Способ фиксации полупроводниковых пластин
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 585565
Авторы: Власов, Зайцева, Полисан, Томашевский
Текст
ОП ИСАНИЕ Союз Советских Социалистических Республик61 Дополнительное к авт. свид-ву -8.75 (21)2165909/1заявки2) Заявл 51) М, Кл, Н 01 Ь 2 с присоединен Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изооретений и открытий) СПОСОБ ФИКСАЦИИ ПОЛ ВОДНИК ПЛАСТИН ной оси на 180, в этом положении устанавливают ее между продольными ограничителями рамы и растягивают.На фиг. 1 показана установка пластин вгнездах между витками пружины; на фиг, 2 - отражен этап растяжения пружины: на фиг. 3 - пружина с пластинами после извлечения из рамы и на фиг. 4 - хранение и транспортировка пластин при произвольном попожении рамы.В исходном состоянии в раму 1 с продольными ограничителями 2 вводят растянутую цилиндрическую пружину 3, имеющую захваты 4 и прицепы 5 (см. фиг, 1, 2). В гнезда, образованные витками пружины, устанавливают полупроводниковье пластины 6, погле чего пружину снимают с рамы, сжимают, поворачивают на 5 180 вокруг продольной оси и вновь устанавливают ее с помощью захватов 4 и прицепов 5,Рама, ограничители и захваты могут бытьизготовлены из химически стойкого материала, а металлическая пружина заключена в эластичную оболочку из того же материала.Предложенный способ позволяет обрабатывать, хранить и транспортировать пластины как в сжатом состоянии пружины (см. фиг. 3), так и при ее растяжении с последующей установкой между ограничителями рамы. В последнем слуб чае при любом положении рамы обеспечивается Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов и можетиспользоваться при обработке, транспортировке и хранении полупроводниковых пластин.Известен способ фиксации полупроводниковых пластин при групповой обработке, предусматривающей их установку в радиальные пазыкассеты, 1. Однако он не совершенен из-занедостаточной надежности фиксации пластинпри транспортировке и хранении.Наиболее близким к изобретению техническим решением является способ фиксацииполупроводниковых пластин, включающий растягивание цилиндрических пружин между продольными ограничителями рамы, установкупластин между витками пружины и сжатиепружины 2,Известный способ позволяет зафиксироватьпластины при технологической обработке, однако, при хранении и транспортировке пластинвозможно их выпадение из гнезд, образованных витками пружины.Целью изобретения является повышение надежности фиксации пластин.Достигается это тем, что после установкипластин пружину снимают с рамы, сжимают,поворачивают сжатую пружину с зафиксированными в ней пластинами вокруг ее продольолисан и А, В, Томашевскнадежная фиксация пластин в гнездах, образованных витками пружины и продольными ограничителями рамы (см, фиг. 4). Формула изобретенияСпособ фиксации полупроводниковых пластин, например, при выполнении технологических операций и транспортировке, включающий растягивание цилиндрических пружин между продольными ограничителями рамы, установку пластин между витками пружины и сжатие пружины, отличающийся тем, что,с целью повышения надежности фиксации пластин, после установки пластин пружину снимают с рамы, сжимают, поворачивают сжатую пружину с зафиксированными в ней пластинами вокруг ее продольной оси на 180, в этом положении устанавливают ее между продольными ограничителями рамы и растягивают.Источники информации, принятые во внимание прн экспертизе:1. Авторское свидетельство СССР203788, 10 кл. Н 01 1. 21/00, 1967.2. Патент США3610613, кл. 269 в 2,1971.585565 ИИПР 1 ссуда рственногопо делам изо113035, Москва, Ж- филиал ППП Патент,Уж едактор Е. Гончар аказ 5058/43 Составитель Ю. ехред О. ЛуговаяТираж 976 комитетретени5, Рау етков Корректор П.Макарев Подписное а Совета Министрои открытийшская наб., д. 4/5 город, ул. Проектна
СмотретьЗаявка
2165909, 15.08.1975
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2763
ВЛАСОВ АЛЕКСЕЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, ЗАЙЦЕВА АЙТА КОНСТАНТИНОВНА, ПОЛИСАН АНДРЕЙ АНДРЕЕВИЧ, ТОМАШЕВСКИЙ АЛЕКСЕЙ ВАЛЕНТИНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/68
Метки: пластин, полупроводниковых, фиксации
Опубликовано: 25.12.1977
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-585565-sposob-fiksacii-poluprovodnikovykh-plastin.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ фиксации полупроводниковых пластин</a>
Предыдущий патент: Способ выявления микродефектов в монокристалическом кремнии
Следующий патент: Устройство для присоединения выводов радиоэлементов к печатным платам
Случайный патент: Микропрограммное устройство управления