Устройство для измерения времени жизни и коэффициента захвата молекул

Номер патента: 682806

Опубликовано: 30.08.1979

Авторы: Востриков, Куснер

МПК: G01N 25/14

Метки: времения, жизни, захвата, коэффициента, молекул, поверхности

...с изменяемой температурой 2,Однако известный способ разо вия сложен для использования. Целью изобретения является измерений. 5 Это достигается тем, что од с изменением температуры п производят измерение плотности камере торможения молекуляр внутри которой помещается и 10 поверхность, а время жизни поверхности т и коэффициент находят по следующим формул682806(Т) =Яп)и (Т) - 1(а,Оо лученные указанным способом на генераторе молекулярного пучка ИТФ СО АН СССР с помощью устройства для измерения времени жизни и коэффициента захвата молекул на поверхности, 5Кривые 1, 2, 3 соответствуют измерениям с соответственно увеличенной интенсивностью падающего молекулярного пучка, Кривая 4 получена при изменении С и т, когда падающий пучок был...

Номер патента: 1749782

Опубликовано: 23.07.1992

Авторы: Асалханов, Дарибазарон, Домбровский

МПК: G01N 21/21

Метки: адсорбированного, времени, молекул, поверхности, полупроводниковых, равновесного, слоя, состояния, установления

...близким по технической сущ- полируют, затем помещают в вакуумную каности к предлагаемому является способ оп- меру 9 и устанавливают на юстировочную ределения выхода на равновесное площадку, Череэвходноеокно 10 камеры на состояние методом нуль-эллипсометрии, 35 образец 8 направляют луч линейно полярио предусматривающий помещение исследу- зованного света под углом на 1 - 2 меньше емого полупроводникового материала в главногоуглападениядля поверхностиисвакуум, облучение его поверхности поляри- следуемого материала относительно нормаэовэнным излучением и определение рав- ли к его поверхности. Азимут поляризациио новесного состояния адсорбированного 40 луча может изменяться в пределах 0-360 слоя молекул методом гашения...

Номер патента: 1580852

Опубликовано: 09.06.1995

Авторы: Зыков, Качанов, Марущенко, Фареник, Юнаков

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, диэлектрических, мишеней, поверхностей

СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ В ВАКУУМЕ, включающий бомбардировку мишеней ускоренным пучком положительных ионов и компенсацию заряда электронами катода-нейтрализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности, на поверхность катода-нейтрализатора подают положительный потенциал (B), выбираемый из выражения5 kТ e < E; < U,где k постоянная...

Номер патента: 1829882

Опубликовано: 27.10.1995

Авторы: Головин, Искандарян, Кокорин, Потураев, Стирин, Хатков

МПК: G21K 1/08, H05H 6/00

Метки: вывода, заряженных, мишень, пучка, частиц

...частиц с энергетической дисперсией и имеет следующие матрицы перехода:в горизонтальной плоскости 35аР Из" 2 М" )"О-1 40 22 12 12 23ОО -1М " - соответствуощие элементы мат- рицыМ М 1,1 1где 1. = 45 а элементы матрицы М 1 имеют еледующийвид:М" =соз а+19 тзи а М"ц = р зи а;М"3= р(1 - соз а)1И = -(сова(Сдт +Йдт )-Б 1 па21 7 гк(1-1 Кт абдт1 2М 22 =соза+ 3 и ат 9 72М 23 - зи а+ 9 т г (1 - соз а);МЗ = О М 32 = В М 33в вертикальной плоскости1 2 М ММ гг гО 1-1 -96 6 О -1 О О Изобретение позволяет создать болеепростые и менее габаритные, зеркально симметричные телескопические магнитныесистемы для вывода пучков заряженных частиц на мишень. Габаритные размеры уменьшаются не менее чем в два раза, При этом отпадает необходимость относитель...

Номер патента: 491227

Опубликовано: 05.11.1975

Авторы: Мунтян, Шахов

МПК: H05H 7/00

Метки: механизм, мишени, перемещения

...основе шарнира Гука, а в виде двух цилиндров с пересекаюгцимися осями и связана через подшипники с корпусом устройства и вакуумным кожухом.На фиг, 1 показан предложенный механизм перемещения мишени в разрезе; на фиг. 2 - кинематическая схема.Механизм перемещения мишени состоит из кривошипной втулки 1, корпуса 2, втулки 3 с сильфоцом 4 и неподвижным фланцем 5, шестерни б, жестко связанной с кривошипной втулкой, шестерни 7 с электродвигателем 8, вакуумного кожуха 9, соединенного с мишенью 10, и подшипников 11 и 12. Втулка 3 с сильфоцом 4 и фланец б образуют герметичный сильфонный узел, который через уплотнительную прокладку соединяется с вакуумным кожухом 9 и мишенью 10.Механизм работает следующим образом.При вращении электродвигателя 8 и...