Масс-спектрометр

.(54) А ретение тся к эл ионн- повго тока оптике.Известны масо-спектрометры, в которых блок питания катодов газового источни ка ионов масо-спектрометра состоит из усилителя обратной связи, который 5 сравнивает падения напряжения на пере менном резисторе, обусловленное токрм коллектора, с опорным напряжением, усжщтеля управления током накала като да и источника ионизирующего напряжения, стабилизация тока термоэлектронной эмиссии, по току коллектора позволяет обходиться без потенциальной развязки электрических цепей тока нажла катода и тока термоэлектронной эмиссии Г 1 3Недостаток блока питания катода масоспектрометра состоит в том, что ток катода газового источника ионов зависит,гот давления и состава исследуемого газа в абъеме ионизационной камеры.Наиболее близким к предлагаемсму является масо-спектрометр, содержащий соединенную с источником, ионизирующего 2напряжения ионизационную камеру, катод ная цепь которой соединена с источником переменного тока,усилитель управления током накала катода, усилитель обратной связи, входами соединенный с источником опорного напряжения и измерительным элементом, включенным в цепь катода, и блок потенциальной развязки 2 .Недостатком .известного масо-спектрметра является то, что питание катода осуществляется переменным током, иэ-за чего имеют место наводки на высоковольтных электродах газового источника, ионов, что ведет к снижению разрешакь щей способности масо слектрометра и, . кроме того, братание катода переменным током накладывает известные ограничения на коэффициент стабилизации тока термоэлектронной эмиссии, что приводит к снижению точности регистрации о го тока масо-спектром. Цель изобретения ышение Фочнооти регистрации и о масо-спек3 ОВВАЙУяцнцая цель доосгпетч тем что в маса-спектрометре,. содержащем со. диненную с источником ионизируюшегс напряжения ионнзационную камеру, катодная цепь которой соединена с источником переменного тока, усилитель пита-. ния током накала катода, усилитель об. ратной связи, входами соединенный с источником опорного напряжения и измерительным элементом, включенным в цепь, й катода, и блок потенциальной развязки, введен управляемый преобразователь переменного напряжения в постоянное, ут- равляюшим входом соединенный с выходом: усилителя управления током катода, а между выходом усилителя обратной связи и входом усилителя управления током на=. кала катода подключен блок потенциальной развязки, Кроме того, блок потенж.- альной развязки выполнен в виде оптрон=,. ного блока.На чертеже представлен вариант блок-схемы стабилизатора тока термоэлектронной эмиссии.Устройство содержит усилитель 1 обратной связи, сравнивающий потенциалы на измерительном элементе 2 и источнике 3 опорного нанряжения, источник 4 ионизирующего напряжения, блок 5 питания, оптронный блок 6 потенциальной развязки, к выходу которого подключен вход усилителя 7 управления током катода, источник 8 переменного тока, откоторого залитан управляемый преобразователь 9 переменного напряжения в постоянное, управляющий вход которого соединен с выходом усилителя 7 управления током катода 10 ионнзацнонной камеры 11.Устройство работает следующим обре=ч ЗОМеУсилитель 1 сравнивает падение напряжения на измерительном элементе 2 обусловленное протекающим через него током эмиссии катода 10, с потенциалом источника 3 опорного напряжения,45С помощью переменного резистора изме рительного элемента 2 осуществляется ручная регулировка рабочего тока термсьлектронной эмиссии.Ускоренные с помощью ионизирующего 5 О напряжения электроны попадают на ионизационную камеру 11, а часть электронов, поступая внутрь ионизационной камеры 11, ионизирует атомы, находяшиься в ее обьеме. 55Усиленное с помощью усилителя 1 обратной связи напряжение небаланса досгупает на подключенный к его выходу 16 4светодиод оптронного блока 6 потенцацп:ной развязки и вызывает изменение егояркости свечения, Свет со светодиодапоступает на фоторезистор оптрониогоблока 6 потенциальной развязки и измняет его сопротивление, что приводит кизменению сигнала на входе усилйтеля7 управления током катода, Усиленныйпо току сигнал вызывает изменение токанакала катода 10, подключенного к выходу усилителя 7, а, тем самым, и токатермоэлектронной эмиссии до наступленияравенства потенциалов на переменномрезисторе измерительного элемента иисточника 3 опорного напряжения,Таким образом, с помощью оптронного блока 6 достигается потенциальнаяразвязка электрической цепи тока термоэлектронной эмиссии, в которую входятусилитель 1 обратной связи, источник3 опорного напряжения, измерительныйэлемент 2, источник 4 ионизирующегонапряжения, источник 5 питания, служащий для, питания электронной схемы вцепи тока термоэлектронной эмиссии,от электрической цепи тока накала катода, в которкую входят усилитель 7 управления током катода 10,источщи 8 переменного тока яонижаюший трансформатор) и управляемый преобразователь 9.1Введение управляемого преобразовате1ля для питания ци 1 н катода позвОляетповысить точность регистрации ионноготока масс-спектрометра,Формула изобретения1, Массм,спектрометр, содержащий соединенную с источником ионизирующего напряженка ионизационную камеру, катодная цепь которой соединена с источником переменного тока, усилитель удравления током накала катода, усилитель обратной связи, входами соединенный с источником опорного напряжения и изме- . рительным элементом, включенным в пень катода, и блок потенциальной развязки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью довышения точности регистрации ионного тока масо-спектрометра, введен управляемый преобразователь переменного напряжения в постоянное, управляющим входом соединенный с выходом усилителя управления током катода, а между вы ходом усилителя обратной связи и входом усилителя управлениятоком накала катода подключен блок потенциальной .рвзвязки.Составитель С. Горбачеваактор А. Воровнч Техред С,Миг)щова ктор О. Билак 0173/72, Тираж 761ЬЙИИПИ Государственногоопо делам изобрет113035, Москва, Ж 335 дписное комитета СССРний и открытийаушская набд. 4/5 ал ППП фйатентф, г. Ужгород, ул. Про 5 985846. 62, Маоо сдектрометр ло и. 1, о т 1. Техническое описание масо-спектрол и ч а ю щ и й с я тем, что блок пь метра МАТ. Вариант АГ 6300 ОУГтенцнальиой развязки выполнен в виде Швейцария, 1974.оптронного блока. 2. Техническое описание масо.спектроИсточники информации, 5 метра МИ 12 01, Сумы, Завод электронпринятые во внимание ща экспертизе ных микроскопов, 1975.