Способ подгонки тонкопленочных резисторов

72) Авторы изобретен В.Я, Овласюк, И.В. Петров и В.С. Халъко меи научноиогф транспорта Всесоюзный ордейа Трудового Красногоисследовательский институт железнодороа 1) Заявител 54) СПОСОБ ПОДГОНКИ ТОНКОПЛЕНО 4 НЫ РЕЗИСТОРОВИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для точной подстройки реэисто ров в аппаратуре, выполненной с применением методов тонкопленочной технологии.Известен способ регулирования сопротивления тонкопленочных резисторов, согласно которому исходная величина сопротивления резистора преднамеренно выполняется заниженной за счет выполнения резистора в виде нескольких параллельных дорожек и затем при подгонке увеличивается путем разрыва одной или нескольких резистивных дорожек 111.Недостатком этого способа является отсутствие возможности точной регулировки сопротивления.Известен также способ подгонки сопротивления тонкопленочных резисторов, в которых часть длины дорожки шунтирована проводящим покрытием, Подгонка осуществляется путем удале ния одного или нескольких участков,шунтирующих резистор Ц 1,Недостатком этого способа является невозможность плавного регулирования сопротивления.Наиболее близким по техническойсущности к изобретению является способ подгонки тонкопленочных резисторов с пленочными контактами путемудаления части реэистивного материа 10Однако этот способ не обеспечивает одновременной совместимости высокой точности и высокой производи 15тельности процесса подгонки.Цель изобретения - повышение точности подгонки тонкопленочных резисторов при одновременном повышении производительности.Поставленная цель достигается темчто согласно способу подгонки тонкопленочных резисторов с пленочнымиметаллическими контактами путем удаления части резистивного материала 3 90032на резистивный материал наносят двадополнительных электрода, расположенных перпендикулярно основным, направленных навстречу друг к другуи контактирующих с пленочными металлическими контактами резисторов,а удаление части резистивного материала проводят в направлении, перпендикулярном дополнительным электродам, выбирая место удаления материа ола в соответствии с необходимой точностью подгонки.На фиг. 1 показан один из вариантов геометрии резисторов для,подгонки по предлагаемому способу; на 15фиг, 2 - зависимость изменения сопротивления резистора ай от местаудаления материала.При указанном варианте геометриирезистор 1 соединен противоположны"ми выводами с пленочными металлическими контактами 2 и 3. По краю резистора напылены два дополнительныхэлектрода 1 и 5, соединенные соответственно с пленочными контактами 2 ти 3. По нормали к дополнительным резисторам при удалении материала образуются дорожки 6 грубой настройкии дорожки 7 и 8 точной настройки,состоящие из наложенных друг на дру- зВга и частично перекрытых лунок 9(и - количество лунок, 1 - шаг настройки),Подгонка резистора осуществляетсяследующим образом. В исходном состоянии сопротивление резистора минимально. Для ступенчатого увеличениясопротивления на большую величину используется дорожка 6. Дорожка образуется, например лазерным лучом, изпоследовательно наложенных друг на.друга и частично перекрываемых лунок.В целях повышения производительностирегулирования желательно увеличиватьшаг подгонки . По мере приближенияк заданному значению, не уменьшая ша"га подгонки, следует переходить надорожки 7 или 8. Чем ближе дорожка кконтактной площадке, тем меньше величина й = В - Впри неизменномшаге подгонки (фиг. 2).ЯС помощью предлагаемого способавозможно производить регулированиетонкопленочного резистора (в сторону 1 4увеличения) с точностью 0,1 и вышена величину до 50 Г от первоначального значения, Такая высокая точностьпозволяет применять способ подгонкив случае прецизионных измерительныхприборов.Большой диапазон регулировки свысокой точностью дает воэможностьприменять способ, например, при создании частотнозадающего элемента в активных ВС-фильтрах и генераторах,В этом случае частотный диапазон выбирается путем разрыва проводящихперемычек, шунтирующих часть длиныдорожек тонкопленочного резистора.Плавная настройка в пределах частотного диапазона осуществляется с помощью предложенного способа, При этомнастройку частоты возможно производить с точностью 0,1-0,2/, Производительность регулировки значительновыше, цем в известном способе. Приэтом не требуется изменять шаг подгонки, цто позволяет значительно упростить устройства автоматизации процесса регулировки,формула изобретенияСпособ подгонки тонкопленочныхрезисторов с пленочными металлическими контактами путем удаления частирезистивного Материала, о т л ич а ю щ и й с я тем, цто, с цельюповышения точности и производительности, на резистивный материал наносят два дополнительных электрода,расположенных перпендикулярно ос- "новным, направленных навстречу другк другу и контактирующих с пленочными металлическими контактами резисторов, а удаление части резистивногоматериала проводят в направлении,перпендикулярном дополнительнымэлектродам,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Технология тонких пленок. Справочник, т, 2, И., "Советское радио",1977, с. 607.2, Сергеев В.С. и Вороженин И.Н.Интегральные гибридные микросхемы.М., "Советское радио", 1973, с, 5 Й,900321 Ъг 1 Составитель А. ДаревскийТехред М. Рейвесъ / орректор М. П Ивано Редакт 191/6 За Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,Тираж 757 ВНИИПИ Государст по делам иэобр 113035, Москва, Ж Подписноенного комитета СССРений и открытийРаушская наб., д.