Кассета для полупроводниковых кристаллов

ВСйСОЮЗНМЯт 71 Г. : У 4 +; л с.: .1 т т.ъэ . км 1 чо тенй лЬ, 1546 О 45 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Соыиалистических Ресиублик(43) Опубликовано 05.02,77. Бюллетень(45) Дата опубликования описания 23,03.7 овета Министров СССво аелам изобретений(71) Заявите ЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХР ИСТАЛЛОВ(54) КАССЕТА ствие трения между проволаками; стенки ячеек для кристаллов имеют разную высоту; возможна вибрация проволочек, приводящая к нарушению ориентации ранее уложенных иристаллов; отсутствуют базы, обеапечиваюющие устойчивое положение кристаллов при снятой крышке,Таким образом, известные кассеты удовлетворяют условиям выполнения отдельных операций с кристаллами и не могут быть использованы в качестве межоперационных сквозных накопителей.Цель изобретения - ,расширение технологических возможностей кассеты.15 Эта цель достигается тем, что в дне ячеекоснования выполнены крестообразно расположенные выступы в виде клиньев, причем полости, образованные выступами, переходят в сквозное отверстие в центре ячейки.2 О Благодаря этому кристалл базируется пожестким выступам, находясь в ячейке-углубленни, и имеет минимальный контакт с поверхностью кассеты, в результате чего обеспечизается доступ для очистки по всей поверхности кристалла. Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, а именно к сборочным процессам, и может найти применение в качестве скзознь 1 х межоперационных накопителей, в тпропзводстве интегральных схем.Известна кассета, содержащая рамку гнездами для размещения кристаллов, которая свободно установлена на рабочей плоскости основания и поджимается к одной староне плоскими, пружинами 1.Эта кассета обеспечивает укладку, выборку, визуальный осмотр, но не обеспечивает очистку тсристаллов.Наиболее близким техническим решением является кассета для полупроводниковых кристаллов, содержащая крышку в внд е рамки с натянутыми яроволоками и осиование с ячейками, несущими сквозные отверстия, образованные также перекрестно нагянутыми проволоками (2.Данная кассета обеспечивает очисттку кристаллов, но ненадежна в работе, так как затрудняет операции ориентированной укладки, выборки и визуального осмотра кристаллов. Это объясняется тем, что при смыкании основной и накладной рамок и в лроцессе укладки и выборки кристаллов происходит;изменение;координат расположения ячеек относительно установочных баз вследНа фиг. 1 и 2 изображена предлагаемая кассета в двух проекциях; на фиг. 3 - узел 1 на фиг. 1; на фиг, 4 - разрез по А - А на фиг. 1.Кассета содержит основание 1, на рабочей поверхности которого, имеются ячейкиуглубления 2 для кристаллов, и крышку 3,представляющую собой,рамочку 4 с натянутыми проволоками б. Дно ячеек углубленийимеет,крестообразно расположенные угловыевыступы б, которые образуют лолостн 7, переходящие в сквозное отверстие 8 в центреячейки 12.Кассета работает следующим образом,При подаче кассеты для укладии кристал, лов снимается крышка З,и кристаллы укладываются в ячейки-углубления 2 на четыревысту(па б, обеспечивающие устойчивое положенне кристаллов. При этом не лроисходит 15нарушения ориентации ранее уложенных кристаллов, так псак погрешность кристалла вячейке 2 определяется только гарантированным зазором между ним и поверхностьюячейки.ф 20После заполнения ячеек 2 кассеты основание 1 закрывается крышкой 3 проволокиб которой, прилегая к поверхности основания,удерживают, кристаллы от выпадания, и кассета передается на операцию очистки,25Кассета помещается,в промывочную жидкость,;и при ее колебании жидкость проходит через центральное отверстие 8 полости7, смывает кристалл и выходит в свободныепространства между проволоками 5 или совершает обратное движение.Затем кассета передается на операциювизуального контроля, снимается крьцика 3, После этого кассета передается на операцию,выборки н монтажа кристаллов, при этом, перед выборкой кристаллы сохраняют свое положение, определяемое только размерами ячеек. После окончания выборки кассету возвращают на операцию уклад 1 ки. Цикл повторяется,Формула изобретения Кассета для,полупроводниковых кристаллов, содержащая крышку в виде рамки с натянутыми лроволоками и основание с ячейками, несущими сквозные отверстия, отл ич а ю щ а я с я тем, что, с целью расширения ее технолотических возможностей, в дпе ячеек основания вылолнены крестообразно расположенные выступы в виде клиньев, причем полости, образованные выступами, переходят в сивозные отверстия в центре ячейки. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе изобретения: 1. Авторское1314254, кл. Н 2. Авторское1802878/25, кл,тотии.546045 А-Д ставител ед Тираж 1019комитета Совета Министровретений и открытийРаушская наб., д. 4/5 ПодписноеСР Тип, Харьк. фил. пред. Патент Редактор С. ТитоваЗаказ 73/149ЦНИИПИ Изд.415 уда рственног по делам иМосква, Ж