измеритель разности фаз, подвижная пьезоэлектрическая пластина снабжена допол- нительным встречно-штыревьвс преобразователем, расположенным на одном уровне с основным преобразователем этой пластины, свободный, конец последней закруглен и контактирует с плоскостью неподвижной пластины, а пластины расположены перпендикулярно друг к другу.На чертеже изображена принципиаль-. ная схема устройства для измерения линейных перемещений.Устройство содержит неподвижную пьезоэлектрическую пластину 1, расположенную перпендикулярно к подвижнойпьезоэлектрической пластине 2, встречно-штыревой преобразователь 3, соединенный с генератором 4, встречно-штыревой преобразователь 5 и дополнительный встречно-штыревой преобразователь 6, соединенный с последними измеритель 7 разности фаз, соединенный с ним, блок 8 регистрации и установленные на концах пластин 1 и 2 соответственно поглотители 9 и 10 поверхност но-акустических волн, 10Встречно-штыревые преобразователи 5 и б расположены на одинаковом расстоянии от центра зоны взаимодействия и подключены параллельно к измерителю 7 разности: фаз.ПерпендикуЛярность пластин необ 15 ходима для обеспечения одинаковых фазовых и амплитудных условий обоих встречно-штыревых преобразователей для получения постоянного коэффици,ента передачи.20Для исключения потерь конец подвижной пьезоэлектрической пластины 2 закруглен радиусом й.Пластина 1 и торец пластины 2 в зоне взаимодействия параллельны. 25Устройство работает следующим образом.При подаче возбуждающего напряжения от генератора 4 встречно-штыревой преобразователь 3 возбуждает пО верхностно-акустические волны, которые распространяются в противоположные стороны от встречно-штыревого, преобразователя3, Одна параэитная волна поглощается поглотителем 9 35 поверхностно-акустических волн, Другая волна, достигнув зоны акустического взаимодействия переходит на подвижную пластину 2, принимается встречно-штыревыми преобразователями 5 и б 40 и подается на вход измерителя 7 раз., ности фаз.К приемным встречно-штыревым преобразователям 5 и 6 сигналы приходят в одинаковой фазе и суммируются, тем самым уменьшаются потери. Паразитные сигналы поглощаются поглотителем 10 фазовый угол между излученной волной и принятой определяет перемещение пластины 2 по отношению к пластине 1. Эта величина регистрируется блоком 8 регистрации.Увеличение диапазона измерения достигается за счет уменьшения постоянной зоны акустического взаимодействия.Повышение точности измерения достигается эа счет получения постоянной зоны акустического взаимодействия при перемещении одной из пьезоэлектрических пластин.формула изобретенияУстройство для измерения линейныхперемещений, содержащее неподвижнуюи подвижную пьезоэлектрические пластины с встречно-штыревыми преобразователями и поглотителями поверхностноакустических волн, установленными наодном конце каждой пластины, и измеритель разности фаз, о т л и ч а ю щ ете с я тем, что, с целью повышенияточности измерения, подвижная пьезоэлектрическая пластина снабжена дополнительным встречно-Штыревьи преобразователем, расположенным на одномуровне с основным преобразователемэтой пластины, свободный конец последней закруглен и контактирует с плоскостью неподвижной пластины, а пластины расположены перпендикулярно другк другу.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Великобритании В 1410152,кл. С 01 В 17/00, 1976.2, Авторское свидетельство СССРпо заявке Р 2790163/28,кл. С 01 В 17/ОО, 1979 прототип).лиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Заказ 11104/56 Тираж 600 ВНИИПИ Государственного коми по делам изобретений и отк 113035, Москва, Ж"35, Ращуская