Устройство для измерения деформаций

ОП ИСАНИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 861933 Союз СоветскихСацналнстнчасиихУеспубеа(23) Приоритет -Опубликовано 07.09.8 Бюллетень РЬ ЗЗ 53) УДК 5 З 1. .715.1 (088,8) Дата опубликования описания 07.09. 81(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕ Изобретение относится к измерите. льной технике и может быть использовано, в частности, для исследования смещений и деформаций в любой точке поверхности;Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению ,является устройство дйя измерения де 4 торийций, содержащее голограФи" ческий иитерФерометр, включающий источник монохроматического излучения, светоделительный блок, делящий излучение на два потока, в одном из которых установлен оптический элемент расширения и регистратор .голограмм и последовательно рас" положенные ао ходу излучения свето" делительный элемент, опорное зеркало и два зеркала, одно из которых устанавливается на контролируемой поверхности, другое установлено перпендикулярно излучению, отраженному от первого зеркала, и блок регистрации, установленный во втором изме делитель плоско и прозрачнь кости и и распол ЬеудерстееюеВ кемнтет СССР ф до делан нэобретеннй н втхрмтнйпотоке излучения от светоделитель"ного блокаНедостатком известного устрой-,ства является погрешность измере- .ния поверхностных смещений, обусловленная тем, что смещение в опорной.полосе регистрируется голографическим интерФерометром ло всем координатным осйм, а лазерным интерФерометром - только на одной оси.10ЭОтсутствие данных о составляющихсмещения в опорной полосе но двум другим осям вносит значительнчю погрешносгь при определении номера оаорной полосы, что снижает точностьрения поверхностных смещений.Целью изобретения является повы"шение точности измерения.Цель достигается тем, что светоный элемент выполнен в видеараллельной пластины с полую покрытием на одной ппосросветляющнм - на другой,ожен под углом Юф к оптиЗб 1933 3ческой оси излучения из светоделительного блока и обращен к нему полупрозрачным покрытием, а длина светоделительного элемента определяетсяпо Формуле52 С = 0,7(1 р+о) агде 1 " длина светоделительного элеСмента;р - длина регистратора голограмм; 1 ОВо- постоянная величина.На чертеже представлена принципиальная схема предлагаемого устройства.Устройство содержит голографический интерферометр, включающийисточник 1 монохроматического излучения, светоделительный блок 2,делящий излучение на два потока, в1 пеРйома из котоРых Установлен оптический 1элемент 3 расширения и регистратор4 голограмм, и последовательно расположенные по ходу излучения светоде-.лительный элемент 5, опорное зеркало6, два зеркала 7 и 8, одно из которых7 устанавливается на контролируемойповерхности 9, другое 8 - перпендикулярно излучению, отраженному отпервого зеркала 7, и блок 10 регистрации, установленный во втором потокеизлучения от светоделительного бло,.ка 2,Устройство работает следующим образом. 35Излучение лазера 1 делится светоделительным блоком 2 на два параллельных пучка. Один из пучков поступает на оптический элемент 3 расширения и обеспечивает работу голографи 40 ческого интерферометра. Другой пучок поступает на све 1 оделительный элемент 5, который выполнен в виде плоско- параллельной пластины с полупрозрачным покрытием на одной плоскости, просветляющим " на другой, и распо 45 ложен под углом 45 О к оптической оси излучения из светоделительного блока 2, и обращен к нему полупрозрачным покрытием, а длина светоделительного элемента 5 определяется по Формуле Е = 0,7(Ер+ Ц,где 6 - длина светоделительного. эле С мента 51- длина регистратора 4 голо Р а грамм; Ео - постоянная величина (равная примерно 10 мм).4На регистраторе 4 голограмм регистрируется интерферограмма смещения контролируемой поверхности 9 с опорнойточкой, в качестве которой служитзеркало 7 и от которого отражаетсяизлучение,При этом смещение в опорной полосеинтерферограммы регистрируется голографическим интенферометром толькопо оси 7. , благодаря тому, что углыосвещения и углы наблюдения относительно осей Х и 1 равны 90 и поовышается точность определения номера.опорной полосы, а блоком 1 О регистрации регистрируется величина смещенияв опорной полосе по оси Е,Таким образом, подобное распол,кение элементов устройства позволяетсоздать углы освещения и наблюденияотносительно осей Х и У, равными90, прн этом регистрируется смещение только пооси Е, тем самым позволяет с большей точностью определитьномер опорной интерференционной полосы,Формула изобретения Устройство для измерения деформаций, содержащее голографический интенферометр, включающийисточник монохроматического излучения, лазер, светоделительный блок,деляший излучение на два потока,в первом из которых установлен оптический элемент расширения и регистратор голограмм, и последовательнорасположенные по ходу излучения светоделительный элемент, опорное зеркало и два зеркала, одно из которыхустанавливается на контролируемойповерхности, другое .установлено перпендикулярно излучению, отраженномуот первого зеркала, и блок регистра"ции, установленный во втором потокеизлучения от светоделительного блока, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью повышения точности измерения, светоделительный элемент выполнен в виде плоско-параллельнойпластины с полупрозрачным покрытиемна одной плоскости, просветляющим -на другой, и расположен под углом45 к оптической оси излученияиз светоделительного блока и обращенк нему полупрозрачным покрытием, адлина светоделительного элемента определяется по формулее о,7(е +е ),б Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР по заявке Р 2602245/28,кл. 6 01 В 9/021, 1978 (прототип),Тираж 642 сударственного комитета С ам изобретений и открытий Москва ЖРаушская на иал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная Редактор Т,Заказ 6526/33 ВНИИЛИ Г по дел 113035