Полупроводниковый прибор с зарядовойсвязью

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Реслублик(51)М. Кл.з с присоединением заявки Мо(23) Приоритет Н 01 1 27/10 Государственный комитет СССР оо делам изобретений и открытийДата опубликования описания 2304,81(54) ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР С ЗАРЯДОВОЙСВЯЗЬЮ Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам обработки сигналов, и может быть использовано в каналах связи, в ради-.5 олокационных устройствах и т.п.Известен полупроводниковый прибор структура которого позволяет получать в трансверсальном фильтре запрограммированные весовые коэффици"енты (1).Недостаток этого прибора состоит в том, что весовые коэффициенты могут принимать лишь два значения - либо +1, либо -1Известен: также полупроводниковый 15 прибор с зарядовой связью, позволяю-. щий реализовать в трансверсальном Фильтре произвольные запрограммиро- ван ные весовые коэффициенты (2.20Недостаток этого устройства заключается в том, что взвешивание вы" борок сигнала осуществляют элементы, которые находятся вне линии задержки передающей выборки заряда. Датчики 25 сигналов в отводах линии задержкинеизбежно вносят искажения в выбор" ки сигналов, Кроме того, устройства взвешивания на транзисторах также вносят нелинейные искажения, 30 Наиболее близким по техническойсущности к предлагаемому являетсяполупроводниковый прибор с зарядовойсвязью, содержащий электроды вводаи вывода заряда, а также электрически не связанные области хранениязарядов под управляющими электродами 3),Недостаток этого прибора состоитв том, что соотношением между зарядовыми пакетами под управляющимиэлектродами невозможно управлятьво время работы устройства,Цель изобретения - обеспечение перестраиваемого деления зарядовых пакетов.Поставленная цель достигается тем, что полупроводниковый прибор с зарядовой связью, содержащий электроды ввода и вывода заряда., а также электрически не связанные области хранения зарядов под управляющими электродами, снабжен тремя управляющими шинами, при этом управляющие электроды одними концами объединены Вне областей хранения зарядов с первой управляющей шиной, другими - второй и третьей управляющими шинами, а электрод вывода зарядов перекрывает злектрически не связанные области хранения зарядов.На фиг. 1 приведена структура прибора с зарядовой связью; на фиг. 2 иллюстрируется работа прибора.Прибор содержит электрод 1 ввода заряда, электрод 2 вывода заряда, управляющие электроды 3 и 4, области хранения зарядов, ограниченные контурами 5, управляющие шины 6-8. В данном варианте исполнения управляющая шина 8 и электрод 1 ввода заряда совмещены. Электроды 3 и 4 выполнены из поликремния с высоким удельным сопротивлением порядка 0,5 мОм/квадрат. Алюминиевые управляющие шины 6 и 7 подключены в поликремниевым электродам 3 и 4 через контактные окна 9 и 10, Технологический маршрут изготовления этого прибора при .р-канальной технологии такой: выращенивание изолирующего окисла, травление областей активных приборов (зон хранения зарядов), выращивание подзатворноо диэлектрика,нанесение поликремния, окисление поликремния, вскрытие контактных окон, нанесение и травнение алюминия.При совместном изготовлении предлагаемого прибора с транзисторами в маршрут изготовления включают операции вскрытия окон под диффузию, а также диффузию примесей.Прибор работает следующим образом.На управляющие электроды 3 и 4 поступают постоянные уровни напряжений, Их отношения Бр 2/Ущр 1 определяет весовой коэффициент, На электроды ввода 1 и вывода 2 заряда поступает последовательность импульсов.В качестве исходного выбирают такой момент времени, когда зарядовый пакет, подлежащий делению, находится в непосредственной близости ,к электроду 1, При подаче импульса зарядовый пакет под воздействием возникающего краевого поля устремляется под электрод 1 и далее под управляющие электроды 3 и 4, так как пороговое напряжение по поли- кремниевым электродам в предлагаемой конструкции примерно в три раза ниже, чем под алюминиевым, Ввиду чего создается условие одновременного движения зарядов под управляющие электроды, Так как уровень заполнение Уэ потенциальной ямы одинаков для обоих электродов, товеличина зарядового пакета определяется произведением для левогоэлектрода 4 Бз у, а для правого 3П х.Так как ток,протекающий по поликремниевому электроду создает линейноепадение потенциала под электродом,тои величины Х и У линейно зависят отБыр 1 и Б пр 2 соответственно. Такимоаразом весовой козфрициент деления пропорционалензк:д "ннзПоокончании импульса зарядовые пакетыквакЛолностью локализуются под управляющими электродами. С помощью электрода 2 выводятся из-под управляющих 5 электродов. В дальнейшем величинукаждого из взвешенных пакетов определяют устройством считывания зарядов.Экономическая эффективность уст О ройства определяется при сравненииего с известным устройством, Длятого, чтобы получать точность деления, хотя бы 1/32, необходимо 5 таких устройств по сравнению с предлагаемым, Предлагаемый прибор с зарядовой связью позволяет снижать аппаратурные затраты в 4-5 раз при обработке аналоговых сигналов.формула изобретенияПолупроводниковый прибор с зарядовой связью, содержащий электродыввода и вывода заряда, а также электрически не связанные области хранения зарядов год управляющими электродами о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью обеспечения перестраиваемого деления зарядовых пакетов,4 О прибор снабжен тремя управляющимишинами, при этом управляющие электроды с одного конца объединены вне областей хранения зарядов с первойуправляющей шиной, с другого второй45и третьей управляющей шиной а элек 5 трод вывода зарядов перекрывает электрически не связанные области хранения зарядов.Источники информациипринятые во внимание при экспертизе50 1, Патент США Р 4068716,кл. 6 11 С 11/40, опублик. 19772, Патент США 9 4034199,л. С 11 С 11/40, опублик. 1977.3, Патент США, Р 3819958,55 кл, Н 01 Ь 19/00, опублик. 1975824346 Составитель О. Федюкинаактор Л. Кеви Техред И.Рейвес КорректорЮ Синицка 2137 к Филиал ППП Патент. г.ужгород, ул.Проектная Тираж 784 ВНИИПИ Государстве по делам иэобре 113035, Москва, Ж ого коний и