Патенты с меткой «зарядовойсвязью»

Номер патента: 824346

Опубликовано: 23.04.1981

Авторы: Павлов, Присяжнюк, Рыжов

МПК: H01L 29/768

Метки: зарядовойсвязью, полупроводниковый, прибор

...0,5 мОм/квадрат. Алюминиевые управляющие шины 6 и 7 подключены в поликремниевым электродам 3 и 4 через контактные окна 9 и 10, Технологический маршрут изготовления этого прибора при .р-канальной технологии такой: выращенивание изолирующего окисла, травление областей активных приборов (зон хранения зарядов), выращивание подзатворноо диэлектрика,нанесение поликремния, окисление поликремния, вскрытие контактных окон, нанесение и травнение алюминия.При совместном изготовлении предлагаемого прибора с транзисторами в маршрут изготовления включают операции вскрытия окон под диффузию, а также диффузию примесей.Прибор работает следующим образом.На управляющие электроды 3 и 4 поступают постоянные уровни напряжений, Их отношения Бр 2/Ущр 1...