Установка для литья пленки

ОП ИСАН И ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1,65998 Союз Советских Социалистических Республик(53 юллстень 1 х"е 1 делам изобретеии" и откр 45) Дата опубликования описания 30.04.7(72) Автор изобретения ьчевский СТАНОВКА ДЛЯ ЛИТЬЯ Н И вышенне чиваемой тения является олщины из го Изобретение относится к устройствам для изготовления применяемых в электронных приборах эмиссионных, металлизационных, изоляционных и т. п. пленочных покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности.Известно устройство для изготовления пленок методом полива, содер,жащее литьевую головку, установленную над подвижной технологической опорной поверхностью, на которую через щель в головке поступает паста 1.Недостатком такого устройства является низкое качество изготавливаемой пленки, вызванное значительным изменением технологических свойств паст в процессе работы.Более близким к описываемому изобретению является установка для литья пленки, содержащая емкость с пастой, технологическую подложку, средства регулирования расхода пасты с исполнительным механизмом и блоком управления и устройство для отверждения пленки 21.Однако данная установка не позволяет получить пленку со стабильными размерами из-за изменения вязкости пасты в процессе работы и отсутствия средств, позволяющих компенсировать степень усадки пленки. Целью изобре постабильности т тав.пленки.Поставленная цель достигается тем, что 5 в установке для литья пленки, содержащей емкость с пастой, технологическую подложку, средства регулирования расхода пасты с исполнительным механизмом и олоком управления и устройство для отвсрж дсния пленки, олок управления выполненв виде пневмоизмеритсльного устрой тва с двумя рабочими камерамп, каждая из которы.; снабжена измерительными соплами, причем одна камера установлена пе ред устройством для отверждения пленки,а другая - за ним в направлении перемещения технологической подложки.Кроме того, измерительное сопло рабочей камеры, установленной перед устройст вом для отверждения пленки, смонтировано на сильфоне, полость которого сообщена с полостью рабочей камеры другого сопла.На фиг. 1 схематически изображена ус тановка для литья пленки с пневматическим исполнительным механизмом; на фпг.2 - то же, с пневхтомеханическим псполнптельным механизмом.Установка для литья пленки содержит 30 стол 1, подвижную технологическую подложку 2, расположенный над технологической поверхностью сушильныц агрегат 3, литейную оголовку 4 (емкость), к которой подведена пневмосистема 5,Головка 4 имеет литейную щель 6, а также отверстие 7, через которое полость головки связана с пневмосистемой 5, и отверстие 8, связывающее полость головки с атмосферой. Кроме того, головка снаожена системой регулирования расхода пасты, включающей исполнительный механизм, выполненный в виде пневмореле 9, установленного на входе пневмосистемы и головку, и блока управления им, выполненного в виде пневмоизмерительного устройства с двумя рабочими камерами 10 и 11 и, соответственно, двумя измерительными соплами 12 и 13. При этом сопло 12 закреплено на сильфоне 14, полость которого связана с полостью рабочей камеры 11, а полость рабочей камеры 10 связана с пневморелс 9. Установка содержит также устройство 15 для отверждения пленки.Работает устройство следующим образом.Под суммарным гидростатическим давлением и давлением газа, поступающего в полость головки 4 из пневмосистемы 5, паста через щель 6 поступает на технологическую подложку 2, на которой формустся слой жидкой пасты. Этот слой на подложке двикется от головки 4 к соплу 13, проходя под сушильным агрегатом 3, соплом 12 и устройством 15 для отверждения пленки. При изменении толщины слоя, вызванного изменением расхода пасты, из-за, например, изменения вязкости жидкости и, соответственно, изменении величины зазора между соплом и поверхностью слоя, изменяется давление в рабочей камере 10, Вследствие этого срабатывает пневмореле 9, изменяя величину воздушного потока, поступающего в полость головки 4. Изменение воздушного давления над зеркалом пасты приводит к изменению ее расхода и, следовательно, толщины формируемого жидкого слоя, Сформированный на подложке жидкий слой поступает в устройство 15 на сушку, во время которой он око чательно твердеет, претерпевая усадку и превращаясь в пленку. Готовая отвержденная пленка проходит под соплом 13. При отклонении толщины отвержденной пленки от заданного размера (например, из-за изменения степени усадки, обусловленного изменением количества связки в литейной пасте) изменяется давление в рабочей камере 11 и пневматически связанным с ней силь 5 10 15 20 25 ЗО 35 40 45 50 55 фоне 14. Спльфон, сжимаясь или разжи. маясь, изменяет положе ие сопла 12 на, подложкой, что приводит к изменению зазора между соплом и слоем материала и, тем самым, к изменению давления в рабочей камере 10, что вызывает, как уже было показано, соответствующее изменение расхода пасты.Таким образом, непрерывно происходит автоподналадка системы для корректировки размеров отвердевшей пленки в зависимости от изменения свойств литьевой пасты.Как показано на фиг, 2, исполнительный механизм может быть выполнс и в виде сильфона 16, полость которого связана с полостью рабочей камеры 10 и к которому прикреплена литейная головка 4, В этом случае изменение расхода пасты будет производиться изменением зазора между головкой 4 и подложкой 2, осуществляемым при изменснии давления в рабочей камере 10 и, соответственно, в сильфоне 16.Данная установка позволит получить высококачественную металлоорганическую пленку, применяемую в гибридных интегральных схемах, электронных вакуумных приборах и т, д. Формула изобретения1. Установка для литья пленки, содержащая емкость с пастой, технологическую подложку, средства регулирования расхода пасты с исполнительным механизмом и блоком управления и устройство для отверждения пленки, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения стабильности толщины изготавливаемой пленки, блок управления выполнен в виде пневмоизмерительного устройства с двумя рабочими камерами, каждая из которых снабжена измерительными соплами, причем одна камера установлена перед устройством для отверждения пленки, а другая - за ним в направлении перемещения технологической подложки.2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что измерительное сопло рабочей камеры, установленной перед устройством для отверждения пленки, смонтировано на сильфоне, полость которого сообщена с полостью рабочей камеры другого сопла.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Заявка Франции2016141, кл. В 05 С 5/00, опублик. 1970.2, Патент США3422494, кл, В 291 Э 7/10, опублик, 1969,