Устройство для контроля качества соединений при ультразвуковой микросварке

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пц 743816 Союз Советских Социалистических Республик(61 Дополнительное к а свид-ву 22) Заявлено 04.11,78 (21) 2692936/25-27 с присоединением заявки Ме М ла ЗК 19 0 осударствениый комите СССР23) Приоритет43) Опубликовано 30,06.45) Дата опубликования летень Ме 24 21.791.1 37(088 о делам изобретеии и открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОЕДИНЕНИЙ ПРИ УЛЬТРАЗВУКОВОЙ МИКРОСВАРК2 Изобретение относится к области производства изделий микроэлектроники и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. 5Известно устройство для дозирования энергии при ультразвуковой сварке по заданным значениям амплитуды колебаний в конце процесса, включающее в себя последовательно соединенные датчик амплитуды 10 колебаний сварочного наконечника, компаратор, реле времени и ультразвуковой генератор 111.Недостатком такого устройства является то, что качество соединений по уровню сиг нала амплитуды можно контролировать только для конкретных значений параметров процесса (мощности и усилия нагружения). В случае изменения технологических режимов или свойств свариваемых материа лов необходимо корректировать уровень срабатывания порогового устройства для отключения ультразвукового генератора. Так, с увеличением мощности амплитуда колебаний увеличивается, но поскольку от ключение произойдет по заранее выставленному уровню сигнала, то сварка завершится несколько позже.Наиболее близким техническим решением к изобретению является устройство, содер жащее датчик амплитуды колебаний сварочного наконечника, датчик температуры зоны сварки, датчик деформации присоединяемого проводника, выходы которых подключены к входу блока вычисления удельной прочности сварных соединений на срез, компаратор, реле времени, узел запуска и ультразвуковой генератор 2.Основным недостатком данного устройства является разброс прочности контактов в процессе эксплуатации сварочной установки из-за недостаточной точности и фиксации момента отключения ультразвуковых колебаний при достижении удельной прочностью сварных соединений на срез максимального значения.Целью изобретения является повышение точности и надежности работы устройства.Поставленная цель достигается тем, что в устройство введены последовательно соединенные аналоговый ключ и триггер, при этом один из входов триггера подключен к входу узла запуска, а другой вход соединен с выходом аналогового ключа, вход которого соединен с выходом компаратора. На фиг. 1 представлена структурная схема устройства; на фиг. 2 - график изменения выходного напряжения блока вычисления удельной прочности Уны во времени и,743816редное переключение триггера 8 и, следовательно, запуск ультразвукового генератора 10 могут произоити только прн подаче на второй вход триггера 8 пускового сш нала5 от сварочной установки.Таким образом, устройство исключает самопроизвольное включение ультразвукового генератора 10 после окончания процесса сварки, что значительно повышае 1 зочность 10 и надежность работы устройства контроля,Ф ор мул а изобрел енияУстройство для контроля качества соеди нений при ультразвуковой микросварке,преимущественно проволочных выводов с пленками на полупроводниковых материалах, содержащее датчик амплитуды колебаний сварочного наконечника, датчик тем пературы зоны сварки, датчик деформацииприсоединяемого проводника, выходы которых подключены ко входу блока вычисления удельной прочности сварных соединений на срез, компаратор, реле времени, узел 25 запуска и ультразвуковой генератор, о тличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности работы устройства, в него введены последовательно соединенные аналоговый ключ и триггер, при 30 этом один из входов триггера подключен квходу узла запуска, а другой вход соединен с выходом аналогового ключа, вход которого соединен с выходом компаратора,35 Источники информацш 1, принятые во внимание прп экспертизе1. Родионов В. А., Маслов Г. Л., Михалев М. И., Шишняев В. И., Славинский 3. М, 40 Повышение стабильности качества микросварных соединений. Труды МИЭМ Специальные вопросы сварки. Вып. 50. М1975, с. 22 - 26.2. Авторское свидетельство СССР по за явке2503333/25-27, кл. В 23 К 19/04,1977.743816 Составител Корректор О. Тюрю авлова хред акто пография, пр. Сапунова Заказ 1018/10 Изд.345НПО Поиск Государственного комитета113035, Москва, Ж,. КатинКуклина Тираж 1160 ПодписноеССР по делам изобретений и открытий аушская н аб., д. 4/5