Кассета
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических РеспубликОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 2604,79 (21) 2758094/18-21с присоединением заявки Мо(51)м К 3 Н 01 Ь 21/70 Государственный комитет СССР по релам изобретений и открытий(54) КЛССЕТЛ Изобретение относится к кассетам, применяемым, например, в микроэлектронном производстве для термообработки полупроводниковых пластин в высокочастотной плазме.Известна кассета для размещения пластин при проведении диффузии легирующей примеси в пластины кремния при высокой температуре, содержайая два основания, между которыми размещаются обрабатываемые пластины, прижим .и ограничители пластин 11 .Недостатком кассеты является отсутствие свободного доступа реагента к обрабатываемым поверхностям пластин и получения фасок по их периметру, необходимых для дальнейшей обработки их методом шлифовки, полировки и доводки пластин при подготовке к операции фотолитографии.Цель изобретения - повышение выхода годных.Поставленная цель достигается тем, что кассета, преимущественно для обработки полупроводниковых пластин в высокочастотной плазме, содержащая прижим и два основания, между которыми расположены ограничители для пластин, снабжена выполнен-, ными по форме полупроводниковых 2пластин экранами, на торцах которйхь.выполнены Фаски, а ограничителидля пластин установлены с возможностью поворота и фиксации.На фиг. 1 изображено устройство,общий вид; на фиг. 2 - сечение А-Ана фиг. 1, момент загрузки пластин,на фиг. 3 - то же, момент центрирования пластин и экранов после ихзагрузки; на фиг. 4 - то же, положение пластин, экранов и ограничителейпосле подготовки устройства к работе.Устройство состоит из верхнего1 и нижнего 2 оснований, стяжек 3, 15 ограничителей 4 для пластин 8, прижима 5 фиксаторов 6 и экранов 7.установка пластин н кассету происходит следующим образом.Прижим 5 отводят вверх до упора 20 в верхнее основание 1, ограничители4 пластин поворачивают, устанавливают в положение фиг.2) и Фиксируютфиксаторами 6. Затем поочередно устанавливают до упора в ограничители 25 4 пластин экраны 7 и пластины 8,после чего их центрируют ограничителями (фиг. 3) и зажимайт прижимом 5.После прижатия пластин ограничители 4 отводят в положение ( фиг.4) 30 .и фиксируют фиксаторами 6.8094 36 1 Предлагаемое устройство обеспечивает центровку пластин и экранов, а также за счет свободного доступа реагента к, обрабатываемым поверхностям пластин, обусловленного наличием Фасок и отводом от торцов пластин им ограничителей, позволяет получать на обрабатываемых пластинах фаски размером 0,7 20", наличие которых увеличивает процент годных при дальнейших операциях шлиФовки, полировки и доводки полупроводниковых пластин и повышает качество их поверхностей перед операциями Фотолитографии.Формула изобретенияКассета, преимущественно для обработки полупроводниковых пластин в высокочастотной плазме, содержащаяприжим и два основания, между которыми расположены ограничители для пластин, о т л и ч а ю ц а я с я тем,что, с целью повышения выхода годных,она снабжена выполненными по Формеполупроводниковых пластин экранами,на торцах которых выполнены фаски,а ограничители. для пластин установлены с возможностью поворота ификсации. Источники информациипринятые во внимание при экспертизе1. Патент США Р 3956036,кл. 148-188, опублик. 11.05,76 (прототип).80943 Ь А.А 9 ис. 3 Составитель Л. Гришковаактор Т.Мермелштайн Техред Ж.Кастелевич КорректорМ Коста Подпкс ноССР 795 ого комитета ий и открытиушская наб.,45/72 Тираж ВНИИПИ Государствен по делам изобрете 13035, Москва, Ж, Р
СмотретьЗаявка
2758094, 26.04.1979
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8495
МЫТАРЕВ НИКОЛАЙ МИХАЙЛОВИЧ, КОРЗИНКИН ВЯЧЕСЛАВ СТЕПАНОВИЧ, ВОРОБЬЕВ ВЯЧЕСЛАВ ЛАВРЕНТЬЕВИЧ, ЖУРАВОВ ВЛАДИМИР ДМИТРИЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/77
Метки: кассета
Опубликовано: 28.02.1981
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-809436-kasseta.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Кассета</a>
Предыдущий патент: Устройство для химического трав-ления изделий по заданному рисунку
Следующий патент: Устройство формирования много-ступенчатого квазисинусоидальноготрехфазного напряжения
Случайный патент: Устройство для удаления внутреннего грата в трубах