Способ градуировки вакуумметров

О П И С А Н И Е1957024ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(53) УДК 531.787 (088.8) Опубликовано 07.09.82. Бюллетень 33Дата опубликования описания 07.09.82 по делам нзобретеннй н открытий(71) Заявител ВАКУУММЕТРОВ СПОСОБ ГРАДУИ боростроеля градуиметркамеррагмувакуумент Изобретение относится к принию, в частности к устройствам дровки вакуумметров.Известны способы градуировки вакуум- метров путем повышения давления в первой камере с градуируемым вакуумметром, происходящего при непрерывной подаче известного потока газа в эту камеру из второй камеры с образцовым манометром и определения давлений, соответствующих зафиксированным в некоторые моменты времени показаниям градуируемого вакуумметра 11. Данные способы не обеспечивают градуировки вакуумметров в широком диапазоне давлений.Наиболее близким к предлагаемому способу по технической сущности и достигаемому эффекту является способ градуировки вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксирования показаний манометра сравнения, присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давления в камере по известным зависимостям 2 . Известный способ также не обеспечивает градуировку вакуумметров в широком диапазоне изменений давления.Цель изобретения - расширение диапазона градуировки,Поставленная цель достигается тем, что при градуировке вакуумметров путем циклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксирования показаний манометра сравнения, присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давления в камере по известным зависимостям, перед суммированием потоков их уравнивают, о чем судят по идентичности показаний манометра сравнения. На чертеже показана вакуумная система, еализующая предлагаемый способ градуиовки вакуумметров.Система содержит градуируемый вакуум 1, присоединенный к градуировочной е 2. Камера откачивается через диаф 3 известной проводимости 1 высокомным насосом 4. Через входной эле 5 (натекатель, диафрагму, трубку(2) Зо Формула изобретения и т. п.) в градуировочную камеру подают измеряемый поток Я градуировочного газа. Клапан 6 служит для перекрытия входного элемента 5. Через регулируемый натекатель 7 в камеру подают дополнительный .поток газа. К камере 2 присоединен также манометр сравнения 8.Предлагаемый способ градуировки вакуумметров состоит из следующей последовательности операции.После предварительной откачки камеры 2 в нее подают через входной элемент 5 измеряемый поток 0 газа (например, наибольший поток, при котором еще соблюдается молекулярный режим течения), при этом клапан 6 открыт.Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра 2 и сопоставляют с ним соответствующее значение давления Р в градуировочной камере 2, рассчитанное по формуле (1), Одновременно фиксируют показание манометра сравнения 11.Закрыв клапан 6, подают извне в камеру 2 дополнительный поток, равный измеренному потоку Я 1.Открыв клапан 6, удваивают поток газав камеру, т. е. Яг= 2 Я 1Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра 2 и сопоставляют с ним соответствующее значение, давления Рг в градуировочной камере, рассчитанное по формуле Одновременно фиксируют показание манометра сравнения 1 г.Прекратив подачу дополнительного потока, регулируют поток газа через входной элемент 5 так, чтобы показание манометра сравнения вновь было равно 1 г.Циклически удваивая поток газа, повторяют операции 2 и 6.Предлагается также при выполнении операции 3 регулировать дополнительный поток так, чтобы показание манометра сравнения вновь было равно 1. Это свидетельствует о том, что дополнительный поток равен измеренному потоку Я 1.Предлагается также подавать в камеру 2 дополнительный поток через регулируемый натекатель 7.Тогда операции 3 и 6 выполняют посредством открытия и закрытия натекателя 7.Таким образом, в камере 2. воспроизводится последовательный ряд давлений Р =2 РР -- 2 Рг = 4 РР 1 = 2 Рз= 8 Р; ="21"Р 2 Р,Наиболее важно чт о расчет давлений Р;совершенно не обусловлен режимом теченияво входном элементе системы, последнийможет и не быть молекулярным. Тогда верхний предел давлений зависит лишь от возможностей высокопроизводительной откачкикамеры 2 насосом 4.Таким образом, измерив однократнов начале градуировки сравнительно малыйпоток Я можно при определенном числеЬ описанных циклов регулирования потокавоспроизвести и рассчитать достаточно большие потоки (;); = 2" (;), и соответственносравнительно высокие давления Р; = 2" Рпри которых не соблюдается молекулярный20режим течения газа в системе, Ядро методики градуировки составляет циклическоерегулирование потоков газа через входнойэлемент и натекатель и регистрация показаний градуируемого вакуумметра 1 и манометра сравнения 8. Устранение ограничений,накладываемых на режим течения, обеспечивает возможность заметного расширениядиапазона градуировки в сторону высокихдавлений,Способ градуировки вакуумметров путемциклической подачи в градуировочную камеру основного потока газа, дополнительного потока, их суммарного потока, фиксирования показаний манометра сравнения, присоединенного к камере, непрерывной откачки газа из камеры и расчета значений давления в камере по известным зависимостям, отличающийся тем, что, с целью рас ширения диапазона градуировки, перед суммированием потоков их уравнивают, о чем судят по идентичности показаний манометра сравнения. Источники информации,45принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР767592, кл. б 01 Е 27/00, 1978.2. Авторское свидетельство СССР408183, кл. б 01 1. 27/00, 1971 (прототип).957024 ююй ель О Бокка Редактор Г. У Заказ 6583/28 го ком к ии и от аушская жгород, у Составит с Техред А. Ткраж 887 ВНИИПИ Государственно по делам изобретен 113035, Москва, Ж - 35, Р лиал ППП Патент, г. У