Патенты с меткой «микрозондовых»

Номер патента: 928466

Опубликовано: 15.05.1982

Авторы: Белоусов, Рыбалко, Тихонов

МПК: H01J 37/24

Метки: микрозондовых, настройки, приборов, системы, электронно-оптической

...систему 4, объект 5, детектор6 вторичных электронов, усилитель 7, блок 8выделения высокочастотной составляющей,блок 9 сравнения, задающий генератор 10,аналого-цифровой преобразователь 1 1, прогарммное устройство 12, блок 13, коммута.цни, цифро-аналоговые преобразователи 14,управляемые источники 15 питания юстируюших устройств, юстирующие электроннооптические устройства 16, блок 17 управлениятоком формирующей линзы,Устройство работает следующим образом.Электронный пучок, генерируемый электрон.ной пушкой 1, фокусируется блоком 2 конденсорных линз и формирующей линзой 3 исканируется отклоняющей системой 4 по поверхности объекта 5. Поток вторичных электронов от объекта регистрируется детектором6 и усиливается в усилителе 7....