Устройство для регулирования давления в вакумной камере

(22) Заявлено 19.04.73 (21) 1923152,18-24 М. Кл. 6 056 16,20 присоединением заявки Государственный комитеСовета Министров СССР 23) Приоритетпубликовано 15,09.75. Бюллетень3ата опубликования описания 23.12.75 21.646,4088.8)(53) ло делам изобретены и открытий(71) Заявите 4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕ ДАВЛЕНИЯ В ВАКУУМН РОВАН И КАМЕРЕ ю камеру 1 камерой 2 и рядной каме катод 5, сое Изобретение относится к области автоматики, а более конкретно - к устройствам регулирования давления в вакуумных камерах.Известны устройства для регулирования давления в вакуумных камерах, содержащие разрядную камеру с установленными в ней катодом и анодом, соединенными с источником напряжения, и регулирующий вентиль с исполнительным механизмом, соединенный с разрядной камерой и магистралью подвода газа.Однако такие устройства не обеспечивают высокой точности регулирования давления,Цель изобретения - повысить точность регулирования давления.Это достигается тем, что предлагаемое устройство снабжено блоком сравнения, который соединен с источником опорного напряжения и исполнительным механизмом регулирующего вентиля, а в разрядной камере между анодом и катодом установлен плавающий электрод, соединенный с блоком сравнения, причем разрядная камера установлена между вакуумной камерой и регулирующим вентилем.На фиг. 1 изображена принципиальная схема устройства.Устройство содержит разряднуустановленную между вакуумнойрегулирующим вентилем 3, В разре имеются электроды: анод 4 и диненные с источником напряжения. Между анодом и катодом расположен плавающий электрод 6, соединенный с блоком сравнения 7.Блок сравнения соединен с источником опорно го напряжения 8 и исполнительным механизмом 9 регулирующего вентиля, Для расширения диапазона регулирования давления в разрядной камере установлен вспомогательный электрод 10, соединенный с источником пере О менного напряжения.Устройство работает следующим образом.В вакуумной камере 2 создают давление порядка 1 10 - - - 8 10 -мм рт. ст. В разрядной камере 1 давление автоматически устанавлц вается близким к давлению в вакуумной камере. Между анодом 4 и катодом 5 прикладывают потенциал 4000 В, на вспомогательный электрод 10 подают 200 В переменного напрякения. МеКду катодом ц анодоъ 1 зак 11 гается 20 тлеющий разряд, в котором существуют пространственные области с различным падением потенциала. При изменении давления в вакуумной камере 2 изменяется давление в разрядной камере 1. При этом пространственные 25 области разряда изменяют свое расположениеотносительно плавающего электрода 6, потенциал которого изменяется в зависимости от изменения давления в камере, Потенциал плавающего электрода подается ца блок срав нения 7, куда от источника опорного напря,-б жения 8 подается потенциал, соответствующий заданной величине давления в камере, полученный экспериментально. Разница потенциалов плавающего электрода и опорного напряжения поступает на исполнительный механизм 9 регулирующего вентиля.На фиг. 2 приведена кривая изменения потенциала плавающего электрода в функции от изменения давления в вакуумной камере, По оси абсцисс отложено давление в вакуумной камере в мм рт, ст., а по оси ордипат отложен потенциал плавающего электрода, в вольтах,Предмет изобретения Устройство для регулирования давления ввакуумной камере, содержащее разрядную камеру с катодом и анодом, соединенными с источником опорного напряжения, и регулируюгций вентиль с исполнительным механизмом, соединенный с разрядной камерой и Б магистралью подвода газа, отличающеес я тем, что, с целью повышения точности регулирования, устройство снабжено блоком сравнения, который соединен с источником опорного напряжения и исполнительным ме ханпзмом регулирующего вентиля, а в разрядной камере между анодом и катодом установлен плавающий электрод, соединенный с блоком сравнения, причем разрядная камера установлена между вакуумной камерой ц ре гулирующим вентилем,0 едакто Тираж 869овета Министров Сткрьтийб., д. 4/5 Изд.1801Государственного комитета С по делам изобретений и Москва, Ж, Раушская н Заказ 3398/6ЦИ 1 Л ПодписноеР Сапунов ипографии Составитель Б. АлександровНанкина Техред Л. Казачкова Корректор О. Тюрина