Интерферометр для контроля измененияаберраций линз и зеркал при закрепленииих b оправы

Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 25.05.78 (21) 2620671/25-28 с присоединением заявки йо(23) Приоритет С 01 В 9/021 ГосударственвыЯ комитет СССР по демам изобретениЯ и открытиЯ(0888) Дата опубликования описания 230781(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТ АБЕРРАЦИЙ ЛИНЗ И ЗЕРКАЛ ИХ В ОПРАВЫЛЯ ИЗМЕНЕНИЯРИ ЗАКРЕПЛЕНИИ емеще-ее в ферометр ощью мож толькоал сравни но во те рферо- тер- онтро- ностемпо- ой м известного инт я то, что этот и оден только для ферических повер точность контрол ольше проверяема тупает от идеаль Недостатк метра являет ферометр при ля вогнутых тей, причем, меньше, чем верхность от сферы. е точапа Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для выявления и точного измерения изменений волновых аберраций крупногабаритных линз при закреплении их в оправах, а также для исследования изменения формы вогнутых и плоских зеркал под воздействием механических, тепловых и других нагрузок.Известен интерферометр а рассеивакщей пластиной, который может быть .использован для Контроля изменения аберраций линз и зеркал при закреплении их в оправы (11.Недостатком этого интер аяется то, что с его помисследовать деформациигнутых сферических. эеркВльно высокого качества.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для контроля изменения аберраций линз и зеркал при закреплении их в оправы, содержащий последовательно расположенные лазерный источник света, телескопическую систему, микрообъектив, .светоделитель, направляющий световой поток в две ветви - рабочую и опорную, и плоское зеркало, входящее в рабочуюветвь, регистрирующее устройство.Интерферометр содержит также интерференционный блок, в который,кроме вышеупомяиутых светоделителяи плоского зеркала, входят дополнительные плоские зеркало и светоделитель, а также отрицательная линза.Отрицательная линза, входящая всостав опорной ветви, выполнена свозможностью фокусирующего перния, а плоское зеркало, входящрабочую ветвь, является сканирукщим.В качестве регистрирующего устройст ва (для регистрации интерференционной картины) используется глаз наблюдателя, фотоаппарат, киноаппарат иливидикон (23 . Цель изобретения - повышен ности контроля и расширение д0 на типов проверяемых линз и эПоставленная цель достигается тем, что плоское зеркало рабочей ветви выполнено ножевидным, а в качестве регистрирующего устройства использована голограмма.На чертеже изображена принципиальная оптическая схема предлагаемого интерферометра.Интерферометр содержит последовательно расположенные лазерный источник 1 света, телескопическую систему 2, микрообъектив 3 и первый све тоделитель 4, направляющий световой поток в два пучка - рабочий и опорный, плоское ножевидное зеркало 5, входящее в рабочую ветвь, отрицательную линзу б, сканирующее зеркало 7, вто рой светоделитель 8, вспомогательное зеркало 9, объективы 10 и 11, зеркало 12, полупрозрачную пластину 13, регистрирующее устройство - голограмму 14, 20Интерферометр работает следующим образом.1Вышедший из лазерного источника 1 света узкий пучок с помощью телескопической системы 2 расширяется 25 до необходимого размера, проходит микрообъектив 3 и направляется на первый светоделитель 4, светоделительной гранью которого делится на два пучка - рабочий и опорный. Рабо- З 0 чий пучок после отражения от плоского ножевидного зеркала 5 и светоделительной пластины 8 направляется на контролируемую линзу 15, проходит ее и отражается от,вспомогательного зеркала 9. Интерферометр настраивается так, что фокус микро- объектива 3 совмещается с фокальной плоскостью контролируемой линзы 15. В этом случае лучи, выходящие иэ линзы 15, наиболее приближаются к 40 параллельному ходу и после отражения от вспомогательного зеркала 9 возвращаются в обратном направлении. На обратном пути они, минуя плоское ножевидное зеркало 5, последователь но попадают на объектив 10, зеркало .12, полупрозрачную пластину 13, голограмму 14, Чтобы обеспечить разделение хода рабочего пучка в прямом и обратном направлении и свести к 50 минимуму угол наклона главного луча к оси контролируемой линзы 15, плоское зеркало 5 выполнено ножевидным, причем острая кромка на его отражающей поверхности совмещена с фокальной плоскостью микрообъектива 3.Опорный пучок после отражения от светоделительной грани первого светоделителя 4 попадает на линзу 6 с отрицательным фокусным расстоянием, затем на сканирующее зеркало 7, про ходит светоделительную пластину 8, контролируемую линзу 15 и собирается на вспомогательном зеркале 9 Фокусирование опорного пучка на поверхность этого зеркала 9 осуществляет ся осевым перемещением линзы 6, Отражающая поверхность вспомогательного зеркала 9 установлена перпендикулярно оси опорного пучка. После стражения от нее опорный пучок возвращается в обратном направлении, проходит первый светоделитель 4, объектив11, полупрозрачную пластину 13 ипопадает на голограмму 14, где пересекается и интерферирует с рабочимпучком. Плоскость голограмм 14 оптически сопряжена со зрачком контролируемой линзы 15. Объективы 10 и11 устанавливаются в положение, прикотором они обеспечивают выход изних параллельных пучков.До закрепления контролируемойлинзы 15 в опоре производится запись голограммы 14. В плоскости голограммы 14 регистрируется волновойФронт, дважды прошедший через контролируемую линзу 15. После экспозиции, химической обработки и сушкиголограмма 14 устанавливается напрежнее место, а контролируемая линза 15 закрепляется в оправе. Изменения формы обеих поверхности и натяжений в стекле, возникшие при закреплении контролируемой линзы 15 воправе, вызывают изменение формы волнового фронта и, следовательно,искривление наблюдаемых в плоскостиголограммы интерференционных полос.Чувствительность и погрешность интерферометра практически мало зависит от величины аберраций линзы иот формы ее поверхностей. В связис этим интерферометр пригоден дляконтроля линз с плоскими, сферическими и асферическими поверхностями.На нем можно также проверять деформации вогнутых сферических и асферических (с небольшим отступлением отсферы) поверхностей. Методика проверки аналогична описанной за исключением того, что в этом случае нетребуется применения вспомогательного зеркала. Автоколлимационный ходлучей обеспечивается при расположении фокуса объектива 3 вблизи центра кривизны контролируемой детали.Изобретение позволяет значительно сократить время сборки крупногабаритных оптических систем и улучшитькачество изображения,С помощью предлагаемого интерферометра деформации линз можно обнаружить и устранить на первой стадиисборки.Кроме того, при испытании зеркална термические и другие виды деформаций от поверхностей зеркал не требуется высокого качества.формула изобретенияИнтерферометр для контроля изменения аберраций линз и зеркал при за.Ю.Макаренко,53 Тираж 642 ПодписНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий5, Москва, Б, Раушская наб., д. 4/5 каз 6 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 креплении их в оправы, содержащий последовательно расположенные лазерный источник света, телескопическую систему, микрообъектив, светоделитель, направляющий световой поток в две .ветви - рабочую и опорную, и . плоское зеркало, входящее в рабочую ветвь, регистрирукщее устройство, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности контроля и расюирения диапазона типов проверяеалых линз и зеркал, плоское зеркалорабочей ветви выполнено ножевидным,а в качестве регистрирующего устройства использована голограмма.Источники информации,принятые во внимание при зкспеотизе1. Патент США Р 3799673,кл. 6 01 В 9/02, 1974,2. Авторское свидетельство СССРР 529362, кл. 6 01 В 9/02, 19761 ц (прототип)