Устройство для распыления жидкости

11 835501 Соиз Советских Социалистических Республик(23) Приоритет -с р 06.81. Бюллете ло делам иэобретеиий и открытий(5 3) Опубликован 5) Дата опубли ния описания 26.06.8 Фщ ,.а ",)1 . 10,ГР " ч л, 11 1.,;д жщ.щщду 13 МСТИМ(72) Авторы взобр втени я кулин, И, И, Поярков и В. Н. Комаров Н явител(54) УСТРОЙ Я ЖИДКОСТ Я РАС 25 Изобретение относится к технике распыления жидкости и может быть использовано, в частности, в полупроводниковом производстве для распыления проявляющего раствора при фотолитографической обработке полупроводниковых пластин и фотошаблонов.Известно устройство для распыления жидкости, содержаьцее корпус, в котором закреплены сопла, расположенные на одной линии и отрегулированные таким образом, чтобы периферийный участок струи жидкости, испуокаемой каждым соплом, находился относительно аналогичного периферийного участка любой другой струи на одной линии,проходящей поперек тракта подачи обрабатываемого изделия 11. В результате взаимодействия всех струй образуется линейная струя равномерней толшины, проходящая поперек поверхности изделия. Недостатком этих устройств является сложенность конструкции и регулировки параметров струй, выходящих из сопел.Известно также устройство для распыления жидкости, содержащее полый цилиндр с отверстиями, равномерно расположенными в его стенке 12, Кроме того, устройство содержит пористую насадку, изготовленную оплавлвнием большого количества пластмассовых частиц. В процессе распыления жидкости из отверстий в стенке цилиндра она ,проникает в пористую структуру насадки, а из нее под;небольшим напором и с низкими скоростями рассеивается наружу. Это устройство,является наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату. Его недостатки в том, что кон-, струкция устройства сложная; на распыление жидкости требуются сравнительно большие энергозатраты,Сложность конструкции обусловлена наличием пористой насадки, изготовление которой сопряжено со значительными трудностями. Повышенные энергозатраты на распыление жидкости обусловлены тем, что при прохождении через пористую насадку струи жидкости теряют значительную часть кинетической энергии и выходят из него под небольшим напором и с низкими скоростями. Однако в ряде технологических процессов, например при проявлении полупроводниковых пластин и фото- шаблонов в процессе их фотолитографической обработки, необходимо подавать проявляющий раствор в виде сплошной и равномерной по плотности завесы, при этом мельчайшие частицы раствора, составляющего завесу, должны обладать большой кинетической энергией,Для того, чтобы обеспечить распыление проявляющего раствора с помощью известного устройства, необходимо проявляющий раствор подавать в полый цилиндр под большим давлением, а это сопряжено с большими энергозатратами,Цель изобретения - упрощение конструкции устройства и снижение энергозатрат на распыление.Указанная цель достигается тем, что в устройстве для распыления жидкости, содержащем полый цилиндр с отверстиями, равномерно расположенными в его стенке, согласно изобретению, иа наружной поверхности цилиндра по его образующей выполнен паз, сообщающийся с отверстиямипри этом ширина паза равна диаметру отверстий, а глубина - двум диаметрам отверстий.На фиг. 1 изображено устройство для раопыления жидкости, разрез; на фиг. 2 - сечение А - А фиг. 1.Устройство для распыления жидкости содержит полый цилиндр 1 с отверстиями 2, равномерно расположвнными в его стенке. На наружной поверхности цилиндра 1 по его образующей выполнен паз д, сообщающийся с отверстиями, ширина паза равна диаметру (д) отверстий, а глубина - двум диаметрам д отверстий.Жидкость, например проявляющий раствор, под определенным давлением подается в полость цилиндра 1 и через отверстия 2 распыляется наружу в ваде струй. Благодаря наличию паза 3 в результате взаимОдействия всех струй образуется линейная струя равномерной плотности, ширина которой равна ширине паза. Размеры паза подобраны экспериментальным путем. При этом было установлено, что при всей других соотношениях размеров паза 3 и отверстий 2 ламинарность потока, а следовательно, и его равномерность нарушались.Таким образом, предлагаемое устройб ство для распыления обеспечивает получение линейной струи распыляемой жидкости одинаковой плотности.Устройство просто по конструкций итребует малых энергозатрат на создание равномерной по плотности линейной струи с большой кинетической энергией, так как в нем отсутствует насадка из пористого материала, а ее роль выполняет паз, выполненный в стенке цилиндра.15 Предварительные расчеты доказали,что трудоемкость изготовления предлагаемого устройства по сравнению с иМоТовлением известного устройства уменьшится на 2 О - 30%, а энергозатраты на распыление - М на 60 - 70.Фор.мула из об.ретенияУстройство для распыления жидкости, М содержащее полый цилиндр с отверстиями,равномерно расположенными в его стенке, о тли ч а ю шее с я тем, что, с целью упрощения конструкции устройства и снижения энергозатрат на распылениена на ружнои поверхности цилиндра по его обраозующей вьполнен паз, сообщающийся с отверстиями, при этом ширина паза равна диаметру отверстий, а глубина - двум 35диаметрам отверстий.Источники информации, принятйе вовнимание при экспертизе:1. Патент США4072772, кл. 427-64,40 опублик. 1978.2. Патент США4 О 94466, кл. 239-145,опублик. 1978 (прототип).,4- 4Составитель А, Чал-Борю Редактор Л. Ушакова Техред И, Заболотнова Корректор И. Оснновск Заказ 776/701 Изд.403 Тираж 784 Подписное НПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Тип, Харьк, фил. пред. Патент