Устройство для визирования объектов

ОП ИСАНИЕИ ЗОБРЕТЕ Н ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциапистическикреспублик и 824104(23) Приоритет -Опубликовано 23.04,81 Бюллетень Мт 15 ао дедам изобретений и открытий. Дата опубликования описания 25.04 .81 А.И хутк а, В.А. Кв ,Н. Шалыги вто ы изобретени аковский ордена Ленина иамени государственный университет им, М.В. Ломонос аявите ЗИРОВАНИЯ ОБЪЕКТОВ(54 УСТРОЙСТВ к оптике,ческим устоптинеских Изобре в частнос геройствам, линиях св вычислите ение относится и к магнитоопт 1 М В спольз зи, в оптоэлек ьных устройств онных а такжеов иня коордибъектов стемах контроля пара дожеграто- визиркристаллх осей в о (носителе - систем я визирно ферритовой пластинкеной метки);.на фиг. 2мирования и управленнкой. ет-,тегральных схем и определенннат, оптически фнаблюдаемых омикронных размеров.Известно устройство для визироФ10 вания,объектов, применяемое в оптических инструментах (компараторах, микроскопах, объект-микрометрах и др.) для определения размеров и местоположения объектов наблюде 15 ния, содержащее источник излучении, носитель визирной метки и окуляр 11.Однако известное устройство не обладает возможностью изменять контраст к полю наблюдения и является инерционным.Цель изобретения - уменьшение инерционности устройства. Указанная цель достигается тем:, что носитель визирной метки выполнен в виде ортоферритовой пластинки, вырезанной перпендикулярно оптической оси кристалла, расположенной в градиентном магнитном поле с ягад Н направленным вдоль оси 1100 и помещенной вместе с катушкой управляющего поля между поляризатором и анализатором, плоскости главных сечений которых взаимно перпендикулярны, причем плоскость главного сечению поляризатора совпадает с плоскостью (100) ортоферрита.На фиг. 1 представлено.распо ние доменной границы о фических и оптически р Размагниченная ортоферритовая пластинка обладает полосовой доменной структурой. Магнитные моменты в. совпадает с направлением доменнойграницы, Анализатор 9 скрещен с поляризатором. Свет, прошедший черезпротивоположно намагниченные домены, претерпевает поворот плоскости поляризации на углы одинаковойвеличины, но противоположные познаку, так что на выходе анализатора обе волны, прошедшие через противоположно намагниченные доменыимеют одинаковую интенсивность,обеспечивая тем самым равномернуюосвещенность поля наблюдения в окуляре 30, Поскольку внутри границы 5 существует область, где магнитныемоменты перпендикулярны направлениюраспространения света, то никакогофарадеевского вращения в этой области границы не наблюдается и в окуляре она выглядит прямолинейной темной полосой на светлом Фоне наблюдения.В виде темной полосы на светломфоне доменная граница наблюдается итогда, когда плоскость"поляризациипаданнцей волны перпендикулярнаей (анализатор так же повернут наугол %12 к поляризатору . Если плос"кость поляризации падающей на пласотинку волны совпадает с доменнойграницей, то через анализатор,плоскость главного сечения которого совпадает с поляризатором, доменнаяграница видна в виде светлой полосы на темном фоне, При других возможных положениях поляризатора и, анализатора можно, добиться промежуточного контраста границы по отношению к полю наблюдения. Ддя пластинки ортоферрита иттрия толщиной90 мкм наблюдаемая толщина границывизирной линии составляет1 мкми ее:контраст по отношению к полюнаблюдениям 100 Е.Под действием управляющего магнитного поля, создаваемого катушкой 6, которая непосредственно крепится на ортоферритовую пластинку,наблюдаемая линия может перемещаться в направлении оси 100как в 50 соседних доменах направлены вдьльосей 1001 и,001При помещениипластины в градиентное магнитное по,ле с угад Н порядка 100-,000 всм,направленное вдоль оси .ОО, в пла.стине образуется .двухдоменная магнитная структура со строго прямолинейной доменной границей (Фиг. 1)Доменная граница представляет. собой переходный слой 1 между двумя противоположно намагниченными доменами 2 и 3. Толщина переходногослоя составляет несколько.сот ангстрем. В доменной границе магнитныемоменты соседних атомных слоев посте-пенно поворачиваются друг относительно друга так, что внутри границыпронсходит поворот вектора намагни"ченйасти.на угол:180Ортоферриты - оптически рвуосныекристаллы, Эффект фарадея в них можно наблюдать только вдоль оптическойоган, которая лежит в плоскости, (100)и составляет с осью 001 угол 500.Наличие слабого магнитного моментаприводит к фарадеевскому вращениюплоскости поляризации света, величина которого, измеренная вдоль оптической оси ортоферритов, составляет 3-51 О-Я в на длине волны0,63 мкм, Интенсивность 1 излученияпрошедшего через пластинку ортоферрита толщиной й, вырезанную перпендикулярно оптической оси и помещенную между поляризатором и анализатором, ориентированными друг к другупод углом , определяется выраже"кием (без учета потерь на отражениеи поглощение света поляризатором ианализатором)1 оСоз(у+ Г с)ехр(-.И),где 1 о - интенсивность излучения,падающего на поляризатор;Г - удельное фарадеевское вра-.щение ;о( - коэффициент поглощения ортоферрита.Устройство работает следующим образом.Свет от источника 4, пройдя черезполяризатор 5, катушку 6 управляющего поля, падает на ортоферритовуюпластинку 7. В пластинке с помощьюсистемы магнитов 8 (источников градиентного поля), создается двухдомен-ная магнитная структура. Градиент 5поля, величиной порядка 100-1000 СЬнаправлен вдоль оси 001. ПлесВость поляризации падающей волны непрерывном, так н в импульсном режимах работы, причем фиксация положения линии может быть осуществлена в любом месте образца, с точностью до 1-2 мкм. Скорость перемещения линии зависит от амплитуды управляю- . щего поля и достигает для ортоферрита иттрия величины 2 10 .в поЬсмсек ле 900, э.Ю82404 а формула изобретения Устройство для визирования объектов, содержащее источник излучения, носитель визирной метки и окуляр, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения инерционности, носитель визирной метки выполнен в виде ортоферритовой пластинки, вырезанной перпендикулярно оптической оси кристалла, расположенной в градиентном магнитном поле с угад Н налравленным вдоль оси 1100 и по 6мещенной вместе с катушкой управляющего поля между поляризатором и анализатором, плоскости главных сечений которых взаимно перпендикулярны, причем плоскость главного сечения поляризатора совпадает с плоскостью (100) ортоферрита,Источники информации, 10 принятые во внимание при экспертизе1. Федин Л.А, Микроскопы, приспособления к ним и лупы, М., Оборониздат, .1961, с. 75 (прототип). НИИПИ Заказ 2103/66краж 539 Подписное Филиал ППП Патент