Магниторазрядный манометр

ОП ИСАНИЕизоьеЕтЮНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1111,) (-) Олпе льное к авт. с д-ву 22) Заявлено 16,06,75 (21) 2144765/ М. Кл.601 . 2.с-присоединением заявкиосударственнын номнтетСовета Мнннстров СССРоо делам нэаорвтвннйн открытнй(43) Опубликовано 05,09,76,53) УДК ллетень зз 1.788 (088.8(45) Дата опубликования опнсання 10,06,77, Грннченко и Б. П. Тихон явитель 54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ МАНОМЕТ ни и зависитмасла, попада во вре чества объем смене иониэации прнака литани являюще ние разряда в смене знака а и вре производить и ищения связан ано метра от измерите Цель изобретения - обеспечение непрерывного очищения электродов преобразователя от диэлек. трической пленки ионной бомбардировкой при переменном напряжении питания и проведение измерений при любом знаке напряжения питания, Это достигается тем, что в манометре цилиндрический электрод снабжен кольцевым выступом, расположенным между дисками стержневого электрода. Образование при этом схожих конфигураций разряд ного промежутка как со сторонывнутреннего, так и всшнс.о электродов обеспечивает возникновение разряда при одинаковом давлении независимо от полярности прокладываемого напряжения питаиня. Изобретение относится к области вакуумноиметрики, в частности к магнитным электроразрядным манометрам 11),Известен магниторазрядный манометр, электродная система которого содержит цилиндрический катод, закрытый с торцов крышками, и стержневой анод, который снабжен двумя или болеешайбами, размещенными на аноде в цилиндрической полости катода с зазором относительно одиндругого 2), Такой манометр обеспечивает очисткуанода от диэлектрической пленки ионной бомбар.дировкой при переполюсовке напряжения питания,что увеличивает срок непрерывной работы преобразователя без профилактического обслуживания. Однеко эа счет сдвига разряда при смене знака пита. 1 а ния в область более низкого вакуума очищение анода возможно только в сравнительно узкой полосе давления, В ряде случаев в силу технологических причин установить необходимое давление невоз-, можно, и, следовательно, не обеспечивается режим 20 очищения анода датчика.Выдержка преобразователя в течение какого-то времени при измененном знаке напряжения питавя не всегда приводит к полной очистке анода, так как образование пленки на аноде происходит стабильно 25 в основном только от колиющего непосредственно в бразователя. К тому же нри образуется пленка на другом ся в это время анодом. Возобласти более низкого ваку- питания не позволяет в это змерение давления, т.е. про с временным отключением льной цели.На фиг.показана электродная система мано метра; на фнг, 2 график зави имости разрядного гокаЕ отрицательной полярности по отношению к корпусу-земле н график разрядногс тока положительной полярности Зги по отноцгеник к корпусу-земле (соответственно ддя отрицательной и положительной полярности напряжения пита. ния).Электродная система манометра содержит внут. ренний стержневой электрод 1 и внешний цилии. прический электрод 2. Электрод ,; представляет собой стержень, на котором укреплены на некотором расстоянии один от другого два диска. Внешний электрод 2 - цилиндр, закрытый с торцов крышками и имеющий внутри кольцевой выступ 3. Магнитное поле Н направлено вдоль оси электродов 1 и 2, Диаметр и толщина выступа 3 выбирается из условия обеспечения максимального сближения по конфигурации разрядных промежутков как со стороны внешнего 2,так и внутреннего электродов 1.На любой из электродов 1 и 2 преобразователя подают знакопеременное напряжение питания, а измерение разрядного тока производят в цепи другого электрода. Таким образом, за полный период напряжения питания эа счет ионной бомбардировки катода происходит поочередное очищение электродов 1 и 2 манометра,Сближение характеристик по зажигаемо сти обеспечивает проведение при любом знаке напряже. ния питания измерение давления одновременно с обеспечением режима "самоочищения" преобразо. вателя. Описываемый маномегр с переменным ггапря.женисм питаппг с ффек игньм значением +25 кв, с частотой 501 ц, синусопдальной формы, при на.пряженности магнитноо поля ге менее 1100 э имеет стабильные характернсгики в области давлений 1,10 " - 1,10мм рт.ст. Время непрерывной работы без профилактического. обслуживания такого манометра на вакуумных системах, не имеющих защиты от проникновения паров масла в откачивае. ц мый объем в укаэанной области давлений, состави.ло не менее 4000 час,Формула изобретенияМагнитораэрядный манометр, содержащий ци.линдрический электрод с отверстием в торцовойкрышке и размещенный внутри него стержневойэлектрод с двумя дисками, о т л и ч а ю щ и й с яЮ тем, что, с целью обеспечения непрерывного очищения электродов от диэлектрической пленки ионнойбомбардировкой при переменном напряжении питания и возможности проведения измерений прилюбом знаке напряжения питания, в нем цилиндриМ ческий элек"род снабжен внутренним кольцевымвыступом, расположенным между дисками стержневого электрода,Источники информации, принятые во вниманиепри экспертизе:Зг 1, Лекк Жд. Измерение давления в вакуумныхсистемах, М., 1966, стр,122.2. Авторское свидетельство СССР Ио 417702,кл 6 0121/34, 1974,40 О 40Фиг, 2 Редактор Л, Ушакова Корректор И, Гоксич Тираж 1029 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская иаб., д. 4/5