Устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов

Номер патента: 780082

Авторы: Балюра, Рейнштейн, Шанин, Шатохин

ZIP архив

Текст

(22) Заявлено 2504 Р 8 (21) 2 б 09332/18-21с присоединением заявки ИУ(23) Приоритет Н 01 Ь 21/00 Государствеииый комитет СССР оо делам изобретеиий и открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ В КАССЕТУ КРИСТАЛЛОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Недостатками известного устройства является низкая производительность загрузки вследствие того, что вибратор обеспечивает движение кристаллов по плоскости вибролотка,только в одну сторону с малой амплитудой колебаний, а вакуум в устройстве используется дляудержания 1 кристаллов при повороте вибролотка на 180 иО нв способствует эффективности загрузки. Кроме того, появленке микротрещин и микросколов кристаллов вызывается интенсивным трением кристаллов между собой в связи с высокой (50 Гц) частотой колебаний вибролотка,Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может быть использовано для мехаиизацйй загрузки кассет деталями в радиоэлектронике.известно устройство для загрузки в кассеты плоских деталей типа диска, кристалла, прокладки, содержащее электромагнитный вибропривод, 10 форвакуумный насос и съемный виброло" ток с каналами и гнездами; через которые осуществляется вакуумный присос деталей, Однако известное устройство не обеспечивает ориентирован"5 ной загрузки в кассеты переходов полупроводникоьых приборов 11).Известно устройство, которое содержит электромагнитный вибратор с постоянной частотой колебаний,.виб ролоток, установленный наоси вращения, с двух сторон которого имеются трафареты с канавками и гнеэ" дами под кристаллы и отверстиями для вакуумного присоса, форвакуумный 25 насос с трехпозиционным распределителем. При работе устройства кристал" лы скользят по поверхности лотка, заполняя поштучно гнезда трафарета. Излишки кристаллов сходят через от 2крытый торец вибролотка в емкость.Загруженный вибролоток, прк включенном вакууме, поворачивается на 180о вокруг своей горизонтальной оси, при этом гнезда его трафарета устанавливаются соосно с отверстиями направляющей решетки. Под решеткой устанавли-, вается кассета. При выключении вакуума кристаллы фпод действием силы тяжести из трафарета вибролотка через отверстия решетки пересыпаются в кассету, укладйваясь в гнеэдахпроиз, вольно (21 .Цель изобретения - повышение произ-:водительности работы и уменьшенияповреждений переходов - достигаетсятемф что устройство для загрузки вкассету кристаллов полупроводниковыхУприборов, содержащее соединенный свиброориводом вибролоток с гнездамИдля кристаллов и вакуумный присос,снабжено магнитными захватами истаканами для загрузки кассет с кристаллами, а,вибропривод выполнен в видедвух эксцентриковых валов, установ"ленных с возмбжностью их синхронного вращения при этом вакуумный присос соединен с гнездами вибролотка,в каждом из которых размещены магнитный захват и стакан, 15Вибролоток выполнен в виде платформы с шестью магнитными захватами для установки и фиксации стакановс кассетами. Устройство снабжено централизованной вакуумной системой, в которой вакуум периодически"прерывается двухпозиционным проб-ковым золотником(8 раз в минуту).Приводы золотника и эксцентриковыхвалов включаются одновременно, но25работа их независима, Одновременноевоздействие прерывистого вакуума исоударений стаканов об упругий грузв процессе вибрации способствуюториентации и загрузке переходов вкассеты,На фиг, 1 изображено предлагаемое устройство; на фиг, 2 - разрезустройства по оси эксцентрикового 6вала (ближний левый стакан с магнитного захвата условно снят)", на Фиг. 353 - увеличенное изображение возможных положений кристаллов на плоскости кассеты,Устройство состбит из,корпуса 1, на котором смонтированы дна эксцентриковых вала 2Платформа 3 с помощью кронштейнов 4 установлена на эксцентриковых валах, На платформе смонтированы шесть магнитных захватов 5, на которые устанавливаются стаканы б. 4 Привод эксцентриковых валов осуществляется электродвигателем 7 через клиноременную передачу 8,9,10 и зубчатые пары 11,12. Кассета 13 с помощью заглушки 14 устанавливается в 50 стакане б,в который навалом насыпаютя переходы 15, 16, 17, В кассете имеются сквозные, отверстия размером в 1, 5 диаметра электрода, Клапан 18 при установке стакана 6 на магнитный зах ват 5 опускается вниз, открывая вакуГруз 19 закреплен на упругих элементах 20. На трубопроводе централь ной вакуумной Системы установлен двухпоэиционный золотник 21 с индивидуаль.40 ным электрОпривОдом 22 е ЗОлбтник выполнен в Виде пробки со сквозным овальным отверстием.При вращении золотник эа один ОборОт дважды перекрывает условный про ход трубопровода, чем обеспечиваетсяпрерывистость вакуума в стаканах(8 раз в минуту),Работа устройства осуществляетсяследующим образом,Стаканы 6 с кассетами 13 устанавливаются на магнитный захват 5,приэтом клапан 18, утапливаясь, открывает вакуум. Переходы засыпаются встаканы на поверхность кассеты 13 вколичестве в 1,5-2 раза большем,чем число отверстий в кассете. Одновременно включаются электродвигатели7 и 22 привода эксцентриковых валови золотника, Вращение электродвигателя 7 через кинематическую цепь;клино"ременную передачу 8,9,10 и зубчатыепары 11,12 передается на эксцентриковые валы, которые вращаясь синхронно, обеспечивают вибрацию платформы 3 с амплитудой, равной двум эксцентриситетам.Частота вибрации платформы 3 регулируется числом оборотовэлектродвигателя 7, Благодаря вибрации небольшой частоты, но значительной амплитуды, переходы двигаются поповерхности кассеты, подскакиваявверх, меняют свое положение в пространстве стакана, Переходы 15, занявшие положение электродом книзу поддействием сил вибрации, тяжести ивакуума втягиваются в отверстие кассеты,а в положениях 16 и 17 (см,фиг,3)считаются незагруженными, В случае установки перехода 16 кристалломна отверстие, вакуум его притягиваетк кассете, но так как он прерывает-.ся, то такое положение переходабудет неустойчивым и кратковременным.Переходы 1 б,17 будут двигаться (пля"сать) по кассете до тех пор, пока незагруэятся в отверстие электродомкнизу,Для того, чтббы незагруженные переходы не сбивались в одну сторону встакане б иравномерно распределялисьпо поверхности кассеты 13, стаканв процессе вибрации соударяется с грузом 19, закрепленным на упругих элементах 20. После заполнения всехгнезд в кассете стакан снимается смагнитного прихвата, при этом егоклапан 18 поднимается, прерывает утечку вакуума, Из стакана с помощьюзаглушки 14 извлекается кассета илишние незагруженные переходы высыпаются в тару, Одновременно на платформе могут загружаться 6 кассет,процесс загрузки переходов в другихстак"анах аналогичен описанному. Формула изобретенияУстройство для загрузки в кассетукристаллОв полупроводникозых прибо"ров, содержащее соединенный с вибро"приводом вибролоток с гнездами длякристаллов, вакуумный присос, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с це"лью повышения производительности780082 и ВНИИПИ Заказ 933 б/19 Тираж 844 Подписи т, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 илиал ППП П работы и уменьшения повреждений переходов, оно снабжено магнитнымизахватами и стаканами для загрузки,кассет с кристаллами, а виброприводвыполнен в виде двух зксцейтриковыхвалов, установленных с воэможностьюих синхронного вращения, при этомвакуумный присос соединен с гнездами вибролотка, . в каждом иэ которых размещены магнитный захват и ста"кан,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР9 170581, кл. Н 01.3. 21/00, 1963,2. Авторское свидетельство СССРР 421073 кл. Б 01 Ь 21/00, 1972

Смотреть

Заявка

2609332, 25.04.1978

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4618

ШАТОХИН ПЕТР ЕВСТИГНЕЕВИЧ, ШАНИН ДМИТРИЙ ДМИТРИЕВИЧ, РЕЙНШТЕЙН АНДРЕЙ РИХАРДОВИЧ, БАЛЮРА ЛЕОНИД МИХАЙЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01L 21/00

Метки: загрузки, кассету, кристаллов, полупроводниковых, приборов

Опубликовано: 15.11.1980

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-780082-ustrojjstvo-dlya-zagruzki-v-kassetu-kristallov-poluprovodnikovykh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для загрузки в кассету кристаллов полупроводниковых приборов</a>

Похожие патенты