Способ градуировки вакуумметров

н есзщяеебюветенаМБСоюз Советских Социалистических РеспубликОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 11767592(5)М. Кл. С 01 1. 27/00 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) СПОСОБ ГРАДУИРОВКИ ВАКУУММЕТРОВИзобретение относится к областиприборостроения и может быть использовано для определения метрологических характеристик вакуумметров,Известен способ градуировки ваку1 умметров, основанный на расчетномпони:кении (редукции) давления, Происходящем при молекулярном течении газа через диафрагмы известной прово"димости (11. Недостатком этого спо- Особа является сложность п 1 оведенияграидуировки, связанная с.необходимостью измерять давление для каждойэкспериментальной точки.Известен также более простой хронометрнческий способ граидуровки вакууюетров, .основанный на расчетномповыаении давления в градуировочнойкамере (2Этот способ наиболееблизок к предлагаемому, 20Вакуумная система, используемаяпан известном способе градуировки,показана на фиг. 1.К градуировочной камере 1 (известного объема Ч) присоединен градуируемый вакуумметр 2. Через диафрагму3 известной малой проводимости Ч ка,мера 1 соединена с камерой 4, к которой присоединен также образцовый.манометр 5. 30 2Способ градуиронки вакуумметров состоит в том, что, после предварительной откачки камер 1 и 4 наполняют газом камеру 4 и устанавливают непрерывный поток газа из камеры 4 в камеру 1 через диафрагму 3, измеряют давление Р, в камере 4 по образцовому манометру 5. При непрерывном повышении давления в камере 1 регистрируют (или записывают) показания градуируемого вакууметра 2 во времени, начиная с момента р(прн этом контролируют постоянство давления Р, ).Давление Р газа в камере 1, соответствующие произвольным моментам времени , рассчитывают по формулеР =Р чЧ, дт, (1)где Ь й (, срСопоставляют эти расчетные значения давления Р с соответствующими показаниями вакуумметра 2.Недостатком способа является низкая точность градуировки, обусловленная наличием неучитываемых побочЮных газовых процессов в градуировочной камере (газовыделение со стенок камеры или внутри градуируемого вакуумметра, в всобенности при высоком и сверхвысоком вакууме, Уравнение (1) предполагает пренебрежимую малость(2 а)60 ПОтгокга газовыделения н камере и вакуумметре, что не всегда справедливо..Кроме того, данный поток может изменяться от одного цикла градуировкик другому, в связи с чем в результатах гградуйровки содержится постоянная5систематическая погрешность, величина: Которой возрастает при понижении дав-лейия.Цель изобретения - повышение точности градуировки. 40Эта цель достигается тем, что по.окончании повышения давления откачивают вторую камеру, затем соединяют" первую камеру с второй, измеряют пообразцовому манометру устанавливающееся после расширения давления и 15по известной зависимости рассчитывают искомые давления в первой градуи ровочной камере.Вакуумная система, реализующаяпредлагаемый способ градуиронки ва "куумметров, изображена на фиг. 2. Онавключает камеру 1 объема Ч с присоединенным к ней градуируемым вакуумметром 2. Через диафрагму 3 малойпроводимости камера 1 соединена с дкамерой 4 объема Ч к которой также присоединен образцовый манометр 5.Диафрагму 3 можно открыть или закрытьс помощью клапана б. Параллельно емупомещен клапан 7, с помощью которого." камеры 1 и 4 можно объединить н единую камеру. Через клапан 8 камера 4сообщается с дополнительным насосом9 (или агрегатом), предназначеннымдля откачки данной камеры.Предлагаемый способ градуировки : вакуумметров состоит в том, что пос- -:, -ле предварительной откачки камер 1и 4 наполняют газом камеру 4 и устанавливают непрерывный поток газа изкамеры 4 в камеру 1 через диафрагму 403 (при этом клапаны 7 и 8 закрыты,а клапан б открыт), При непрерывномповышении давления в градуироночнойкамере 1 регистрируют (или записывают) показания градуируемого вакуумметра 2 во времени, начиная с момента с (при этом контролируют пос тоянство давления Р, в. камере 4),"Давления Рг газа в камере 1, соответствующие произвольным моментамвремени е, описываются уравнениемр, г 3 )г)ОРгде е - суммарный поток сорбции и десорбции газа в камере 1.В некоторый конечный момент време-ии й" давление Рц в камере 1Далее измеряют давление Р по образцовому манометруРешая совместно уравнение (2) (2 а) и (3) относительно давления Р получимр р- д-р ч ч а У М,(4) Сопоставляют эти расчетные значения давления Р в градуироночной камере 1 с соответствующими зафиксированными моментом времени с йоказателями вакуумметра 2, Расчитанные по уравнению (4) значения давлений Р свободны от погрешностей, связанных- с побочными процессами гаэоотделения в градуировочной камере и в градуируемом вакууммерте, что обеспечивает повышение точности градуировки. Указанные побочные процессы автоматически учитываются при измерении давления Р формула изобретения Способ градуировки вакуумметровйутем повышения давления в первой камере с градуируеьим вакуумметром,происходящего при непрерывной подачеизвестного потока газа в эту камеруиэ второй камеры с образцовым мано-.метром, и определения давлений, соответствующих зафиксированным в некоторые моменты времени показаниямградуируемого вакуумметра, о т л и -ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности градуировки, 1 юокончании повышения давления откачивают вторую камеру, затем соединяютпервую камеру со второй, измеряютустанавливеющееся после расширениядавление по образцовому манометру ипо известной зависимости рассчитывают искомые давления в первой камере.Источники информации,принятые во внимание при экспртизе1. Оачв Ч,О.З.Час,5 е,ТееМо 1.5,9 1 (19 б 8) р. 23-33.2. О)цвИп)ап 5 Гоцпд 6), РЬув.Веч 15, М 2 (1920), р. 133 (прототип),где ь с= кЗакрыв в момент времениклапан б и открыв клапан 8, откачивают камеру 4 доплнительным насосом 9 (или агрегатом) до давлений, пренебрежимо малых по сравнению с конечным давлением Р н камере 1. Затем, эакрын клапан 8 и открыв клапаны б и 7, соединяют камеры 1 и 4. Тогда н обшем объеме Ч + Ч, обеих камер устанавливается давление Р.Рыбалов ак Патент", г. Ужгород, ул. Проектная лиа Заказ 7183/38 Тираж 1019 ВНИИПИ Государственного коми по делам изобретений и о 113035, Москва, Ж, Раушс