Устройство настройки электронно-оптической системы микрозондовых приборов

(51)М. Кл, Н 01 г 37)24 с присоединением заявки М -Эеударствеевй канитет СССР юв яаяам яэабратаввй и втяРьпвв(72) Авторы изобретения Московский институт электронного машиностроения(54) УСТРОЙСТВО НАСТРОЙКИ ЭЛЕКТРОННООПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ МИКРОЗОНДОВЫХ НРИБОРОВИзобретение относится к области электроннолучевых приборов, в часттюсти. к микрозондовой технике, и может быть использовано для настройки и наладки зондоформирующнх систем, например, растровых электронных мик. ,роскопов.3Известно устройство настроики электронно- оптических систем (ЭОС), предназначенное дпя их юстировки, состоящее из мультипольных линз, блоков питания секторов этих линз и ре. гулирующего блока 1.0Недостатком этого устройства является низкая точность юстировки, обусловленная отсутствием коррекции тока фокусирующих линз, в частности формирующей линзы.Наиболее близким к предпоженному по тех. 15 нической сущности является устройство, предназначенное для автоматической юстировки ЭОС в установках электроннолучевой обработ; ки, которое содержит схему фокусировки20 электроннд го пучка, включающую блоки регистрации и влщеления характеристического снг. . нала в виде высокочастотной составляющей, функциональный преобразователь, блок управ. пения током формирующей линзы, а также юстируилцие электроннооптические устройства, подключенные к управляемым источникам питания 121.Недостатком данного устройства является то, 1 по для настройки ЭОС требуется специальный тест объект, выполненный в виде пприховых меток из тяжелого металла, которые луч обегаег по ззданной программе; про. цессы юстировки и фокусировкй ведутся раздельно друг от друга и поэтому улучшение точности фокусировки не вызывает повышения точности юстировки и наоборот, что в целом снижает разрешающую способность приборов,Цель изобретения - новыпение разрешающей способносп микрозондовых приборов эз счет обеспечения минимзльного диаметрз зонда.Указанная цель достигается тем, что в устройстве настройки ЭОС, содержащем схему фо. кусировки электронного пучка, включаюшую последовательно соединенные блок выделения высокочастотной составляющей видеосигнала с детектора вторичных электронов, блок управ. ления током формируюшей линзы, функци.928466 опальный преобразователь, и юстируюшие элек.троннооптические устройства, подключенные куправляемым источникам питэния и установленные соосно с элементами ЭОС, функциональный преобразователь выполнен в виде програм.много устройства, подключенного к выходусистемы выделения высокочастотной составляющей видеосигнала и соединенного через компаратор с блоком коммутации, который соеди.нен через цифро.аналоговые преобразователис управляемыми источниками питзния юстирую.щих устройств и блоком управления токомформирующей линзы,На чертеже представлена блок-схема устройства.Устройство содержит электронную пушку 1,блок 1 2 конденсоров; формирующую линзу 3,отклоняющую систему 4, объект 5, детектор6 вторичных электронов, усилитель 7, блок 8выделения высокочастотной составляющей,блок 9 сравнения, задающий генератор 10,аналого-цифровой преобразователь 1 1, прогарммное устройство 12, блок 13, коммута.цни, цифро-аналоговые преобразователи 14,управляемые источники 15 питания юстируюших устройств, юстирующие электроннооптические устройства 16, блок 17 управлениятоком формирующей линзы,Устройство работает следующим образом.Электронный пучок, генерируемый электрон.ной пушкой 1, фокусируется блоком 2 конденсорных линз и формирующей линзой 3 исканируется отклоняющей системой 4 по поверхности объекта 5. Поток вторичных электронов от объекта регистрируется детектором6 и усиливается в усилителе 7. Сформированный таким образом видеосигнал попадает вблок 8 вьщеления высокочастотной составляющей видеосигнала, Далее выделенная составляющая поступает в блок 9 сравнения, где нроисходит сравнение частоты вьщеленной состав.ляющей с заданным уровнем, величина кото.рого определяется параметрами сигнала, поступающего с задающего генератора 10, затемсигнал сравнения через аналого-цифровой преобразователь 11 поступает в программное уст.ройство 12, которое подает соответствующуюкоманду на блок 13 коммутации, осуществляющий соответственно программе управлениечерез цифро-знзлоговые преобразователи 14источникзми 15 питания юстирующих устройств16 и блоком 17 управления током формирующей линзы. Включаемые в заданной последо 4ватсльности блоком 13 коммутации источники питания юстируви 1 их устройств и блокуправления током формируюцей линэы осуществляют пошаговое изменение положенияучкз относительно оси ЭОС, а также пошаговую подфокусировку формирующей линзы.При этом обеспечивается следующая последовательность настройки ЭОС: фокусировка пучка - включение и юстировка первого элек 1 о троннооптического элемента ЭОС - подфокусировка пучка - включение и юстировка вто.рого элемента и т.д,Таким образом, предложенное устройствопозволяет автоматизировать и существенноповысить точность настройки электроннооптической системы микрозондовых приборов иповысить их разрешающую способность. Формула изобретения Устройство настройки электроннооптическойсистемы микрозондовых приборов, содержащее схему фокусировки электронного пучка, включающую последовательно соейщеннца блок вы.деления высокочастотной составляющей видеосигнзла с детектора вторичных электронов, блок управления током формирующей линзы, функциональный преобразователь, и юстирующие электроннооптические устройства, подклю.ченные к управляемым источникам питания и установленные соосно с элементами электроннооптической системы, о т л и ч а ющ е е с я тем, что с целью повышения разрешающей способности мнкроэондовых приборов за счет обеспечения минимального диа.метра электронного пучка, функциональный преобразователь выполнен в виде программно.го устройства, подключенного к выходу системы выделения высокочастотной составляющей видеосигнала и соединенного с блоком коммутации, который соединен через цифро-аналоговые преобразователи с управляемыми источниками питания юстирующих устройств и блоком управления током формирующей линзы.45 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1, Авторское свидетельство СССР Юф 368675,ьо кл. Н 011 29/40; 1972. 2, Патент ГДР Мф 114316, кл, Н 01 7 37/30, опублик, 1975 (прототип).9284 бб вигель В. Гаврюшинред Ж. Кастелевич рректор С, Шом Редактор Л. Веселовская одлисн Тираж 758ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д, 4/5 аз 3254/67 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектна