Номер патента: 780083

Авторы: Ивакин, Кандыбин, Комаров, Косилов, Осипов

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 050376 (21) 2330935/18-21 (51) М. Кл. с присоединением заявим йо(23) Приоритет Н 01 1. 21/66 Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий(71) Заявитель Воронежский политехнический институт(54) ЗОНДОВОЕ УСТРОИСТВО изобретение относится к областиэлектроизмерительной техники и можетбыть использовано для измерения электрических параметров интегральныхсхем,Наиболее близким к изобретениюпо технической сущности является зондовое устройство, содержащее диэлектрический корпус с электропроводящимзондом, причем электропроводящий зондвыполнен из жесткого материала 11) .Недостатком этого зондового устройства являются низкие производительность и точность измерений.Цель изобретения заключается в повышении производительности и точности измерений.Эта цель достигается тем, что взондовом устройстве, содержащем диэлектрический корпус с электропроводящим зондом, электропроводящий зондвыполнен из материала, обладающеготермоупругим фазовым превращением,например из сплава на основе меди:,С -М -й" - те- Ми,На чертеже изображена конструкциязондового устройства,Зондовое устройство содержит держатель 1, диэлектрический корпус 2,пружину 3, регулятор прижима 4,. зондодержатель 5 и электропроводящийзонд б.Эондовое устройство работает следующим образом.5 при измерениях зондовое устройство опускают на контактную площадкуисследуемой интегральной схемы, осуществляя при этом электрический контактэлектропроводящего зонда 6 с контактной площадкой, Индивидуальное нажа-,тие электропроводящего зонда брегулируется с помощью регулятораприжима 4Электропроводящий зонд б выполнен 15 из сплава на основе меди, например,Си -М- й;-Ре-Мл. Модуль упругости монокристаллов этого сплава на порядок иболее меньше такового для электропроводящих зондов, выполненных из жест ких материалов, Кроме того, монокристаллы этого сплава обладают аномально высокой упругой деформацией до10-15%.Низкий модуль упругости и высокаяупругая деформация монокристалловсплава Си -М-Н 1 -Ре-Мь гарантируютполную неповреждаемость контактныхплощадок исследуемой интегральнойсхемы при зондировании, причем,при ЗО многократном использовании электро780083 ль Т,КаратыКузьма Со авит ед М орректор Н.Григорук Т Т Редактор Н.Кога ПодписноеССР ираж 844ударственногом изобретенийсква, Е 35, Р Заказ 9336/19 ВНИИПИ Го по дела 11 3035, Мкомитета С открытий ушская наб д, 4/5 жгород,роектна Патент Филиал П проводящего зонда б получается досто-верная информация об измеряемых. параметрах, так как материал эйектропроводящего зонда б не проявляетостаточйой деформации при измерениях.Сплав Си-А 6"К-Ре-М обеспечиваетдолговечность изготовленного иэ негоэлектропроводящего зонда 6 безповторной заточки, что повышает производительность зондового устройствапри измерейиях. Вследствие своих особых упругих свойств электропроводящий зонд б обеспечивает постоянствоконтактных площадок исследуемой интегральной схемы, что позволяет повысить точность измерений. Использование мягкого электропроводящего зонда в зондирующем устройствепозволяет проводить электрическиеизмерения параметров различного рода микрообъектов, в том числе и интегральных схем, без их поврежденияформула изобретенияЗондовое устройство, преимущественно для измерения электрическихдараметров интегральных схем, содержащее диэлектрический корпус с электропроводящим зондом, о т л и ч а ю -щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности и.точности1 О измерений, электропроводящий зондвыполнен из материала, обладающеготермоупругим фазовым превращением,например из сплава на основе меди:Сн-АВ-Ре- М -Ын,1 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Патент СНА М 3611128,кл. 324-72,5, 1971 (прототип) .

Смотреть

Заявка

2330935, 05.03.1976

ВОРОНЕЖСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

ОСИПОВ АЛЕКСАНДР НИКОЛАЕВИЧ, КОСИЛОВ АЛЕКСАНДР ТИМОФЕЕВИЧ, КОМАРОВ ВИКТОР ГРИГОРЬЕВИЧ, КАНДЫБИН ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ, ИВАКИН АНАТОЛИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: зондовое

Опубликовано: 15.11.1980

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-780083-zondovoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Зондовое устройство</a>

Похожие патенты