Полировальный состав

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСХОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик п 339514(23) Приоритет(51)М, Кл. С 09 С 1/02 РкударвтюиМИ кетвт СССР е дааи звбретв етврмтВ(54) ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ СОСТАВ Изобретение относится к химико- механической обработке и может быть использовано для. уменьшения шероховатости обрабатываемой поверхности металлических прецизионных деталей.Известен полировальный состав, содержащий жидкую основу и абразивные вещества, которые являются твердыми частицами определенного размера, например микропоровок электрокорунда 11.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемфму является полировальный состав 1 21, содержащий , вес,Ф: Карбид кремния 10-40 Нитрит натрия 0,5-1,0 Вода 54-74,5 Пемза 5-15 Однако используемые в полировальных суспензиях жидкие основы, как прарило, является довольно слабыми химическими реагентами. Поэтомуосновной упор действия суспензии дела,ется на абразивные частицы ( а данномслучае карбид кремния и пемза ) т.е.преобладает механическое воздействие 5из всей совокупности физико-химических процессов. Но при использованиив полировальных композициях абразивных частиц из твердых материалов приобработке металлической поверхностипрецизионных деталей, в частностивоспринимающих элементов металлопленочных датчиков физических величин,появляются микроцарапины, риски, атакже возможно щаржирование поверхности, т.е. внедрение абразивныхчастиц в нее, кроме того, появляетсятепловое воздействие за счет трения)на обрабатываемую поверхность, что 2 о приводит к структурно-фазовым изменениям в верхнем слое поверхности прецизионных деталей. Структурная нестабильность поверхности микроцарапины и рис,0,8 1 Фосфорная Глицерин Синтанол Вода Полировальный состав Риски, царапины Известный Имеются риски и.микроцарапины неисчезающегохарактера при освещении 0,050 - 0,025 Предлагаемый 0,025 - 0,012 3 93951 ки на ней, внедрение посторонних частиц в дальнейшем отрицательно сказываются ври формировании микросхем в процессе изготовления, например, металлопленочных датчиков физических величин,Цель изобретения - повышение качества поверхности металла при температуре обработки от -10 до -70 С.Для достижения указанной цели по о лировальный состав для обработки металлической поверхности прецизионных изделий, включающий жидкую основу и абразивные частицы, в качестве жидкой основы содержит Фосфорную кислоту, 1 глицерин, продукт оксиэтилирования синтетических спиртов с 10-16 атомами углерода (синтанол) и в качестве абразива вчастицы льда при следующем соотношении компонентов, об,ч: Фосфорная кислота 1- 1,5Глицерин О, 8-1Синтанол 0,4-0,5Частицы льда 0,8-1 25Фосфорная кислота усиливает химическое воздействие на обрабатываемую поверхность, образуя, помимо окисной пленки, фосфаты с составными компонентами обрабатываемой метал- зо лической поверхности,Глицерин увеличивает вязкость образующейся пленки из продуктов химического и механического воздействия на обрабатываемую поверхность, обес- печивая тем самым большую степень сглаживания неровностей обрабатывае мой поверхности.Синтанол, являясь поверхностно- активным веществом, усиливает дейст 4(1 вие адсорбционных процессов, кото 4рые обусловливают уменьшение твердости обрабатываемой поверхности и спо собствуют пластическому течению обрабатываемого материала.АбразивнЫе частицы, полученные замораживанием воды, имеют в зависимости от температуры замерзания разную твердость. Это позволяет обеспечивать требуемое механическое воздействие на обрабатываемую поверхность, исключая образование микроцарапин, рисок и шаржирование поверхности, так как острые углы частиц льда при взаимном давлении на обрабатываемую поверхность оплавляются.Кроме того, за счет минусовой температуры самой полировальной суспензии исключается местный нагрев поверхностного слоя обрабатываемой поверхности.Для обработки металлической поверхности (сталь 36 НхТЮ), например воспринимающего элемента металло- пленочного датчика физических величин, готовят две полировальные сус пензии, об.ч: Каждую из этих композиций замораживают при температуре жидкого азота -196 С), и обработку ведут при периодическом охлаждении обрабатываемой поверхности (температура при этом может варьировать от -70 до -1 ОСС)Полученные результаты приведены в таблице (использован профилометр мод,201 завода "Калибр" ). Качество поверхности Параметр шероховатости,мкм,939514 0,4-0,50,8-1 формула изобретения Составитель .Л,Чижова Редактор Л.филь Техред М. Гергель Корректор М. Костаее еа е Заказ Й 93/38 Тираж 661Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва,Ж) Раушская набд.4/5е еееюав еве Ееттю ееФилиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Из таблицы сравнения видно, что при использовании предлагаемого полировального состава повышается качество обрабатываемой поверхности.Использование предлагаемого полировального состава при обработке металлической поверхности прецизионных деталей обеспечивает по сравнению с известными повышение качества обрабатываемой поверхности за счет отсут- )О ствия рисок, микроцарапин и ее шаржирования, а также уменьшение ее шероховатости; исключение теплового воздействия на обрабатываемую поверхность, приводящее к появлению струк% турной нестабильности в верхнем слое поверхности. Полировальный состав для обработки металлической поверхности прецизионных изделий, включающий жидкую основу и абразив, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества поверхности металла при температуре обработки от -10 до -70 ) в качестве жидкой основы состав содержит фосфорную кислоту, глицерин и продукт оксиэтилирования синтетических спиртов с 10- 16 атомами углерода и в качестве абразива - частицы льда при .следующем соотношении компо" нентов, об,ч:фосфорная кислота ., 1-1,5;Глицерин 0,8-1Продуктоксиэтилированиясинтетическихспиртов с 1016 атомами углеродаЧастицы льда Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР И 466272, кл. С 09 С 1/02) 1972.2, Авторское свидетельство СССР й) 711082, кл. С 09 6 1/02, 1978 (прототип).