Устройство для определения формы электродов электронно оптической системы

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик с(22) Заявлено с присоединением заявкиГосударственный коннтет Совета Мннпстроа СССР по делан нзооретеннй и открытнй(45) Дата оп ликования описания 0211.7 Местечкин, А. В. Мышпецов, Г. П. Егоров и С, М. Попов(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ФОРМЫ ЭЛЕКТРОДОВ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫзатрон- оряж я фороитионный стоые ее Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при обработке элементов электроннолучевых приборьв различного назначения.Получение электронных пучков с заданными параметрами (первеансом пучка, диаметром пучка, положением кроссовера относительно анода и др.) необходимо при создании высокоэффективных приборов, Расчет эпектронно-оптических систем методом анализа - трудоемкий процесс, так каданные характеристики электронногоопределяются конфигурацией эпектронттических систем. Метод синтеза эпекно-оптических систем значительно ускет процесс разработки таких систем,не все требуемые параметры пучка мрассчитывать этим методом,В связи с этим представляет интерразработка устройств дпя опредепенимы электродов реальной зпектронноческой системы, формируюшей электрпучок с заданными параметрами. В наящее время созданы специапизированньакуумпые установки - анализаторы э тронного пучка, которые позволяют измерять параметры пучка, сформированного электронной пушкой Ю . Однако заданные параметры пучка прн работе этих устройств могут быть получены путем исследования электронных пушек с различной геометрией электродов, что является трудоемким прсцессом.С целью устранения таких измерений раз- О работаны устройства дпя перемещения эпектродов электронно-оптической системы в вакууме, но в этих устройствах можно изменять только взаимное положение электродов, а не их форму.15 Ближайшим техническим решением к изобретению является устройство, содержащее вакуумную камеру, электроды эпектроннооптической системы, измерительный зонд и механизм перемещения электродов1.Й этом устройстве между катодом и анодом устанавливают набор дисковых зппп ктродов, на которых потенциалы распрод - лены таким образом, чтобы обеспечить наилучшую форму пучка. Затем найденное распре.депенис потенциала и распопожение дисковых электродов воспроизводится в электри" ческой ванне, в которой определяют распределение потенциала вполь границы лучка. После атого на электролитической ванне набор дисковых алектродов заменяется од ннм алехтродом, форма которого подбираетвя такой, чтобы не изменилось найденное распределение потенциала вдоль границы ручка,Недостатком устройства является слож О Оф 9 ть отработки электронно-оптических гнетем.Целью изобретения является оперативное ойределение формы алектродов для заданффй конфигурации алектронного пучка. ВПоставленная цель достигается тем, что электроды выполнены в виде наборов коакскальных цилиндров, снабженных держатейями, а механизм пеоемещения состоит из рВстемы рычагов, поочередно охватывающих ф держатели цилиндров.На чертеже показано предложенное устройство, продольный разрез.Электроды электронно-оптической системы (фокуснрующий электрод и анод состоят иэ набора коаксиальных цилиндров 1 с держателями 2, присоединенными к подввкным пластинам 3, Перемещение кои- спальных цилиндров один относительно друГого осуществляется при помощи координатного механизма 4, который через сил фон 5 передвигает шток 6 перпендикулярно оси вакуумной камеры 7 до упора в одну иэ подвижных пластин. После касания керамическим наконзчником 8 пластины 3 двн-женче штока вдоль направляющего цилинд,ра 0 продолжается до тех пор, пока упор 10, перемещающийся в пазу 11, не коснеъся стенок паза, Двигаясь, шток 6 нажимаэт на пружину 12, обеспечивая необходимое ;силие прижима пластины 3, а также перемещает опору 13, которая нажимает на колесики 14 н давит на тормозные пальцы 15 с керамическими наконечниками 16, стянутые45 пружиной 17, ослабляя их усилие прижима подвижных пластин 3.После атого при помощи координатйого механизма 4 подвижная пластина 3, а вмеэ. те с ней и цилиндр-электрод перемещаются на соответствующее расстояние. При передвижении одной .подвижной пластины остальные пластины 3 находятся в состоянии покоя вследствие того, что они зафиксированы тормознымн пальцами 15. Количество тормозных пальцев определяется числом коаксиальных цилиндров, иэ которых состоит электрод.Конфигурация электродов ьзменяется путем изменения взаимного положения коексиальных цилиндров, иэ которых набран алектрод.При изменении формы алектродов перв- метры электронного пучка контролируются при помощи измерительного зонда 18, форму алектродов варьируют до тех пор, пока значения контролируемых параметров пучка не будут соответствовать требуемым Изменение формы электродов осуществляют либо вручную, что являетсятрудоемким процессом. либо автоматически. Тогда к устройству подключается мини-ЭВМ, которая обрабатывает поступающую в иее информацию о пучке и вырабатывает управляющие воздействии по соответствующей программе.Формула изобретенияУстройство для определения формы электродов электронно-оптической системы, содержащее вакуумную камеру, электроды электронно-оптической системы, иэмерителы ный зонд, механизм перемещения электродовотличвющееси тем,что, с целью оперативного определения формы электродов для заданной конфигурации алек тронного лучка, электроды выполнены в виде наборов коаксиальных цилиндров, снабженных держателями, а механизм перемещения состоит из системы рычагов,поочередно охватывающих держатели цилиндров.Источники информации, принятые во вни мание при экспертизе;1. Егоров Г, П. и др. Применение установки комплексного исследования электронных пучков при разработке алектронно-оптических систем алектровахуумных приборов, ЦНИИ Электроника, М., 1974 г, "Экспериментальные методы исследования электронных пучков", серия Электроника СВЧ, вып./23/, с, 3-5.2, Ргоа( Й.Р. е 1 а 1, Электронные пушки дли формирования сплошных пучков . с большим первеансом н высокой сходимостью.Ргос оТЬе 1 КБ ч.50, Ку 8, 1962, р, 1840-1848575713 Составитель В. Обухов Техред А, Демьянова К Т, Орловская ор В. Сер Редакт Заказ 404 ЦНИИд. 4/ я н илиал ППП Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4 37Государспо1130 Тираж 976венного комитета Советалам изобретений и откры5, Москва, Ж, Раушск ПодписноеМинистров СССРий