Криоконденсационный насос

-О С НИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 090278 (21) 2577424/25-Об (51) М. Кл. с присоединением заявки Нф. СССР по делам изобретениИ и открытиИ(.54) КРИОКОНДЕНСАЦИОННЫИ НАСОС 1Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано Ь вакуумных криоконденсационных насосахЙэвестны вакуумные криоконденсационные насосы, содержащие корпус с рас положенным внутри охлаждаемого экра. на конденсациооным элементом, выполненным в вида сосуда, заполненного хладагентом Щ .Известный насос работает следую О щим образом.После охлажденияэкрана и нредвари. тельного охлаждения конденсационного элемента в виде сосуда, в него заливают хладагент. Поверхность конден сационного элемента принимает рабочую температуру и откачивает поступающий в насос газ.При работе в области высокого вакуума насос обеспечивает стабильность 20 откачкиОднако в случае больших газовых и тепловых потоков на конденсирующую поверхность может произойти срыв ре" жима работы насоса из-эа незначительной массы и теплоемкости сосуда с хладагентом.Цель изобретения - обеспечение стабильности откачки при переменной тепловой нагрузке. Поставленная цель достигается тем, что в экране выполнена кольцевая емкость, заполненная порошком из тепло- емкого материала и соединенная с сосудом посредством трубопроводов, один нэ которых герметично подсоединен к нижней части емкости и верхнему торцу сосуда и снабжен заслонкой, а второй - введен в емкость и сосуд, и его концы расположены относительно верхней торцовой поверхностиемкости и днища сосуда с зазорами.На чертеже изображен криоконденсационный насос, разрез.Криоконденсационный насос содержит корпус 1 с расположенным внутри охлаждаемого экрана.2 конденсационным элементом, выполненным в виде сосуда 3, заполненного хладагентом.В экране 2 выполнена кольцевая емкость 4, снабженная патрубком 5 с вентилем б, заполненная порошком 7 из теплоемкого материала, например меди. Кольцевая емкость 4 соединена с сосудом 3 посредством трубопроводов 8 и 9, один иэ которых герметич но подсоединен к нижней части емкости 4 и верхнему торцу сосуда 3 и снабжен заслонкой 10 н отводом 11 к источнику давления (на чертеже не пока779627 формула изобретения зан), расположенным между заслонкой10 и .сосудом 3, а второй -"введен ь,емкость 4 и сосуд 3 и его концы расположены относительно верхней торцовойповерхности емкости 4 и днищав . сосуда 3 с зазорами..Предлагаемый насос может работатьв двух режимах.В" области вйсокого вакуума при от-,качке объемов с небольшим тепловыде-лением от размещенных в них; объектов 10при этом масса рабочего элемента минимальна и в области давлений от 1 10.до высокого вакуума при откачке объемов со значительными циклическими те"йловцми нагрузками. В этбм режиме мас. 1 Яса рабочего элемента максимальна,В том и другом режимах предварительноеохлаждение рабочих элементовнасоса до промежуточной температурыможет быть осуществлено без применения второго хладагента, например жид" " кого азота, что упрощает и удешевляет технологию пуска насоса.Перед охлаждением насоса теплоемкий порошок 7 через патрубок 5 загружают в кольцевую емкость 4 охлаждаемого экрана 2, При охлаждейии"экрана2 порошок 7 охлаждается вместе" с нйм.Затем открывают заслонку 10 и подаютпорошок 7 в сосуд 3. Ввиду большойтеплоемкости порошка и малой массы -, 30сосуда 3, конденсирующие поверхностипоследнего охлаждаются до температурыпорошка;При рботе насоса в первом режимепорошок транспортируют из сосуда 3 35в. емкость 4, следующим образом.Закрывают заслонку 10 и через отвод 11 от внешнего источника давленимподают газ хладагента, используемогов,рабочем цикле. 40Газ проходит по трубопроводу 8 иувлекает йорошок в трубопровод 9. Нвыходе из трубопровода 9 порошок к газ сепарируются и газ отводится через патрубок 5, а порошок остается в емкости 4. После удаления из сосуда 3 порошка, в него заливают хлада- гент. Насос готов к работе.При рботе насоса во втором режиме, порошок 7 не удаляют из сосуда 3 и он"увеличивает теплоемкость рабочего элемента насоса.Использование такого,криоконденсацйонного йасоса в экспериментальных установках с изменяющимисяпараметрами требуемых режимов откачки и характеристиками испытуемых объектов обес. печивает поддержание устойчивого режима откачки прй использовании одной единицы откачного оборудования вместо нескольких, что дает значительную экономию. Криоконденсационный насос, содер-,жащий корпус с расположенным внутриохлаждаемого экрана конденсационнымэлементом, выполненным в виде сосуда,заполненного хладагентом, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюобеспечения стабильности откачки припеременной тепловой нагрузке, в экране выполнена кольцевая емкость, заполненная порошком из теплоемкого материала и соединенная с сосудом посредством трубопроводов, один иэ которыхгерметично подсоединен к нижней части емкости и"верхнему торцу сосуда исйабжен заслонкой, а второй - введенв емкость и сосуд, и. его концы расположены относительно верхней торцовойповерхности емкОсти и днища сосуда сзазорами.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1; Патент СШЛ 9 3797264, кл. 62- .779627 Составитель Т.ДовгелРедактор И.Ковальчук Техред Н,Вабурка ректоо.Н. Бабинец Подписно 725ого комитета СССРний и открытийРаушская наб., д. 4/ акаэ 7990/47ВНИИ Тираж Государствен елам иэобрет Москва, Ж11303 Филиал ППП фПатеитф, г, Ужгород, ул. Проектная,