Анизотропно проводящая планшайба

Союз СоветсиикСоциалистическихРеспублик ЬП ИСАНИЕИЗЬБРЕТЕН ИЯк детовскомм свидитвльствЮ928462(5)М. Кд. Н 01 Л 29/10 9 кударетвапаН каиктет СЮДР в делан взабрвтеккк н открытий(71) Заявитель Харьковский институт радиоэлектроники(54) АНИЗОТРОПНО ПРОВОДЯЩАЯ ПЛАНШАЙБА Изобретение относится к электронному приборостроению, в частности к преобразователям. изображений, трубкам электростатической записи информации и т.п.Известна металловолоконная планшайба, которая представляет собой диэлектрическую пластину (обычно стеклянную), пронизанную большим количеством металлических стержней, Такая планшайба используется для разделения приемного и коммутируемого слоев в преобразователях иэображений 1.Однако согласованный по коэффициенту температурного расширения (КТР) спай стеклометалл достижим для весьма ограниченного круга материалов, которые не всегда хорошосовмещаются по химическим и физическимсвойствам с рабочими слоями преобразователя,С увеличением длины цилиндрического сная увеличивается влияние разности КТР используемых материалов, эта разность может статьпричиной разрушения даже согласованного снаяКроме того, часто преобразователи изображений работают при глубокоМ охлаждении фоточувствительных слоев, вплоть до - 269 С. В процессе же изготовления приборов при формировании фоточувствительных слоев напланшайбе, ее необходимо нагреть до 350 -о400 С. Значительные и резкие перепады температур приводят к разрушению планшайбы. ф Указанные недостатки ограничивают возможность применения металловолоконной планшайбы.Известна также анизотропно проводящаяпланшайба, содержащая диэлектрическую пластину, пронизанную насквозь взаимно изолированными проводящими волокнами, которыевыполнены в виде полых каналов в пластине,стенки которых покрыты низкоомным элек.тропроводящим слоем 2.Планшайба обладает низким коэффициентомиспользования площади рабочего слоя, чтообусловлено чрезвычайно малой площадьюэлектрического контакта каждого проводника с рабочим слоем (например, фоточувствительной пленкой) планшайбы, Это особеннопроявляется в устройствах, у которых токитекут поперек слоев. Например, в фотоэлектрических многоэлементных приемниках на4 Е 43 50 3 92планшайбе указанный недостаток приводитк потере большей части регистрируемого излучения, эффективность преобразования оптического изображения в потенциальный рельефнизкая. Кроме того, из-эа сквозных полыхканалов планшайба не может служить герме-.тиэирующим элементом конструкции прибора,в котором она используется. Часто на противоположных торцах планшайбы требуетсясформировать химически несовместимые рабочие,слои, летучие компоненты которых могут проникать сквозь нее, иногда возникаетнеобходимость передать с ее помощью потен 1циальный рельеф из вакуумного объема в атмосферу и наоборот.Целью изобретения является увеличение эффективности преобразования информации.Поставленная цель достигается тем, что ванизотропно проводящей планшайбе, содержащей диэлектрическую пластину, пронизаннуюнасквозь взаимно изолированными проводящими волокнами, выполненными в виде полых каналов в пластине, стенки которых покрыты низкоомным проводящим слоем, кон.цевые участки каналов заполнены электропроводящим материалом, находящимся в электрическом контакте с проводящим слоем канала,На чертеже изображена планшайба.Планшайба содержит диэлектрическую пластину 1, пронизанную каналами, стенки которых покрыты тонким проводящим слоем 2.Концевые участки каналов заполнены на небольшую глубину проводящим материалом 3,образующим контактные площадки.Планшайбу можно изготовить с использованием широко применяемой технологии микроканальных пластин, в частности методомрастворимой стеклянной сердцевины, которыйсостоит в следующем.Каналы в стеклянных трубках заполняютстеклом, растворимым в каком-либо раство.рителе, Необходимое количество трубок спекают и обжигают в монолитный блок, который.подвергают перетяжке. Полученный блок имеет диаметр элементов меньший, чем исходный, его режут, а отрезки складывают и спекают с обжатием в такой же блок. Далее опятьследует вытягивание, Процесс повторяется не.сколько раз, в итоге получается блок с эле.ментами нужного диаметра, который разреза.ют на заготовки необходимой толщины, После механической обработки растворимая серд.цевина удаляется,Создать тонкие проводящие пленки внутриканалов можно методом, основанным на восстановлении металлов или формировании полупроводниковых. материалов из растворов ихсолей, Таким путем получают, например, сере 8462 4 бряные покрытия (реакцией серебряного зеркала), золотые (термическим восстановлениемметалла из раствора хлорного золота),полу.проводниковые иэ двуокиси олова (терми ческим формированием при осаждении на стек.ло паров хлорного олова). Благодаря капиллярным явлениям жидкие растворы солей хорошо заполняют каналы .диаметром в единицы и десятки микрон, длиной в несколько30 миллиметров,Заполнять концевые части каналов проводящим материалом можно путем втирания ипоследующей термической обработки различных паст, приготовленных из мелкодисперс 1% ных проводящих материалов, например серебра, графита. Можно также заполнять вы.ходные отверстия злектрохимическим способом, такая технология делает практически неограниченным круг используемых металлов идаже сплавов,В такой конструкции планшайбы площадьэлектрического контакта каждого волокна увеличена на несколько порядков, в такой же ме.ре увеличивается коэффициент использованиярабочих слоев и, следователЬно, так же возрастает чувствительность прибора, использующего планшайбу.Приобретенная герметичность планшайбырасширяет область ее применения, упрощаеттехнологию формирования рабочих слоев ипозволяет создать более чувствительные приборы на ее основе за счет расширения кругаматериалов, используемых в качестве рабочихслоев. Формула изобретения Анизотропно проводящая планшайба, содержащая диэлектрическую пластину, пронизанную насквозь взаимно изолированными проводящими волокнами, выполненными в виде полых каналов в пластине, стенки которых покрыты низкоомиым проводящим слоем, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью увеличения эффективности преобразования информации, концевые участки каналов заполнены электропроводящим материалом, находящимся в электрическом контакте с проводящим слоем канала,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Англии йф 1092094, кл. Н 01 О,1967,2. Авторское свидетельство СССР по заявке Мо 2875294, кл, Н 015 9/42, 1980 (прототип),928462 Составитель В. БелокТехред Ж, Кастелевич рректор О. Билак едактор Л, Веселовск Подписно Заказ 3254/6 атент", г. Ужтород, ул, Проектная Тираж 758 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5