Устройство контроля контактирования зондовых установок

ОЛ КСАНМЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Рь в-. рвид ву 1 47ц 621) 2100073/21 ЬНОЕ ОПОЛНИ М. Кл,В 01 В 31102 О 01 Н 31,28 Н 05 К 1308(22) Заявлено 09,01.75 с присоединением зая Гасударственный аоиет Совета Манастроа ССС го делам азооретевий и открытей23) Бриорит (43) Спублик ЕОЛ ЛЕТЕН ано 05.10 6 1.3 88.8) бликования Опнсачи(71) Заюнте СТГОИС"ВО КОЯТРО ЕЧ КОНТАкТИРОВИР ЗОНДОВЫХ УСТАНОВОК то в гчается теьдва ключа еле пинены с соответымц контактами ы - со входеенця соединее с обмоткой ми) с кт которого ва, а норма ько, еинетьш контакт подключа лцруемой цнтегральноГ подсоещцяется к исто е ключей связаны соотв элемента ИЕ - ИЛИ и с амкнкоцтро тся к землянок и схемы, вход перв чнику цапряжени етсгвенцо с одним резисторами,ключа вецход входо из еая схем ставлена структ В известных устр отсутствия замьнсани Однако указанная неи шапки кон томощью 1 контакта усмон инте-7 соедцктромзгцит. е контакты ерительногс 1 роли зондо щ эле и контроле цнтегр нных пластинах., чт мально ззмкнуть со входами цзм,НС, Цель изобретения 7 ных возможностей ус еутые кон .12 - сое акты реле с четныдццены с злемениства контроля Изобретен"е относится к вычислительной технике, может бе, ь использовано в автоматизированных устройств, контроля интегральных схем для обна- ружения э.:меякация зондов зондовых установок,Извтцы устройства контроля коцтз 1 стцровзния,:.х,дящие в кснструкиию зондов эондовых устаногок, в которых прц касании зонда кремниевой пластины разрывается специальный кон гзкт.Известно также устройство контроля контакти. рования зоцдовых установок авт,св, Р 472346), содержащее головки с зондамц, соединенные с подвижными контактами элек еромагнитных реле, измерительный блок, элемент НЕ - ИЛИ, триггер, источник напряжения, блок управления и резисторы, соединенные с нормально разомкнутыми кон. тактами электромагнитных реле. цствах невозможен контроль я между соседними зондами. справность часто встречается альных схем еИС) на неразреприводит к браковке годных- расешрениеунке иональ 37 (53) УДК э 96.664 11 редпз 1 аемое устройство отпнего введены дь эпемецгз ИЛИ,причем входы элементов ИЛИ ;оествующ 1 ми нормалино разомкнуэлектромзгцигнелх 1 йле, а выхоеэлемента РЕ - ИЛИ, бпок унрзвзуправлянятщмн нходамц ключей1 эзвленпя 1 эеле, подвижный контазан с земляной шиной устройс Из чертеже претустройства.Коцтактцьее плогральцой схемы 1 сняются с подвпжныъцых репе 8 - 13. Иорзтцх реле соединенаблока 14,Нормально рззоьпми номерами - 8,1томИЛИ 15 и через соответствующие резисторы 16,17,18 - с источником напряжения 19.Нормально разомкнутые контакты реле с нечетными номерами - 9,11,13 - соединены с элемен. том ИЛИ 20 и через соответствующие резисторь 21,22,23 и ключ 24 также подсоединены к источни ку напряжения 19. Выходы элементов ИЛИ 15 и 20 соединены с элементом НЕ - ИЛИ 25, который подключен к триггеру 26, а выход элемента ИЛИ 15 дополнтельно связан с выходом ключа 27, вход которого соединен с блоком управления 28, 11 од.вижцый контакт ре)е 29 соединен с земляной шиной устройства, через его нормально замкнутый ,контакт зонд 30 соединен с землянойшиной контролируемой схемы 1, а управляющая ,обмотка реле 29 связана с выходом блока управнсНИ 51 28.11 рц П 1 эО 3 сркс контКтирог)аИ 53 этгсктроспцгт. нью рейс 8-13 подсоединягот ЗОдь 2 7 через рсзис. торы 1 б, 17, 18, 21 - 23 к источнику царяжсия 19. Ключ 24, предсгавляющий собой рснс лоо полуроводциковый ключ, оекрыт. Ири отсутствии контакта между любым из зондов с одной из кои акпых площадок 3 псграньцой схемы ток через сооееествуО.Щий РЕЗЦСОР Е ЦРОТСКас Т, ЧСОРИВОДИТ КОЯБ)СНИС высокого потенциала па одном цз Входов злемста НЕ- ИЛИ 25 и цизкого поесцццана на его Выходе, Тр 1 гср 26 пр этом е пс 1)еорас,ВСс)1,свидстеньствуег обогсутссвконтакта зонда с когтактцой плОцалкОЙ иГ 1 егрссьОЙ схссчь. 1,мер зонда, цс имсцнцсго кота.;та с Выводом 05)т)шОувмои ПНГС 1)а;СЕНО С".сссс) с 1 ОП)СЛГ)35 С) Ся ПО Отсу 1 ств 10 тока через соотс) севуюццп рез 1.стОр,Цр 1 31 ровс 1 кс Отссгесеви 5 заь)ксци 5 сеждусоседими зондами по си Бну б)с)кс: уравлспся 28 реле 29 отсосдицясе зонд 30 от зсьн;ясюй шины, закрывается ключ 4 и открывастсл к)1 оч 27, гунтируя Выход знемета ИЛИ 15. Грс эоси сссрхссние с источника 19 поступает только ца зсцды четг 1 м 0;.срами. 1 Ок ссрез )езсто;ы 16,17,18 не проескасе. так как 5 си)зорвс )а сзс 29. На ВЬХОде З)СЕцта ИЛИ 15 ПОПВНЯЕтС 5 СИГ:35 "С;35 СЫца (ВысогсОГО ПОеснпиала 1, так как ца Все Бхоль ЭЛЕМЕта ИЛИ 15 ПОСтуБЮт СИС ца)П "с 3 с 33" О источцика напряжения 19 через рсзисторь 16,17,181, Иа входы элсмета ИЛИ 20 осту.,пают сггса)ы гуль" (изкого еОтссссссссс), еак как входы этого элемента отсос,ицсгы ое источци.мка напряжения 19 ключом 24. Си.3;с) "сдипца с элемента ИЛИ 15 шунеируется окрытым ключем 27. С элемента ИЛИ 20 еншмастся с 31 Нал б "нуль".Сигнал высокого 330 есцциана ца один из входовэлемента ИЛИ 20 поступает Только в том случае, если один из нечетных .Оно 35 3,5,7 замьцаееся с Н) 5одним из соседних четных зондов,4,б. Например, если замыкаотся между собой зонды 2 и 3, уровень высокого потенциала От источника напряжения 19 через резистор 1 б и замкутые зоцды 2 и 3 попадает на вход элемента ИЛИ 20. На его выходе 1 П 05 В)яется сигнал "единица", который через эле-мент НЕ - ИЛИ 25 устацавливает триггер 26 в исходное состояие,что свидетеньсгвуст о замыкании мсхсду зонтаь 5. 11 ри Отсутствии Замык 31015 эе 1 е брасывается Триггер 2 б, ЕС 5 ти имеюс) копакты зондов 2 -7 с контактными площ адка ми контролируемой ицгегральцой схсл1 и ет замыкепшя между зошсами 2 - 7, электромагитцые рене 8"-13 подсосдицяОт контролируемую схему 1 через свои Ор.сЯ)ыго замкнутые к 01 геакты к вывОдам изми.рц п;лыюго блока4,. коцтролируюцего .шсктричсскис параметры шТеграньной схемы 1.Формула изобретенияУст 1)с)ство коггро 5 Кслтдк 3 ировация 30 ндоВых устас)3)ок но авт. св. У 472346, ссл и ч а ющ С С С я ЕСМ, Чсс, С цСНЬЮ рССШцреИБ сЧс) 1;цИО.1 ПНЬЫХ БОЗМ)ЖБ)Сей, Б ЦССО ББСДС:ЦЫ ДВа ЭЛЕМСЦ.Ф Рта И 1 И,;3)а к)цсча и рене, причем Бхоы зсементов И.1 И а)сдцси с соответствующими нормаль.но разомкнутыми конта лами знектромагнитцыхреле,:3 выходы - со входами элемента НЕ- ИЛИ,блок уец)авлсЕПя сос.33 Нсц с уцтав)ян)шими Вхога 40ми к)1 Я)1 сй и с е)бмоткОЙ у 1 цэавлеп 5 1 эсле, пОдвижный косаке коеоро 0 связан с земляной шинойустройства, а юрмальцо замкнутый контакт подК;ЦОЧВЕТСЯ К ЗСМ)псцой ЦГИНЕ КОНЕРОЛЦРУЕМОй ИНТЕральной схемы, вход первого ключа подсоединяет 4 Ься к источнику напряжения, а выходы ключейсвязаны ссютвет твенно с одним из входов элемента Н 1. - ИЛИ и с резисторами,Сосиви 1 ель А. РассмогровТеаред М. Левицкая Корректор Н. ЗолотовскаяРедактор Б. ФедотовЗаказ 5406/149Тираж 1029 Подписное ЦНИИ 1 И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская на д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4