Электростатическая система отклонения со скорректированной аберрацией

72) Авторыизобретен насьев и Т. Я. Фишков на Ленина физико-технический институт и Х аявитель 4) ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ОТКЛОНЕНИЯ СО СКОРРЕКТИРОВАННОЙ АБЕРРАЦИЕЙ решки, что20 ектируюшая секошие электростатичесства регулируютсяим путем, причемшая обеспечивает такой и сисИзобретение относится к электронной оптике в частности к электроннолучевым приборам, и может применяться в качест ве электростатической системы отклонения пучка заряженных частиц в тех случаях, когда требуется отклонение на большой угол при малых искажениях формы электронного пятна и растра.Известна электростатическая система отклонения, пластины которой расположе 1 о ны на внутренней поверхности цилиндраили конуса и выполнены в виде ряда пФ. лос, параллельных образующим. Ширина полос подобрана таким образом, чтобы обес печить максимальную однородность поля К. Недостатками такой системы являютсжесткость конструкции и отсутствие возможности электрической регулировне позволяет влиять на аберрации смы отклонения.Кроме того, чувствительностьсистемы меньше чувствительносттемы из двух плоских пластин. Известно, что аберрации отклоняющих систем могут быть скорректированы с помощью секступоля (шестиполюсиой линзы), напряженность поля которого пропорциональна второй степени коор-. динат, т.е. имеет тот же порядок, что и старший аберрационный член, отклоняющего поля,Наиболее близким техническим нием к изобретению является электро тическая система отклонения со скорректированной аберрацибй, содержащая две основные отклоняющие пластины и дополнительные электроды, раэмешенны симметрично относительно средней плоокости системы и перпендикулярной ей плоскости, проходящей через ось систе мыеОтклоняющая и корртупольная) составляюкого поля этого устройнезависимо электричесотклоняющая составляю. необходимое отклонение, а секступольнаякоррекцию возникающих аберраций 1. 23 .Недостатком известной системы отклонения является сложность изготовления устройства в целом иэ-за существенного отличия формы основных и дополнительных электродов.Кроме того, для соблюдения необходимой при работе симметрии требуется тщательная юстировка основных и внеш них электродов друг относительно друга,Целью изобретения является упрощениеконструкции при сохранении заданногоуровня аберраций.15Указанная цель достигается тем, чтов электростатической системе отклонения со с 1 сорректированной аберрацией,содержащей две основные отклоняющиепластины и дополнительные электроды,размещенные симметрично относительнойсредней плоскости системы и перпендикулярной ей плоСкости, проходящей черезось системы, упомянутые электроды выполнены в виде по крайней мере двухпар дополнительных пластин, которыеразмещены симметрично по обе стороныот основных пластин, причем поперечныесечения пластин в каждой из пар находятся на одной прямой с соответствующимисечениями пластин других пар,На чертеже представлена предлагаемаясистема, поперечное сечение.Электростатическая система отклонения содержит основные пластины 1 и 2,35дополнительные пластины 3-6, Пластины 3.-6 соединены гальваническн с источником напряжений.Электроды могут быть выполнены изпроводящих пленок, нанесенных на не 40 .проводящие пластины, При этом электроды отклоняющей системы расположены натех же поверхностях, что и основныепластиныЭто дополнительноупрощаетконструкцию и юстировку. Действитель 45но, отклоняющая система может быть выполнена, например, в виде двух непроводящих пластин, на которые нанесены основные и дополнительные пластины печатным или фотолитографическим спосо 50бом, С обеих сторон каждой Основнойпластины расположено по крайней мерепо одной дополнительной пластине. Приэтом форма пластин в направлении продольной оси не .существенна, однакодолжна быть соблюдена симметрия отно 55сительно средней плоскости системы,Устройство работает следующим образом,19 4Наосновные пластины 1,; 2 и дополнительные пластины 3-6 подаются потенциалы, пучок заряженных частиц подвергается действию отклоняющей и секступольной составляющих поля, причем вь- бором величины потенциалов на основных и дополнительных пластинах добиваются того, чтобы пучок отклонялся на нужный угол, а действие секступольной составляющей корректировало аберрацию отклонения, Предлагаемая конструкция позволяет добиться того, Действительно, распределение электростатического потенциала в поперечном сечении системы отклонения можно представить в видеА) = Ку+ К,гч. легч,й (е+ге ) К = И - + - Н 4 Д гд дигде К - отклоняющая составляющая поля; К - корректирующая; а - расстояние между противолежащими пластинами;- ширина основных пластин; Е, - широна дополнительных пластин.Видно что К, и К д Являются линей ными комбинациями потенциалов на основных и дополнительных электродах с различными коэффициентами. Выбором М, и Ч,2 мОжнО добитьсЯ нужных длЯ заданного отклонения и коррекции аберрации значений Ки КИспользование предлагаемого устройства по сравнению с известным позволяет упростить конструкцию устройства и облегчить юстировку. Уменьшение трудоемкости юстировки предлагаемого устройства по сравнению с известным достигает 65%Предлагаемое устройство предполагает лишь 7 юстировок двух цельноизготовленных пластин с нанесенными на них электродами: по одному параллельному переносу и двум поворотам на каждую пластину и установку в необходимое положение вдоль продольной оси.5 . 983819 6Таким образом, предлагаемая система аберраций, дополнительные электроды отклонения может выполнять более слож- вьяолнены в виде по крайней мере дв хере двух ные функциональные задачи, поскольку пар дополнительных пластин, которые может быть обеспечена необходимая для размещены симметрично по обе стороны этого точность изготовления. 5 от.основных пластин, причем поперечные ф о р м у л а и з о б р е т е н и я сечения пластин в каждой из пар находяъ-Электростатическая система отклоне- ся на одной прямой с соответствмо с соответствуюшими ния со скорректированнои вберрацией сечениями. пластиндругих парпластин других пар содержащая две основные отклоняюшиепластины и дополнительные электроды,размещенные симметрично относительносредней плоскости системы и перпендикулярной ей плоскости, проходящей черезось системы, о т л и ч а ю ш а я с ятем, что, с целью упрощения конструкции.при сохранении заданного уровня Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР143479 г кл Н 01 5 2974 е 1961 2. Авторское свидетельство СССР 15410487 ф кл. Н 01 3 29/74 ф 1971тавитель В.хред М. Надь юшин Корректор 0 дактор А. Бандо аж 761 Подписно ударственного комитета ССС изобретений и открытий ква, Ж, Раушская наб 993 64 ТиВНИИПИ Гос по делам13035, Мо