Способ изготовления изделий из нитрида бора

(72) Авторы изобретени 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ИЗ НИТРИДА БОРАть ние,Изобретение относится к производству керамики нз нитрида бора, применяемой в качест.ве электроизоляционного и огнеупорного материала в технике высоких температур,Известны способы обработки керамическихизделий с целью изменения их свойств, например, способ, заключающийся в том, что прово.дят отжиг при.двухслойной засьшке в окислительной среде при 1600-1750 С 1.Однако эти способы не позволяют повышауд. объемное сопротивление керамических изделий иэ нитрида бора.Известен также способ, позвоФпощнй по.высить уд, объемное сопротивление керамики изпорошкообразного нитрида бора за счет введе.ния в последний различных порошкообразных.добавок. Из полученной смеси прессуют изделия под давлением с последующим их спека,нием при 1800 С в среде азота (2,Известный способ позволяет повыситьуд. объемное сопротивление июнь до.В а1 10 Ом см (при 1000 С). Повышение уд"объемного сопротивления керамических изделийвозможно только лишь за счет введения добавок ниобия. и его окиси, В. связи с этимизвестный способ сравнительно сложен (дляего осуществления требуются дополнительныематериалы) и трудоемок, Кроме того он продолжителен (18 - 24 ч),Наиболее близким техническим решениемк предлагаемому является способ полученияиэделий из нитрида бора путем газофазногоосаждения на подложку 3.Иэделия, полученные известным способом,обладая низкими значениями диэлектрическойпроницаемости и диэлектрических потерь, высокой теплопроводностью, плотностью,все жеимеют. недостаточно высокое электросопротивЦель изобретения - повышение уд, объемного электросопротивлення керамических наде.лий из пиролитического ннтрида бора.Поставленная цель достигается за счет того,что в способе изготовления иэделий из нитрида бора путем газофазного осаждения на подложку, изделия дополнительно подвергаютотжигу в среде азота при 1500 - 1550 С в течение 30 - 35 мин,ратуре начинают измерять уд. объемное сопро. тивление), Длительность отжига определяется как промежуток времени, по истечению кото. рого величина уд. объемного сопротивления5 (ток сквозной проводимости, 1 у ) эастабили. зируется. Температура, С Этапы отжига 1200-1250 1400-1450 1500-1550 1600-1650 1700-1750 Нагрев от комнатной температуры до заданной, мнн 12 17 22 28 35 Отжиг, мин 126-131 30 - 35 28 - 31 16-.20 оОхлаждение до 900 С,мин 37 25 28 51 Суммарное время, мин 158 - 163 80 - 85 93-96 102-106 90 - 92 Уд. объемное сопротивление у, Ом смдо обжига 0,3610б 1,83 10 0,6110 Ч 2,62 1 О1,91 101 10 0,39 10 8,32 10 4,8 10 2,08" 10 после обжига Как видно из данных таблицы, с увеличением температуры время отжига уменьшается,асуммарное время режима отжнга получаетсяонаименьшим при 1500 - 1550 С.На чертеже показано изменение тока сквоз.ной проводимости 1 м в процессе отжига изде.лия из пиролитического нитрида бора в средеазота при 1500-1550 С,Видно, что при отжиге после 30 - 35 мин,значение тока сквозной проводимости остаетсяпрактически постоянным,Проведенные контрольные эксперимента по.казали, что величина уд, объемного сопротив.пения отожженного изделия.(при 1500-1550 С)практически не отличается от значения, полученного при этой же температуре, ио поледсйолв 1 ительной выдержки его при 2000 С втечение 10 - 15 мин. Это свидетельствует о том,,55Использование предлагаемого способа отжига изделий иэ пиролитического нитрида боря, обеспечивает по сравнению с существующими Изделие в виде квадратной пластины разме.ром 50 х 50 мм н толщиной 0,1-2,0 мм, полу.ченное газофазньм осаждением, устанавливаютв электродное устройство, помешают в печьэлектрического сопротивлении и нагревают откомнатной температуры до температуры указанных в таблице. При установившейся темпера.туре изделие выдерживают определенное времяОн затем охлаждают до 900 С (при з;ой темпеРежимы отжигя изделий нз пиролнтического нитрнда бора в среде азота приведены в таблице, возможноств получения изделий с уд. объем. ным сопротивлением до 12,3 10 Ом см при 1000 С (2,1 10 Ом см до отжига при 1000 С), для повышения уд. объемного сопротивления по предлагаемому способу отпадает необходи. мость в добавках. Формула изобретения Способ изготовления изделий из ннтрида бора путем газофазного осаждения на подложку, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения удельного объемного электросопротивления, изделия дополнительно подвергают отжигу в среде азота при 1500 в 15 С в течение 30-35 мин. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторскоесвидетельство СССР Мф 596558,кл, С 04 В 35/58, 1978,2. Авторское свидетельство СССР У 393250,кл. В 04 В 35/58, 1973.3. Новикова Н.А. н др, Некоторые свойства пиролнтического ннтрида бора, - "Огнеупо.ры", М., 1971, Иф 10, с. 54-58.893965 Состав Редактор упенина ех каз 11389/4 одписное Тираж 663рственного комитета СССРретений и открытий 35, Раушская наб., д. 4/5 ППП "Патент",.г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ВНИИПИ Госудапо делам иэоб 3035, Москва,ель Н, Соболева