Микрозондовое устройство

Номер патента: 514459

Автор: Коледа

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е ш 154459ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Серюу и. рн Соцнепа-слрц.нх Рс,п:.олнкс присоединением заявкиГосударственнн.й комнтетСовета Миннстров СССРпо делам наооретанф йн отнргнтнй(54) МИКРОЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в устройствах контроля на предприятиях, изготавливающих гибридные пленочные микросхемы.Известны микрозондовые устройства, содержащие закрепленное в корпусе диэлектрическое основание, выполненное в виде эластичной мембраны, на которой закреплены контактные элементы.Однако эти устройства не обеспечивают надежного контактирования из-за недостаточно пружинящих контактных элементов. С целью повышения надежности контактирования в предлагаемом устройстве каждыц контактный элемент выполнен в виде размегценного в отверстии мембраны Г-образного отрезка проволоки, один конец которого закреплен в корпусе, а другой, расположенный на поверхности мембраны, - на ее внутренней стороне.На фиг. 1 показано предлагаемое устройство в разрезе; на фиг. 2 - вид по стрелке А на фиг. 1; на фиг. 3 - поперечный разрез мембраны с контактными элементами; на фиг. 4 - устройство в рабочем положении.Микрозондовое устройство содержит корпус 1, на котором при помощи кольца 2 закреплена эластичная мембрана 3 из диэлектрической, например майларовой, пленки или мелкоячеистой ткани. Мембрана 3 имеет группу отверстий 4, диаметр которых равен 0,08 мм, топологическп соответствующих рас положению контактов проверяемой микросхемы.В отверстиях 4 находятся расположенныев плоскости мембраны 3 Г-образные отрезки проволоки элемента 5, одни концы которых 10 закреплены на внутренней стороне мембраныпрц помощи прцклеек 6. а другие проходят через отверстия 7 в мембране 3, далее через отверстия 8 в диэлектрической втулке 9 и припаяны к находящимся на ней контактным ле 15 пе,"ткам 10.Собранными в жгут 11 монтажными проводами 12 лепестки 10 соединены с измерительной аппаратурой.В механическом контакте с меморацой 3 па ходится состоящий из мягкой резины прижим13, над которым расположены прижимная планка 14, шарик 15 и винт 16.Корпус 1 закреплен в подъемном механизме 17 любой стойки 18 цзвсстного зондового 25 устройства, например, типов ЭМ,ЭМи т. д., содержащего регхлировочный столик 19 для закрепления и перемещения микросхемы, микроскоп 20 и дополнительно снабженного полупрозрачцым зерка лом 21.514459 1 Б16 14 Вид 4 Миг. 2 Микрозондовое устройство работает следующим образом.При помощи подъемного механизма 17 корпус 1 микрозондового устройства поднимают в положение, показанное на чертеже. Микросхему закрепляют на столике 19 и, перемещая последний, достигают совмещения наблюдаемых в микроскоп 20 через полупрозрачное зеркало 21 изображений контактов микросхем и контактных элементов 5 в областях их выхода из отверстий 4, Корпус 1 микрозондового устройства опускают, при этом контактные элементы 5 в области отверстий 4 контактируют с контактами микросхемы. Имеющийся разброс по высоте контактов микросхемы, достигающей -+0,030 мм, компенсируется локальными изгибами контактных элементов 5 мембраны 3 и деформациями прижима 13. Формула изобретения Микрозондовое устройство, содержащее закрепленное в корпусе диэлектрическое основание, выполненное в виде эластичной мембраны, на которой закреплены контактные 10 элементы, отлич а ющеес я тем, что, с целью повышения надежности контактирования, каждый контактный элемент выполнен в виде размещенного в отверстии мембраны Г-образного отрезка проволоки, один конец которого 15 закреплен в корпусе, а другой, расположенный на поверхности мембраны, - на ее внутренней стороне.514459 Улла О 15 юв Составитель Н. БлинковаТехред Т. Курилко ектор Т, Гревцова Редактор Т,ПодпнсСР ография, пр, Сапунова,1 аказ 1359/7 Изд, М 1375 ЦНИИПИ Государственного по делам изоб 113035, Москва, Ж Тираж 1029омитета Совета Министроветений и открытий5, Раушская наб., д. 4/5

Смотреть

Заявка

1977446, 19.12.1973

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4816

КОЛЕДА ФЕДОР АНДРЕЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: H05K 13/08

Метки: микрозондовое

Опубликовано: 15.05.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-514459-mikrozondovoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Микрозондовое устройство</a>

Похожие патенты