Патенты с меткой «диффузантов»

Номер патента: 581378

Опубликовано: 25.11.1977

Авторы: Васильев, Самойликов, Сербин

МПК: G01F 13/00

Метки: газа, диффузантов, дозирования, жидких, носителя, поток

...в потоке газа-носителя, а с уменьшением зазора увеличивается диф фузионное сопр Явление, и уровень концентрации наро-газовой смеси уменьшается.Йозатор жидких диффузантов в потОе га за носителя может быть использован в диффузионных системах автоматизированных поточных линий с управлением технологичео ким процессом от злеетронно.вычислитель иых машин при производстве микроприборов.Предлагаемое устройство позволит управ лять концентрацией наро-газовой смеси в широком диапазоне при непрерывном пози ровании и тем самим повысить качество диффузионных слоев по электрофизическнм свойствам, воспроизводимость их параметров и выход годных микроприборов. 5813783фузанта в дозирувщем сосуде задается и поддерживается нагревательным устройсъвом,...