Интерференционный измерительлинейных перемещений

есС юфннй йТЕН. м-ГРИМ .СЫМ ют О П И С А Н ИЙ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(43) Опубйиковано 07,01.81, Бюллетень1 (45) Дата опубликования описания 22.01.8(72) Авторы изобретения зов и А, А, Щуренков ольцов, В. П. Михеев, Б, С(71) Заявитель Московский ордена Трудового Красного Знамени инженернофизический институт(54) ИНТЕРфЕРЕНЦИОННЫЙ ИЗМЕРИТЕЛ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙНа чертсхема измерИзмеритМайкельсонгерентногозрачного зеля 3, отраб, генератодиафрагмыизбиратель еже ариведена функциональнаителя.ель содержит интеа, состоящий из источсветового излучения,ркала 2, подвижногожателя 4, пьезопреобра 6, полупрозрачное8 и 9, фотоприемникные усилители 12 и рферомет,р ника 1 ко- полупро- отражатеразователя зеркало 7; и 10 и 11, 13, диффеИзобретение относится к,измерительнои технике и может быть использовано при из:мерении линейных перемещений в,виброизмерительной технике, станкостроении,оптическом приборостроении и т. д,Известен интерференционный измеритель линейных перемещений, содержащий одночастотный источник когерентного светового излучения, полупрозрачное зеркало, неподвижный и подвижный отражатели, фотоэлектрические преобразователи, формирователи и реверсивный счетчик, подключенный к выходам формирователей 11,Недостатком такого измерителя является погрешность измерения, вызываемая дрейфом характеристик фотоэлектрических преобразователей и формирователейНаиболее близким техническим решением к изобретению является интерференционный измеритель линейных перемещений, содержащий на оптической оси интерферометр Майкельсона с элементом скани,рования в опорной ветви, светоделительный элемент, установленный на выходе интерферометра, два фотоприемника, два измерительных усилителя, дифференциатор, сумматор, фазометр с индикацией целого числа периодов, выход дифференциатора соединен с первым входом сумматора, а вход подключен к выходу первого избирательного усилителя, вход которого соединен с первым фотоприемником, выход сумматора соединен с первым входом фазомеэра, второй вход сумматора подключен к,выхо.5 ду второго избирательного усилителя, входкоторого соединен с вторым фотоприемником,12.Недостатком этого измерителя являетсяпогрешность измерений, вызываемая огра ниченной полосой пропускания избирательных усилителей при увеличении скорости измеряемых перемещений.Цель изобретения - повышение точности измерений.15 Указанная цель достигается тем, что известный измеритель снабжен блоком вычитания, выход которого соединен с вторым входом фазометра, а входы, подключены к выходам избирательных усилителей.ренциатор 14, сумматор 16, блок 16 вычитания, фазометр 17.Измеритель работает следующим образом. Излучение источника 1 когерентного светового излучения делится полупрозрачным зеркалом 2 на два направления: к подвижному отражателю 3, перемещение которого измеряется, и:к неподвижному отражателю 4, механически связанному с пьезопреобразователем б, совершающим колебакельные движения под действием сигналов, поступающих с генератора 6.Отраженные отражателями 3 и 4 лучи, интерферируют на полупрозрачном зеркале 7 и, отражаясь, попадают через диафрагмы 8,и 9 на фотоприемники 10 и 11. Сигналы с фотоприемников 10 и 11 усиливаются избирательными усилителями 12 и 13, настроенными,на частоту генератора б, выделяющими первую гармоническую составляющую информационных ситналов. Сигнал с выхода избирательного усилителя 12 дифференцируется дифференциатором 14.Сигналы с выхода дифференциатора 14 и избирательного усилителя 13 поступают ,на входы сумматора 16 и блока 1 б,вычитания.При перемещении отражателя 3 на выходе сумматора 15 и блока 16 вычитания формируются сигналы:У-, = сов И -4 а 4 ххУ,= - соз И +Ллгде а - амплитуда колебания отражателя 4;Х - длина волны когерентного источника 1; Р - частота генератора б; 1 - время;х - измеряемое перемещение отражателя 3, разность фаз которых измеряется фазометром 17,Формула изобретения10 Интерференционный измеритель линейных перемещений, содержащий интерферометр Майкельсона с элементом сканирования в опорной ветви, светоделительный элемент, установленный на выходе интерферо метра, два фотоприемника, два избиратель,ных усилителя, дифференциатор, сумматор, фазометр с индикацией целого числа перио дов, выход дифференциатора соединен спервым входом сумматора, а вход подклю чен к выходу первого избирательного усилителя, вход которого соединен фс первым фотоприемником, выход сумматора соединен с первым входом фазометра, а второй вход сумматора подключен к выходу 25 второго избирательного усилителя, входкоторого соединен с вторым фотоприемником, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, он снабжен блоком вычитания, выход которого соединен 30 с вторым входом фазометра, а входы подключены к выходам избирательных усилителей.Источники информациипринятые во35 .внимание при экспертизе:1, Патенх Великабритании1292902,кл. 6 01 В 9102, 1972,2, Соппез Р. апд М 1 сйе 1 6. Азгопогп 1 са 1Гоцг 1 ег Ьрес 1 гогпе 1 ег. Арр 11 ед Ор 11 сз, Ьер 40 1 евЬег, 1975,9, чо 1. 14, р. 20 б 7 - 20841 прототип).Тип. Х фил, пред. Патен Заказ 1754/б НПО Поиск Изд.135осударственного комите113035, Москва, ЖТираж 672 ПодписноСССР по делам изобретений и открыти Раушская наб., д. 4/5