Устройство для определения конца травления плоских изделий

(11)ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистицеских Реса убттик(22) Заявлено 04.01.7 заявкиисоединецце осударственныи коцит Совета Министров ССС оо делам изобретений и открытий.10.77, Бюлл 5) Дата опубликования описания 01.7) Авторы изобретения Хапчик И отин,. Кот 71) Заявител(5 ТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОТРАВЛЕНИЯ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ повышение оборудоваа го;шых 1Изобретение относится к области радиоэлектроники и предназначено для определения конца процесса травления при изготовлении изделий радиоэлектроники (печатных схем, сеток электронно-вакуумных приборов ц т. д.).Известны устройства, позволяющие определять конец процесса травления, содержащие ряд травильных камер с регулируемой подачей травителя и измерительные устройства-денситометры, которые контролируют размер отверстий в изделии по интенсивности светового потока после каждой камеры травления 1). Результат измерения учитывается при дотравливании уже в следующей камере травления.Недостатком указанных устройств является их высокая стоимость, сложность изготовления, настройки и эксплуатации,Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для определения конца травления плоских изделий, содержащее камеру травления, оптический преобразователь, устройство возврата и отсчетное устройство, включающее электродвигатель и кинематически связанные понижающий редуктор, отсчетный диск и конечный выключатель 2),Для данного материала изделия и состава травителя экспериментальыо определяется время травления. Это время устанавливается ца отсчетцом диске реле. Прц заходе изделия в камеру травления включается реле с заданной выдержкой, После отработки выдержки 5 реле выдает сигнал на удаление изделия цззоны обработки.Известное устройство имеет ряд недостатков, Изменения концентрации травцтеля и, следовательно, его активности в процессе р 10 боты, разнотолщцццость заготовок, колебаниятемпературы раствора вызывают появление брака по цедотраву цлп перетраву изделий, что снижает производительность травцльцых установок, уменьшает процент выхода годных 15 изделий. Ручная коррекция установки времени травления по результатам контрольного травлецпя усложняет обслуживание ц снижает качество изделий.Целью изобретения является20 производительности травцльногоцця и повышение процента выхо;изделий.Для этого устройство дополнительно содержит блок управления, а устройство воз- -"5 врата выполнено в виде последовательно соединенных коммутирующего устройства и генератора фиксированных частот, выход которого соединен с зажимаш электродвигателя отсчетного устройства, а его конечный выклю- ЗО чатель соедццен с одним цз входов блока уц равления, второй вход которого соединен с выходом оптического преобразователя, при этом один из выходов блока управления соединен с затвором камеры травления, а второй - со входом коммутирующего устройства.Сущность изобретения поясняется чертежом.В состав устройства входят оптический преобразователь 1, блок 2 управления, коммутирующее устройство 3, генератор 4 частот, отсчетное устройство 5.Оптический преобразователь 1 является индикатором наличия кассеты в (амере и состоит из осветителя и фотоголовки с усилителем постоянного тока. Блок 2 управления предназначен для управления затвором травильной камеры и коммутирующим устройством и состоит из набора реле, Коммутирующее устройство 3 предназначено для переключения режимов работы генератора частот и выполнено ца реле. Генератор 4 частот предназначен для питания электродвигателя отсчетного устройства, Частоту генератора можно изменять от 20 Гц до 50 Гц, в результате чего изменяется и скорость вращения электродвигателя отсчетного устройства, а при изменении фазы - и направление вращения. Коммутирующее устройство 3 и генератор 4 частот составляют устройство возврата.Отсчетное устройство 5 предназначено для фиксации отрезков времени травления и дотравливания и состоит из электродвигателя, понижающего редуктора, отсчетного диска с упором и конечного выключателя.Устройство работает следующим образом.В исходном положении фотодатчик засвечен, отсчетное устройство 5 в крайнем положении, при котором упор отсчетного диска находится на вьи(лючателе, электродвигатель отсчетпого устройства 5 выключен, затвор камеры травления открыт. С поступлением изделия в камеру травления фотодатчик оптического преобразователя 1 затеняется. На выходе преобразователя появляется сигнал наличия изделий в камере травления, которьш поступает в блок 2 управления. Блок 2 управления вырабатывает сигнал, по которому коммутирующее устройство 3 включает геператор 4 частот таким образом, что вал двигателя отсчетцого устройства начинает вращаться с постоянной скоростью Ч,. Конечный выключатель освобождается и цо его сигналу в блок 2 управления последний закрывает затвор. Идет процесс травлеция,При появлении в изделии первых протрав- ленных отверстий фотодатчик засвечивается и оптический преобразователь 1 вырабатывает сигнал, который поступает в блок 2 управления. Блок 2 управления формирует сигнал,5783674по которому через коммутирующее устройство 3 на выходе генератора 4 устанавливается напряжение с частотой, соответствующей установленному коэффициенту пропорциональности и фазой, которая меняет направление вращения вала электродвигателя отсчетного устройства 5 на обратное,Таким образом, диск отсчетного устройства вращается в обратном направлении (к ис 1 О ходному состоянию) со скоростьюТЧя отлично от скоросги 1 рКгде- скорость прямого хода (за время1 г травления до получения первыхотверстий),К - коэффициент пропорциональности,Чг - скорость обратного хода (за время дотравливания),20 Идет процесс дотравливания.Когда диск отсчетного устройства 5 приобратном ходе возвратится в исходное поло.жение (начальная точка отсчета временицикла травления) упор диска нажимает ко 25 цечный выключатель. По сигналу конечноговыключателя блок 2 управления отключаетэлектродвигатель отсчетного устройства 5 иоткрывает затвор травильной камеры,Изделие уходит из 1(амеры.30Формула изобретения Устройство для определения конца травления плоских изделий, содержащее камеру зз травления, оптический преобразователь, устройство возврата и отсчетное устройство, включающее электродвигатель и кинематически связанные понижающий редуктор, отсчетцый диск и конечный выключатель, отли.40 ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышенияпроизводительности травцльцого оборудования и увеличения процента выхода годных цз.делцй, устройство дополнительно содержит блок управления, а устройство возврата вы полцсцо в виде последовательно соединенныхкоммутирующего устройства и генератора фцксцроваццых частот, выход которого соедц.пец с зажимами электродвигателя отсчетцого устройства, а его конечный выключатель сос= ;0 дццец с одним цз входов блока управлениявторой вход которого соединен с выходом оп.тического преобразователя, при этом один из выходов блока управления соединен с зат.вором камеры травления, а второй - со вхо.дом коммутирующего устройства,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США М 3816214, кл. 156 - 3,60 1974.2. Дружинин Г. В. Реле времени. 71966, с. 65.Корректор Л. Орлова Редактор Г, Лановая 11 одписиос Заказ 7485 МОТ, Загорский ф:,лиал 1 зд. М 85-1 Тираж 1,130 1 ПО Государственного комитета Совета Министрсв СССР по д;лам изоэрстений и открытий 11035, Москва, 5 К-З 5, Раушская наб., и. 415