Способ получения дифференциального спектра

(54)(57) СПОСОБ ПЦИАЛЬНОГО СПЕКТРАдание монохроматита, падающего на фл и ч а ю щ и й слью упрощения и уддифференцированиепо длине волны осущструктуре типа МДПприемником. олупроводнико Роуз В. "Апа 1.)704 УДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ООО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕКИЙ И ОЧЯфЬ 1(71) Институт физики пСО АН СССР(56) 1. 0 геюз К.Е. Вц 11 аЯос, ч. 12, р. 384, 1967.2. 01 зоп Е.С., А 1 юау ССелеш", ч. 32, р. 370 (196 ОПОЕНИЯ ДИФФЕРЕН- включакщий созеского потока свеотоприемник, о т - я тем, что, с цеешевления способа, потока излученияествляется наявлякщейся фотока), что в каждый момент времени фото-ЭДС соответствУет стационарномузначению, сигнал фототока в случаеинверсии или истощения на поверхности полупроводника бпределяется соотношениемгдеР)е- равновесная концентраО.1ция дырок;К - постоянная Вольцмана, Т - абсолютная теьшература,сзаряд электронаС" - геометрическая емкостьдиэлектрика.уровень нс нкекции, определяемый из диффузионного уравнения может быть записан в виде 8 =Н а 6), гдето(сС)- некоторая функция коэффициентапоглощения М ,стремящаяся к асимптотнчес кому йредву с ростом М . Поэтому, если проводитьзапись спектра в области энергии, где 1 Ы) практически постоянна (1) ( дляе при 300 К, это область энергии больше 0,85 эВ, а при 80 К -" больше 0,9 эВ),.то фо- тотокопределяешься только изменениями интенсивнбсти излучения; Йагде це в .- скорость разверткиспектра.Пример выполнения способа. Ис- . пользованы стандартные приборы; мо" нохроматор ЮцР(с решеткой 600 шт/мм), электрометр У 5-6 и самописец с временной разверткой. В качестве прием-. нйка для пблучения обычного спектра взят ФЭУ, и для получения дифференцйальнбго спектра - иДп-. конденсатор -Це бО -Я К -АВ сполу 1.4прозрачным алюминиевым электродом.Данная структура изгбтовлена по стандартной ппанарной технологии для 4 е. Источник излучения - ртутная лампа ПРК. Запись дифферент льного спектрапроизводится по следующей схемеИедленным вращением решетки монохроматора, обеспечивающим квазистационарность тока, производится изменение дпйныволны падающего нафотоприемник света. 11 , 764467Изобретение относится к областиспектрометрии и может быть испсаьзовано в молекулярной "спектроскоуйии.Йзвестны способы получения диффе-ртенйййльносго спектра,основанные на зполученйина выходе монохроматора"модулированного по длине волны пучкасвета Ц . К вх ведсстетеев следуетотнести необходимость введения конструктивных изменений в монохроматоры,мсогущих привести к ухудшению разреше.ния.Наиболее близкйм техническим ре шением являешься способ получения диф.ференциального спектра, включающий И" создание монохроматического потокасвета, подающего на фотопрйемник 2,в котором производная по длине волны"получается в результате обработкиспектра на вычислйтельнсых машинах, 20К недостаткам этого способа сле " дуеФотнести-его"высокуюстоимсостьи сложность.Целью изосбрстетнйяс"яйляетсся-упруощенйе и удешевление способа получения дифференциального спектра.Это достигается благодаря тому,что дифференцирование интенсивности"своа "пб"длине волны осуществляется" на структуре тйпа ИДП, являющейся фотоприемником.Данный способне изменяет схемы-.йзмеренйя" спектров пропускания иизлучения образцов и не требует вве " ";Ьещ яс йовьнсконструктивных элементов З 5в спектральных приборах. Сигнал, пропорциональный йроизводной.интенсивйбстиссспо-для Нес волны,"ИбййИегбяпри измерении фототока,. возникающего в МДПСтруктуре при изменении количестсваносйтелей, гденсерйрсовеатниьй светомв полупроводнике. Для измерения фототока не требуется Модуляции све""товогопотачка, таккак при сканировании йроисходйт изменение интен- . 45сивности света, попадающего на фо" гбйрисемник, во "времени.,ИПД-конденсатор может бйть любого типа, где одной обкладкой является полупроводник. Необходимамапая величина темиовых токбв и наличме приповерхностной облсастй просстранстсевеенйогсо "зарядаПри скорости разверткйсеспектра,ьбесптечивающей такое изменение уровняинжекции ( 8 д, где 61-"избы-точная концентрация дырок, п 1 У - собствейная концентрация полупроводни/ Заказ 9230/3 Тираж 822 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5Филиал ППП"Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 У3 764467" 4Сигнал с ИДП-структуры усиливает- обозначен обычный спектр, пунктирнойся электрометром и записывается на дифференциальный. Дифференциальный самописце, временная развертка ко- спектр .получен при скорости сканироторого синхронизирована со скоростью вания 1 А/с, при температуре жидко- вращения решетки монохроматора, го азота. Бып использован бе р-типас удельным сопротивлением 0,5 ОмсмЕсли в ИДП-структуре не имеется при 300 К. Толщина двухслоного диинверсии или истощения на поверхнос- электрика 50+5 М 1000 А, Апюмити полупроводника за счет встроенно- ниевый полупрозрачный (507) электрод го заряда, то необходимо. подать на 1 а имеет размер 0,04 см, входное соструктуру постоянное напряжение со- противление электрометра 10 6 м. Мас 6 м ,ответствующей полярности, штаб для дифференциального спектраНа чертеже изображены спектры жел,2 В/см, что соответствует току в