Способ формирования защитного покрытия и устройство для его осуществления

Союз СоветскихСоциалистическиеРвсттублнн ОП ИСАНИЙ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ мщ 917366(22) Заявлено 01.09.80. (21) 2980925/18-21с присоединением заявки,В(23) Приоритет(51)М, Кл. Н 05 К 3/00ХВ оь О 7/24 3 Ьеударстеаваа кветет СССР ва делан зебретеннк к втаритккДата опубликования описания 30,03 .82(5) СПОСОБ фОРИИРОВАНИЯ ЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 3Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и интегральных схем и может быть использовано для нанесения покрытий, зацищающих поверхность фотошаблонов или полупроводниковых пластин, например, при межоперационном хранении.Известны способ и устройство для нанесения покрытия, например фоторе" виста, лака, на пластины, Способ заключается в том, что на пластину наносят дозу Фоторезиста (или дана) н центрифугируют в течение определенного времени ".11.Устройство для осуществления данного способа содержит сборник фоторезиста с установленным внутрн него валом центрифуги, имеющим ва-куумный держатель пластины 1.13.Недостатком известного способа н устройства является то, что они не обеспечивают нанесение одинакового по толщине покрытия по всей площади пластины, так как в центре вращения пластины. отсутствуют центробежныесилы.Наиболее близким к предлагаемомуявляется способ формирования покрытия, включающий нанесение дозы матриала покрытия на подложку и центрифугирование 21,Также наиболее близким к изобретению является устройство, содержащее сборник покрытия и установленный внутри вал центрифуги с держателем подложек, размеценным вторце вала, Вал центрифуги снабженнаправляющими, расположенными вплоскости, перпендикулярной осивращения вала Г 21.Недостатки известного способа иустройства для его реализации за"ключаются в том, что они не позволяют сократить время технологичес".кого процесса на операции удалениязащитного покрытия, Это связано стем, что при нанесении равномерноготонкого слоя защитного покрытияФормула изобретения 391736известным способом требуется боль"шая трудоемкость, чтобы удалить этопокрытие. Бсли же наносить утолщенный слой, то это требует перерасхода материала покрытия, напримерлака.Цель изобретения - упрощение технологического процесса.Поставленная цель достигаетсятем, что в известном способе Формирования покрытия, включающем нанесение дозы материала йокрытия наподложку и центрифугирование, прицентрифугировании по периметру подложки создают разрежение. 15Кроме того, поставленная цель достигается тем что известное устройство для формйрования покрытия, содержащее центрифугу с валом и держатель подложки, размещенный на торцевала, снабжено кольцевым вакуумнымсоплом, наружный диаметр которого определяют из соотношения Обад, где Онаружный диаметр сопла; д - диаметрподложки. 25. На фиг. 1 изображено устройстводля формирования защитного покрытия;на фиг,2 - подложка с защитным покрытием.еУстройство для нанесения покрытия ЗЗ(фиг. 1) содержит сборник 1 покрытия,внутри которого установлен вал 2 центрифуги с держателем 3 для подложек4, камеру 5, подвижно установленнуюсоосно над держателем пластин и выполненную с кольцевым соплом б, Каме 35ра 5 соединена с вакуумной системой7, Наружный диаметр сопла определяют из соотношения ОО, где О " наружный диаметр сопла, а д - диаметр под 40ложки,Устройство работает следующим образом.Подложку 4 устанавливают на держатель 3, закрепленный на валу 2 центрифуги, подают дозу лака на верхнюю45поверхность, опускают камеру 5 и включают электродвигатель (не показан)центрифуги., Одновременно с этим камеру 5 подключают к вакуумной системе 7.За счет центробежных сил лак от цент-ра растекается в стороны, покрываявсю .поверхность подложки. При этом камера 5, установленная соосно с подложкой 4, удерживает часть сбрасываемогопокрытия 8 по периметру подложки 4 за 55 6счет создания разрежения концентрической зоны над поверхностью подложки с помощью кольцевого паза 6, выполненного в камере 5. При этом происходит уравновешивание сил внутреннего сцепления покрытия, образовавшихся за счет разреженной зоны над подложкой и центробежных сил. После этого сброс покрытия в сборник прекращается. Образуется утолщенный валик 9 по периметру покрытия 8. Затем по истечении определенного времени электродвигатель отключают,центрифуга останавливается. Камеру 5 поднимают, отключая при этом от вакуумной магистрали. Подложку снимают с держателя и передают на следующую операцию, Цикл .повторяется, Полученный таким образом утолщенный валик 9 порядка 1-1,5 мм при снятии покрытия исключает разрыв пленки лака на краях подложки и способствует быстрому удалению защитной пленки с поверх-. ности подложки.Использование изобретения позволит упростить технологический процесс и увеличить производительность на операции удаления защитного покрытия на 303Способ йормирования защитногопокрытия, включающий нанесение дозыматериала покрытия на подложку и центрифугирование, о т л и ч а ю щ и йс я тем,. что, с целью упрощения технологического процесса, при центрифугировании по периметру подложкисоздают разрежение,2, Устройство для осуществленияспособа Формирования защитного покрытия, содержащее центрифугу с валоми держатель подложек, размещенный наторце вала, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что оно снабжено кольцевым вакуумным соплом, наружный диаметр которого определяют из соотношения Оф,где О - наружный диаметр. сопла; ддиаметр подложки.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРй 358019, кл, В 04 В 5/00, 19732, Авторское свидетельство СССРй 660544, кл, В 04 В 5/00, 1975, (прототип);917366 Составитель А.ХохловРедактор В.Пилипенко Техред М, РейвесКорректор Н.Ст каз Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектна 78 Тираж 856ВНИИПИ Государственного комитетпо делам изобретений и открыт 113035, Москва, Ж"35, Раушская Подписноа СССРийнаб. д 4/5