Номер патента: 718953

Авторы: Бавыкин, Яблоков

ZIP архив

Текст

78953 7ФГЙЙА Я И ЕЗОБР ЕТЕ Н И Я Союз Советских Социалистических РеспубликАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ лнительное к авт. свид-ву 7.08.78 (21) 2652707/18-2 Г, Заявле исоединен осудзратвенный комит Приоритет - .Опубликовано 2 еньМ 8(088.8) та опубликования описан 8,021Изобретение относится к области элек. тронной техники и может быть использовано в системах йзмерения сопротивлення плоских пленочных резисторов и резистивных сборок.5Известно контактное устройство для контроля полупроводниковых структур" со держащее предметный стол с механизмом . перемещения, измерительные зонды и- оптическую систему 1110Недостатками этогоустройства явля-ются сложность и малая" производйтемь-"ность,из-за выполнейия операции совмещения, а также практическая невозможность перемещения полупроводниковой пластины с одновременным измерением электриче-.ских параметров структуры,Наиболее близкое к изобретению техни. ческое решение - контактное устройство, 20 содержащее основание для установкй подложки резисторов, механизм перемещения,датчики-щупы, расположенные-на диэлектрической пластине, направляющие диэлектрической пластины и электромагниты 2. 35Ошибки в измерении параметровобусловлены разной. величиной контактного сопротивления при последоватеЛьных измерениях одного и того же измеряеиого"элементаЗО Цель изобретения - повышение надежности контактированвя и точноспи измерения,Поставленная цель достигается тем, чадконтактное устройство, преимущественнодля. контроля сопротивления пленочных резисторов, содержащее осйование для установки подложки резисторов, механизм пе-реметчения, -датчйки-щ иы;" расположейКьтена диэлектрической пластине, направляющие диэлектрической пластины и электромагйиты, снабжено рамкой с пружинами .растяжения, при этом диэлектрическая пла-стина с датчиками-щупами закре 1 тлена напружинах растяжения рамки, электрома;ниты расположены на диэлектрической пла.стине, а основание выполнено из магнитного датериала,На фиг. 1 схематично показано предлагамое устройство в разрезе; на фиг. 2то же, вид сверху,Контактное устройство содержит основание - двухкоординатный стол 1 из Магнйтного материала "с системой управления,рамку 2 с жестко закрепленными на нейинструментом 3 подгонки (например, лазером) и направляющими 4. На направляющих над столом закреплена рамка 5, на которой устанавливаются фиксаторы 6. Вну 1 ри рамки 5 на растягнвающйх пружинах 7,НПО Поиск Государственного комптеа СССР по делая изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушскэя иаб.; д. 4/5

Смотреть

Заявка

2652707, 07.08.1978

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3312

БАВЫКИН БОРИС ВЛАДИМИРОВИЧ, ЯБЛОКОВ ЮРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H05K 1/04

Метки: контактное

Опубликовано: 29.02.1980

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-718953-kontaktnoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Контактное устройство</a>

Похожие патенты