Устройство для химической и электрохимической обработки

,И 1 У 246 Союз Советских Социалистических Рвспублик(45) Дата опубликования онисания 30.01 51) М.Кл 2 С 22) Авторы изобретения В Лабунов, В. В, Белько, И, Л. Баранов и В. М. Кравчен отехнический институ Минский 71) Заявител УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОЙ ЕКТРОХИМИ Ч ЕСКОИ ОБРАБОТКИ вакуумнои и нагнетатель емкость для электролит Устройство относится к обласги электрохимии и может быть использовано дляанодного окисления изделий,Известно устройство для электролитического анодирования, состоящее из вакуумной присоски для крепления обрабатываемои детали, токоподвода, электролитической ванны и катода, в котором благодарязакреплению детали вакуумной присоскоиможно получать окисные пленки на однойстороне детали без дополнительной защитыдругой 11.Недостаток устройства заключается втом, что пары электролита взаимодействуют с необрабатываемой стороной детали.Кроме того, электролит под действием электростатических сил при больших напряженностях поля затягивается на обратную сторону детали, Это приводит к ее окислению,а при попадании электролита на токопод-вод - к пробою и прекращению роста окисла. Все это ограничивает качество анодногопокрытия обрабатываемой детали.Известно также устройство для химической и электрохимической обработки, содержащее анод, выполненный в виде штокас вакуумным присосом для крепления обрабатываемой детали, окружающий егокорпус в виде стакана, систему трубопроводов, соединяющих шток с вакуумным присосом и корпус сной установками, а и катод 2,Ы этом устройстве в стакане с центральным отверстием, через которое сжатый воздух подают на обрабатываемый образец, по периферии предусмотрены отверстия для отвода сжатого воздуха от детали. В результате деталь поддерживают в подвешенном положении на некотором расстоянии от стакана. Струя сжатого воздуха, обдувая необрабатываемую сторону детали, предотвращает попадание на нее электролита,Данное устройство по своей технической сущности и достигаемому эффекту является наиболее близким к изобретению.Однако в случае термостабилизации при температуре образца ниже точки росы окружающего воздуха на внешней поверхности стакана конденсируется влага, которая, стекая по внешней поверхности стакана, попадает на необрабатываемую сторону детали. Это приводит к затягиванию электролита на необрабатываемую сторону детали и ее повреждению.Целью изобретения является улучшение качества обработки путем термостабилизации и предотвращения конденсации влаги.Это достигается тем, что устройство снабжено цилиндром, установленным коаксиально корпусу и соединенным с нагнетательной установкой.На чертеже изображено предлагаемоеустройство.Устройство содержит цилиндр 1, установленный коаксиально корпусу 2, выполненному в виде стакана, шток 3 с вакуумнымприсосом для крепления обрабатываемойдетали 4, подъемное устройство 5, катод 6,электролитическую ячейку 7; ввод 8 термостабилизирующего газа и ввод 9 осушенного воздуха.Работа устройства заключается в следующем.Анодируемую деталь 4 нерабочей стороной притягивают к штоку 3 с вакуумнымприсосом и удерживают с помощью вакуума. Через ввод 9 подают осушенный воздухи с помощью подъемного устройства 5 деталь 4 рабочей стороной приводят в соприкосновение с электролитом, находящимся вэлектролитической ячейке 7. После соприкосновения с электролитом деталь 4 несколько поднимают вверх, чтобы образовался мениск, Через ввод 8 подают термостабилизирующий газ. Путем подачи напряжения на деталь 4 и катод б производят анодирование.При химическом травлении детали операции те же, за исключением подачи напряжения на обрабатываемую деталь 4 икатод б,Устройство обеспечивает поддержаниетемпературы образца в процессе анодирования равной - 20 С при рассеиваемой 35мощности на образце 45 Вт/см, что позволяет получить анодную пленку на обра:".;спз алюминия за 15 мпн толщиной в 30 мкм.В качестве термостабилизирующего газаиспользуют азот, испаряющийся из жидкого состояния, В качестве экранирующегогаза - осушенный воздух с точкой росы- 40 С,Без дополнительного цилиндра и экранирующего газа при условиях процесса, описанных выше, уяе через три минуты после начала анодирования на корпусе устройства конденсируется влага, которая, стекая, попадает на необрабатываемую сторону детали, затем попадает на токоподвод и приводит к замыканию электролит в токоподв анода, минуя обрабатываемую деталь, а следовательно, к прекращению процесса анодирования. Необрабатываемая сторона детали покрывается окисной пленкой, что приводит к браку детали.Использование изобретения позволяет увеличить качество и толщину анодного покрытия, а также повысить процент выхода годных деталей.Формула изобретенияУстройство для химической и электрохимической обработки, содержащее анод, выполненный в виде штока с вакуумным присосом для крепления обрабатываемой детали, окружающий его корпус в виде стакана, систему трубопроводов, соединяющих шток с вакуумным присосом и корпус с вакуумной и нагнетательной установками, емкость для электролита и катод, отлич а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения качества обработки деталей путем термостабилизации и предотвращения конденсации влаги, оно снабжена цилиндром, установленным коаксиально корпусу и соединенным с нагнетательной установкой.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Тсай. Неглубокие диффузионные слои фосфора в кремнии. ТИИЭР, т. 57,9, 1969, с. 38 - 45.2. Патент США3466079, кл. 294 - 64, 1969,712467 Составитель В. ТрегубовТехред А. Камышникова Редактор Д. Павлова Корректор В. Петрова Типография, пр, Сапунова, 2 Заказ 2792/18 Изд, Мв 120 Тираж 698 ПодписноеНПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5