Устройство для анодирования

ОП ИСАНИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сфвз СееетскикСоциалистически кРесттублим(61) Дополнительное к авт, свид-ву 2) Заявлено 17.08,79 (2 присоединением заявки РЙ 7668 Л.8-2 1(51)М. Кл. С 251) 11/02 эсуМРстиюий юВтет СССР Авваи взебрвтеай в еткритвй(23)Приорит бликовано 30,05,81. Бюллетень М 2 та опубликования описания 30.05.81,8 ( 088.8 ) 72 Авто А. М. Сухоцоль АЙ адиотехнический инсти(71) Заявите ВО ДЛЯ АНОДИРОВАНИЯ) УСТ РО 1Изобретение относится к микроэлектронике, в частности, к технологии созаани активных и пассивных тонкопленочных элементов, построенных на основе тонких диэлектрических пленок.Известны устройства для анодирования вентильных металлов и полупроводников, содержащие катод и аноаируемый образец, соединенные с источником электрической энергии и находящиеся в электролитеф в устройстве предусмотрен визуальный контроль тока и напряжения посредством включения схем измерения 11. Недостатком известного устройства является то, что оно не позволяет автоматически воспроизводить сложньязаконы изменения напряжения или тока между катодом и анодируемым образцом, что при использовании устройства для изготов й ления тонких диэлектрических пленок вызывает большой разброс характеристик диэлектрических слоев и низкий процент выхода годных микросхем. Известно устройство для анодирования,которое соцержит электролитическую ячейку, измеритель времени, связанный с вы-,числительным блоком, источник питания,подключенный к первому входу регистрирующего блока, один выход которого подключен к анодируемому образцу, а другойк катоду электролитической ячейки 2Недостатком устройства является низкое качество анодирования диэлектрических пленокБель изобретения - повышение качест- ва анодирования диэлектрических пленок,Поставленная цель достигается тем,что устройство для анодирования, содержащее электролитическую ячейку скатодом и анодируемым образцом, помещенным в электролит, измеритель времени,связанный с первым входом вычислительного блока, источник питания, подключенныйк первому входу регистрирующего блока,один выход которого подключен к анодируемому образцу, а цругой выхоц - к катопу алектролитической ячейки, снабжено3 83426 блоком запуска и аналого-цифровым преобразователем, выход которого соецинен со входом источника питания, а вход - с первым выходом вычислительного блока, причем второй выход вычислительного5 блока через блок запуска соединен со вторым входом регистрирующего блока, при этом, второй выход регистрирующего блока подключен ко второму входу вычислительного блока.1 ОНа чертеже представлена функциональная схема устройства.Устройство содержит вычислительный блок 1, первый вход которого соединен с измерителем 2 времени, второй вход с выходом ре.гистрирующего блока 3, например, цифровой схемы измерения напряжения или тока. Первый выход вычислительного блока 1 соединен со входом цифроаналогового преобразователя 4, второй выход с блоком 5 запуска, выход которого соединен с регистрирующим блоком 3. Выход цифроаналогового преобразователя 4 соединен со входом источника 6 питания, выхоц которого соединяется с регистрирующим блоком 3, катодом 7 и анодируемым образцом 8, находящимся в электролите 9.Устройство работает следующим образом. ЗОИнформация о режиме проведения процесса анопирования в виде рабочей программы заносится в память вычислительного блока 1, на первый вход которого периодически поступает сигнал от измерителя 2 времени. Каждый раз, воспринимая этот сигнал, вычислительный блок 1 увеличивает значение текущего времени на единицу, рассчитывает значение напряжения или тока в данный момент времени, выдает 40 по первому выхопу соответствующий код, который преобразуется цифроаналоговым преобразователем 4 в аналоговый сигнал, поступающий на вход источника 6 питаниь Затем машина производит запуск регистрирующего блока 3 через блок 5 запуска и воспринимает код с выхода. регистрирующего блока 3, соответствующий значению напряжения или тока между катодом 7 и анодируемым образцом 8. В случае, если измеренное значение напряжения или тока отличается от заданного из-за погрешностей цифроаналогового преобразова 7 4теля 4, источника 6 питания или по другим причинам, вычислительный блок 1 рассчитывает поправку и выдает новый коц, соответствующий рассчитанному значению. Затем вычислительный блок 1 сверяет текущее время анопирования с заданным, и если время аноцирования истекло, то он прекращает процесс анопирования; выпавая на цифроаналоговый преобразователь 4 коп, соответствующий нулевому значению напряжения или тока.Устройство обеспечивает воспроизведение сложных законов изменения напряжения или тока во времени, обратную связь по напряжению или току, а также автоматическое прекрашеш;е процесса анодирования по истечению заданного отрезка времени.Ф о р м у л а. и з о б р е т е н и яУстройство пля анодирования, содержащее электролитическую ячейку с катодом и аноцируемым образцом, помещенными в электролит, измеритель времени, связанный с первым входом вычислительного блока, источник питания, подключенный к первому входу регистоирующего блока, оцин выход которого .подключен к аноцируемому образцу, а другой выход - к катоду электролитической ячейки, о т л и - ч а ю ш е е с я тем, что, с целью повышения качества анодирования диэлектрических пленок, оно снабжено блоком запуска и аналого-цифровым преобразователем, выход которого соединен со входом источника питания, а вход - с первым выходом вычислительного блока, причем второй выход вычислительного блока через блок запуска соединен со вторым входом регистрирующего блока, при этом второй выход регистрирующего блока подключен ко второму входу вычислительного блока.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Шнаревич Е. И. и др, Диэлектрикиинтегральных схем. М., "Энергия", 1975,с. 23-24.2. Патент США М 3723257,кл. С 250 11/02 опублик. 1973834267 Составитель О. КибовскТехред Н. Келущак тор Ю. Макаренк Редак нико 017/54, Тираж 704 По ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретний и .открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., де 4