Устройство для регулирования температуры экранной печи

Союз СоветсиииСоциалистическиервсттубпии ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(5 т)М. Кл. Ь 05 в 23/19 Вфудереааеыб кеяитет веер вф даве зееретеиий в втернтий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫЭКРАННОЙ ПЕЧИь 1Изобретенве относится к автоматнчесхому регулвромнвю температуры прецеевонных экранных печей с центральной и подпорной зонами нагрева, например, в двапазоне температур эпитаксйальных процессов, требующих минимального разбро ф са температуры в рабочем объеме печи.Известныустройства для регулирования температуры нагрева электрических ючей, в которых осуществляется поэон- ное регулированве температуры, причем для каждой зоны устанавлнвается программный регулятор 11 еВ таких устройствах осуцествляется довольно,точноб поддертканве равномернойт% температуры по всей длине печи, однако наличие нескольких программнык регули торов приводит к чрезмерному удорожанвто установок.Наиболее близким к предлагаемому является устройство для регулиромнвя температуры экранной печи с центральной тт водйорнымв зонамв нагрева, содержащее нагреватели, программный регулятор,вход которого подключен к датчику температуры центральной зоны, а выход -к нагревателю той же зоны, н ведомые регуляторы, входы которых подключены к датчикам температуры центральной и подпорных зон.Известный программный регулятор работает таким образом, чтобы сигнал датчика температуры центральной зоны равнялся уставке регулятора, Каждый ведомый регулятор воспринимает разность температур датчиков центральной и подпорных зон и стремится поддерживать ее постоянной. Уставкв ведомых регуляторов под бнраются при настройке для выравнивания теьтпературы краев рабочего объема печи.При взмененвв уставкВ программного регулятора ведомые регуляторы следуют за ннм с постоянным перегревом 2.Недостатком известного устройстм является изменение перегрева подпорных зон при вэмененви уставки программного регулятора. В результате меняется температурная компенсация краев центральной зоны, что приводит к неравномерному распредщтеиию температуры по длинепечи. Для уменьшения этого эффекта можно увеличивать длину подпорных зон, однако это приводит к увеличению расходаэлектроэнергии.Бель изобретения - повышение точности регулирования температуры нагрева в широком диапазоне путем коррекцииэон температуры краев рабочего объема 10печи без увеличения длины зон регулирования.Укаэанная цель достигается тем, чтоустройство снабжено согласующими блоками с регулируемыми коэффициентами пе зредачи, а нагреватели подпорных зон выполнены секционными, причем выходыпрограммного регулятора подключены через согласующие блоки к соответствующим секциям нагревателей подпорных зон,а выходы ведомых регуляторов подключены к другим секциям нагревателей подпорных зон,На чертеже представлено устройстводля регулирования температуры экраннойпечигде условно изображены центральная зона 1 и подпорные зоны 2 печи,причем каждая подпорная зона состоитиз двух частей 3 и 4.Устройство содержит программныйрегулятор 5, вход которого подключен кдатчику 6 температуры центральной эоны,а выход - к нагревателю 7 указанной зоны,.и ведомые регуляторы 8, входы которых подключены к датчикам 9 и 10 температуры центральной и подпорных зон соответственно, а выходы - к секционнымнагревателям 1 1 соответствующих частейподпорных зон. Кроме того, устройствосодержит согласующие блоки 12, входыкоторых подключены к соответствуощим 4 овыходам программного регулятора, а вы 13ходы - .к секционным нагревателямс оответствующих частей подпорных зон.Коэффишеыты передачи согласуюшихблоков устанавливаются при настройке 45схемы иемы и остаются неизменными в процеосе работы,При изменении температуры нагревапрограммным регулятором выше или ниже исходной величины происходит компенса ция соответственно недогрева или перегрева подпорных зон за счет работы сот. ласующих звеньев, что позволяет обеопечить плоский температурный профиль. Температурное распределение в рабочем объеме после регулировки с целью коррекции выравнивается подбором уставок ведомых регуляторов.Использование предлагаемого устройства позволяет повысить точность регулирования температуры нагрева электропечи в широком диапазоне, не увеличивая при этом ее длины, и снизить расходы потребляемой электроэнергии.формула из обретенияУстройство для регулирования температуры экранной печи с центральной и подпорными зонами нагрева, содержащее нагреватели, программный регулятор, входкоторого подключен к датчику температуры центральной зоны, а выход - к нагревателю той же зоны, и ведомые регуляторы, входы которых подключены к датчикам температуры центральной и подпорныхзон, отличающее сятем,что, с целью повышения точности регулирования температуры нагрева в широкомдиапазоне путем коррекции температурыкраев рабочего объема печи без увекичения длины зон регулирования, устройство снабжено согласующими блоками с регупируемыми коэффициентами передачи, анагреватели подпорных зон выполненысекционными, причем выходы программного регулятора подключены через согласующие блоки к соответствующим секциямнагреватепей подпорных зон, а выходыведомых регуляторов подключены к другимсекциям нагревателей подпорных зон.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Певзнер В. В, Прецезионные регул Фляторы температуры, М., Энергия,1973, с, 11,12, рис. 1-5.2. Патент Германии М 710876,кл. 24 и, опублик. 23.09.41,804690 оставитель В. Алешечкинехред М. Гергель 1 Сорректор О. Била актор Е, Дичин Т каз 11488/77 Тираж 943 ВНИИПИ Государственного комитетапо делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская на ПодписноР 5 Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4