Устройство для стабилизации температуры резистивных испарителей

Номер патента: 894691

Автор: Сучков

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е (п)894691ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(22) Заявлено 06.05.80 (21) 2920699/18-24 с присоединением заявки лЪ Гввудэрстюиэа кэмнтет . ИСР ав делам изабретеннй н открытий(53) УДК 621. .555.6 (088.8) Дата опубликования описания 04.01.82 В. Н. Сучков) УСТРОЙСТ ДЛЯ СТАБИЛИЗАЦИИ ТЕМПЕРАТУРЫ ТИВНЫХ ИСПАРИТЕЛЕЙ ошибкииспаритблока лючеия,риведена блок-схе Изобретение относится к приборостроению, в частности, к устройствам стабилизации температуры нагретых тел в вакууме, например резистивных исцарителей, применяемых в вакуумной технологии для по-.лучения пленочных покрытий.По основному авт. св. % 618729 известно устройство, содержащее источниктока накала испарителя, источник постоянного напряжения и металлический электфород, подключенный к положительному полюсу источника постоянного напряжения, .отрицательный полюс которого подключенк резистивному испарителю, являющемусявторым электродом 1 13,Однако известное устройство обладаетограниченным диапазоном рабочих температур испврителя, в также дополнительнымрасходом мощности.Цель изобретения - расширение области 2 йприменения устройства.Поставленная цель достигается тем,что устройство содержит соединенные последовательно блок формирования сигнала и установленный в цепи накала ля регулятор тока, причем вход рмирования сигнала ошибки подк источнику постоянного напряжеНа чертеже и ма предлагаемого устройства.Устройство содержит резистивный ионаритель 1, источник 2 тока накала, металлический электрод 3, источник 4 постоянного напряжения, блок 5 формирова,ния сигнала. ошибки и регулятор 6 тока.Устройство работает следующим обра-зом.При отборе электродом 3 эмиттировве ных испарителем 1 электронов появляется электрический сигнал, зависящий от тем пературы испврителя, в цепи электрода 3 и источника 4 постоянного напряжения, этот сигнал попадает в блок 5 формирования сигнала, ошибки, где сравнивается с , сигналом задания и преобразуется в сиг нал рвзбвланса, Далее сигнал разбаланса попадает в устройство 6 регулированияСоставитель Л. Птенцоваор Е. Дичинская Техред 3, фанта Корректор С, Щом Подпнс Заказ 11488/77 Вираж 943 ВНИИПИ Гасударственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4цвл ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3 8046914тока, воздействуя иа электрическую формула изобретения схему регулятора он приводит к ие-" Устройство для стабилизации темпераобходимым изменениям тока .накала туры резистивиых испарителей по авт, св. испа рителя. М 618729, о т л н ч а ю ш е е с ятем, что, с целью расширения областиВ связи с тем, что в предлагаемом применении устройства, оно содержит сое устройстве ток амиссии електронов можно диненные последовательно блок фораировыбрать значительно ниже, чем по извест ванин сигнала ошибки н установленный в ному (изменение температуры исдарителя цепи накала испарителя регулятор тока, осуществляется непосредственно иженени- щ причем вход блока формирования сигнала ем тока накала испарителя), снижается ошибки подключен к источнику постоянно. потребляемая мощность, За счет снижения го напряжения.тока эмиссии снижается нижний предел Источники информации,рабочих температур устройства, т,е. рао- принятые во внимание при акспертизе ширяется диапазон рабочих температур уст 1. Авторское свидетельство СССР ройства. % 618729, кл. Я 05 В 23/19, 1978.

Смотреть

Заявка

2920699, 06.05.1980

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3791

СУЧКОВ ВИКТОР НИКОЛАЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G05D 23/19

Метки: испарителей, резистивных, стабилизации, температуры

Опубликовано: 30.12.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-894691-ustrojjstvo-dlya-stabilizacii-temperatury-rezistivnykh-isparitelejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для стабилизации температуры резистивных испарителей</a>

Похожие патенты