Препаратоводитель для электронного микроскопа

Оее ИКАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республикелам ыэооретеиии открытий Дата Опубликован 2) Авторы изобретени М. Минцис, Н. А. Галинский, Н.3. Грушевский, В. Т. Черепиц и В Филякин Смирно Оы(54) ПРЕПАРАТОВОДИТЕЛЬ ЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПИзобретение о 1( ится к прелметным столикам для миц хопа. а именно к устройствам для пером; ц;ения образ,.а по координатным Осям, Оть(: кания изучас."(той Ооласти на образце и ос,Сдутоцего сканирования ее, и может найти применение 1;ри исследо- ВаНИЯХ РЗЛИЧНЫХ;Тт)Л,;НО , Г(тГЬЕКТОВ ПО. ЛУП РОВОДНИКОВОЗ П От(МЬ ПЛстт)ОСи На ПРЕ- цизионных микро(.и; В вакууме.Известен мани.,Тор для злектронного микроскопа, обеспчгцьаюц(иЗ еремещение образца по осям т,т,Е, а также Независимый наклон Образца О.(О тельно,1 Вух взаимно перпендикулярны., ой в птеделах +40 11,Известен также проаратополитель для сканирующего микроскопа, содержащий предметный столик, механизмы перемещения по осям Х, т и.шаговые приводы 2.Наиболее близким к изобретеш:ю по тех- ническоЗ суп(тостинляется . тройство, содержащее пре .ме т: ы З сттг ь. установленный с возмож.:;стьк тереме(ця вдоль трех взаимно пе 1. (дикул.(1.1 х координатных осей Х,)т", Я ц:юворота вокруг вертикальной ос, ктттц1: 1, Изма.ти перемещенияи)ворог.( 3 о-косО ктот)скос 1)оизв,)лс гвосного Знамени ццстытут 1 п)1. поло.ц Богомольца А 1,)краинсктт СОР Однако зто устройство имеет нелостаточные точность ориентапиц и эксплуатаццон.ную належность.Цельо изобретения является повыцениеточности орцентэтцщ и эксплуатационноЗ талеж(Ости.Это лостцгается тем, что в преллагаемомпрепаратоволителе механизм перемещения Вдоль Оси Е ВытОлнен в виле С-образного корпуса с закрепленными на нем шаговым приводом, )становленного вдоль вертикаль- О ной осц .",рт;летн .о столика и закрепленного на олной цз кареток перемещения по осям Х, т, т)цт.)тт которого расположен ползун с Возх:Ож;остью безлюфтового перемещения о р,",гулруемым шариковым опорам вдоль вертикальной осц предметного столика и имеютип упор, взацмолействующцй с консчными з:.кг 1 О(чатслями шагового привала при атс 1:11 г(с)тцк,1 льноз Оси пре.1 метного столика,к:ст., кслена шестерня, находящаяся в за тсц;сниц с жестко закрепленным на г) полуне шаговым рцволом поворота, а осьП;ЕЛМСТНОГО С)ОЛИКа Саожсна орОМ, ВЗаиц действуюцпм рц повороте предметного с;(:лт:,(т( на 1 Й) с полпружцненным коромыслом, попеременно замыкаюшим конечные выключатели привода поворота.На фиг. 1 показан описываемый препаратоводитель для микроскопа; на фиг. 2 разрез А - А фиг, 3; на фиг. 3 - вид механизма подъема и поворота сверху,Препаратоводитель представляет собой каркас, состояший из нижней 1 и верхней 2 плит, соединенных между собой колонками.На верхней плите 2 смонтирована на шариковых опорах каретка 3 перемещения по оси Х, а на ней таким же образом смонтирована каретка 4 перемещения вдоль оси У. Каретки перемешаются по осям Х и У посредством приводов 5 и 6, связанных с ними реечными передачами 7 и 8. На каретке 4 установлены механизмы 9 подъема и поворота, на выходной оси 10 последнего укреплен предметный столик 11 (фиг. 1).Механизм 9 подъема и поворота состоит из С-образного корпуса 12 (фиг. 2), в котором находится ползун 13, перемешаемый совместно с осью 10 вдоль корпуса 12. На оси 10 жестко укреплена шестерня 14, связанная с редуктором поворота 15. Упор 16, взаимодействующий с конечными выключателями 17, 18 привода подъема 19, служит для ограничения перемешения ползуна 13 с осью 10 вдоль оси 2: . В верхней части ползуна 13 смонтировано подпружиненное коромысло 20, укрепленное на оси 21, взаимодействуюшее при повороте с упором 22 оси 10 и конечными выключателями 23, 24 привода поворота 25 (фиг. 2, 3).Препаратоводитель устанавливается в ионном микроанализаторе при разряжении порядка 1 10 6 мм рт. ст. Устройством управляют с дистанционного пульта управления, на котором задают необходимый режим работы, скорость перемещения образца, зону сканирования и величину перемещения в этой зоне.При включении привода механизма подьема 19 перемешается ползун 13 с осью 10, жестко закрепленной с предметным столиком 11. Для врашения столика включают привод механизма поворота 25, который врашает шестерню 14, насаженную на ось 10. Вращение оси со столиком производится в обе стороны на 180. Для устранения мертвой зоны при повороте на 180 служит подпружиненное коромысло 20,Формула изобретенияПрепаратоводитель для электронногомикроскопа, содержащий предметный столик, установленный с возможностью перемеше 1 о ния вдоль трех взаимно перпендикулярныхкоординатных осей ХЯ,2 и поворота вокруг вертикальной оси Е, каретки с механизмами перемещения и повдрота, отличающийся тем, что, с целью повышения точности ориентации и эксплуатационной надежности, механизм перемещения вдоль оси Е выполнен в виде С-образного корпуса с закрепленным на нем шаговым приводом, установленного вдоль вертикальной оси предметного столика и закрепленного на одной из кареток пере О мешения по осям Х, У , внутри которогорасположен ползун с возможностью безлюфтового перемещения по регулируемым шариковым опорам вдоль вертикальной оси предметного столика и имеюший упор, взимодействующий с конечными выключателями шагового привода, при этом на вертикальной оси предметного столика жестко укреплена шестерня, находящаяся в зацеплении с жестко закрепленным на ползуне шаговым при водом поворота, а ось предметного столикаснабжена упором, взаимодействуюшим при повороте предметного столика на 180 с подпружиненным коромыслом, попеременно замыкаюшим конечные выключатели привода поворота.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Универсальный столик высокого разрешения. Приборы для научных исследований. 1968, Мо 7,40 2. П репа ратоводитель для сканирующегомикроскопа, проспект фирмы Ор(оп,ФРГ,1974, каталог Мо Р 41-820 Е.3. Патент ФРГ Мо 1789019, кл. 21 6 37/1 О,опублик. 1972 (прототип).Редактор С. ХейфЗаказ 5455/46 Составитель В иц Техред О. Луго Тираж 588 ЦН И И П И Государственного ком по делам изобретений и 113035, Москва, Ж - 35, Раушска лиал П П П Патент, г. Ужгород,