Устройство для измерения вольтфарадных характеристик р-п переходов

(6) Дополнительное к авт. (22) Заявлено 21.12.76 (21 с присоединением заявки(23) Приоритет -Опубликовано 25.10.79. вид-ву2431808/18 51) М. 01 К 31 26 Государственный камнтет СССР по делам нзобретеннй н открытнйллетень39 ата опубликования описания 05.11.79(72) Авторы изобретен Ю. К. Голосов, М. ылова и В. Г. Митряев 71) Заявите 54) УСТРОЛСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВОЛЬТФАРАДНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК Р-П-ПЕРЕХОДОВИзобретсние относится к электронной тенике и может оыть использовано для из мерения вольтфарадных характеристик при производстве полупроводниковых приборов Известно устроиство для измерения вольтфарадцых характеристик р-п-переходов, в котором исследуемый р-п-переход подключается к выходу генератора через параллельный колебательный контур, настроенный на частоту измерительного сигнала и создает требуемый режим генератора измерительного сигнала, близкий к режиму генератора тока 1. Известно устроиство для измерения вольт фарадных характеристик р-п-переходов, содержащее последовательно соединенные эталонную емкость, первый коммутатор, авто- генератор, частотный детектор, соединенный со входом У осциллографа, второй вход первого коммутатора соединен с клеммой для подключения испытуемого перехода, а к третьему входу первого коммутатора подключен генератор, соединенный двумя своими выходами со вторым коммутатором, вход которого соединен с источником постоянного калиброванного напряжения 12.В известном устройстве на экране осциллографа наблюдаются две линии, положение первой цз которых определяется величиной 5 эталонной емкости, а положение второй -законом изменения емкости р-п-перехода от напряжения смещения. Эти линии перечеркнуты третьей, вертикальной линией, положение которой по горизонтали зависит от величины постоянного напряжения, снимаемого с источника калиброванного напряжения.Для определения значения емкости р-п-перехода в заданной точке вольтфарадной характеристики, необходимо выставить на источцике калиброванного напряжения за данную величину напряжения. При этом точка пересечения вертикальной линии с линией, соответствующей изменению емкости диода от напряжения смещения, будет соответствовать значению емкости диода при заданном напряжении смещения. Для определения вего .личины емкости в этой точке необходимо, изменяя эталонную емкость, подвести в эту точку линию, соответствующую эталонной емкости.Фс)р ила изс)бретени) Таким образом, ко входу авгогенера;ора поочередно подключается либо эталонная емкость, либо измеряемый р-ц-персхол. ца зо который подано запирающее напряжение от калиброванного источника 7, либо измеряемый р-п-псрехол, на который полацо пилообразное напряжецие от генератора 3. Тскич Ооразом, изхсц 55 этд;Оццчю с 0 х- кость, совчсщдют всртиказп цуо линию и линию, соответствуюп 1 ую величине эталонгой емкости, с линией волтфдряЛной характеристики тдкпч ооразоч, чтобы онц пересеклись в одной точке. Зн спис емкости р-и-пе 5 ресолд в заланцой точке смещения опрелеляется по лимбу эталонной емкости.Нелостатком известного устройства является наличие ошибки, возникаюц 1 ей из-за того, что прп совмещении трех линий точка пересечения становится сравнительно сосьшой, и точное опрелелецие мочснта совмещения невозможно. Кроме того, при опре,1 елсциц напряжения смепения в за;1 анной точке вольтфаралной характеристики булет присутствовать ошибка, если напряжение рдзнсргкп изменяется от периола к периоду1.с,ь изобретения - повышение точности пзчсрсния. Поставленная цель лостигается тем, что :выхол генератора соелицец со входом Х осциллографа, д выход второго кочмута"ора сосдицсц со вторыч вхолоч первого кочмутатора.На чертеже прелставлепд схсмд сшисываемого хстроиствд.Устройство солержит лвд кочмута"ора . 1, 2 генератор 3, цослсловдтельно включсццыс двтогсцерятор 4 и частотный летсктс.р 5, .осциллограф б, источник калиброванного цацря)кения 7, эталонную ечкость 8 и измеряемый р-и-перехол 9.Устройство работдсг следуощим образом. Генератор 3 вырабатывает пилообразное напряжение, ачплитула кох)рого может иЗ хецяться. )то напряжение через коммутатор 2 цоластся ца измеряемый р-и-переход. С лругого вхола кочмутдтора 2 ца р-и-персхол поЛается постоянное напряжение, величина которого может задаваться в заланцых пределах с заланцой точцостшо Коммутатор 40пол возлсйствием управляющего сигнала с генератора 3 подключает поочередно ко вхолу автогенератора 4 либо с одного вхола эталоннуо емкость 8, либо с лрусого вхоляизмеряемый р-ц-псрехол. Частота переключения кочмутаторав лва раза меньше частоты переключения коммутатора 2. Автогснератор генерирует частоту, значение которой пропорционально величине емкости, подключенной к вхс)лу генератора. С цохоцыо частотно о,стентора авгс)генератора - преобразуется в постоянное напряжение и далее;олается ца вход У осциллографа. На вхол Х осциллографа подается пилообразное напряжение, пропорциональное частоте сигнала с генератора 3 и синхронизированное с ним по частоте. Б результате на экране осциллографа имеется изображение трех линий, положение первой из которых опрелеляется значением эталонной емкости; положение второй - . значением емкости р-п-перехола при заданном фиксированном смещении, положение третьей законом изменения вольтфарадной характиристики в пределах амплитчлы сигнала с енератора 3. Дгя опрелеления значения емкости в заланной по напряжению смецения точке выставляют на источнике калиброванного напряжения 7 здлацное значение напряжеция и к линии, соответствующей значению емкости р-и-церехода Лля этого смещенияэкране осциллографа, полволят лиию, соответствующую значению эталонной емкости, изменяя значение последней. По лимбу эталонной емкости считывают значение емкости р-п-перехола в зала иной точке. Увеличение точности изчереция таким образом обеспечивается тем, что лля отсчета емкости р-п-перехода совмецаются только лвс линии, а нс три, яркостное пятно при этом значительно меньше. Кроме того, возчо)кно примсня-.ь,1 ля отсчет; четол вилки, что при совмещении трех линий практически це выполнимо, я изхенение амплитуды и форм сигнала с генератора 3 и сипала развертки не влияют на точность измерения в заланной точкс. В устройстве легко осуществить режич работь калиоратора. Устройство лля изчереция вольтфаралн.х характеристик р-п-перехолов, слержащее последовательно сое,1 иценные эталонную счкость, первый коммутатор, автогенератор, частотный,сетектор, соелинецный со входом У осциллографа, второй вхол первого коммутатора соелццсц с клеммой лля полключеция исптусх)го перехола, а к тре-.тьему вхолу первого коммутатора полключен генератор, сослицснцый двумя своими выходами со вторыч коммутатором, вхол которого соединен с источником постоянного калибровашого напряжения, отличающееая тем, что с целью повышения точности измерений, выход генератора соединен со входом Х осциллографа, а выход второго коххутах)ра с 0 слцнец со вторым вхолоч первого коммутатора.693273 Составитель А. Пурцхванидзе Редактор Л. Алексеенко Техред О. Луговая Корректор Н. Стец Заказ 606916 Тираж 1073 Подписное ЦН И И П И Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 45 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Карапашницкий И. А., и др. Г 1 олуавтоматическая установка для снятия вольтфарадных характеристик р-п-переходов,Приборы и техника эксперимента, 1976, Хо 3, с. 232.2. Аронов В. Л., Федотов Я. А. Испытание и исследование полупроводниковых приборов, М., Высшая школа,975, с. 126 5