Патенты с меткой «вакумной»

Устройство для регулирования давления в вакумной камере

Загрузка...

Номер патента: 484506

Опубликовано: 15.09.1975

Автор: Александров

МПК: G05D 16/20

Метки: вакумной, давления, камере

...Для расширения диапазона регулирования давления в разрядной камере установлен вспомогательный электрод 10, соединенный с источником пере О менного напряжения.Устройство работает следующим образом.В вакуумной камере 2 создают давление порядка 1 10 - - - 8 10 -мм рт. ст. В разрядной камере 1 давление автоматически устанавлц вается близким к давлению в вакуумной камере. Между анодом 4 и катодом 5 прикладывают потенциал 4000 В, на вспомогательный электрод 10 подают 200 В переменного напрякения. МеКду катодом ц анодоъ 1 зак 11 гается 20 тлеющий разряд, в котором существуют пространственные области с различным падением потенциала. При изменении давления в вакуумной камере 2 изменяется давление в разрядной камере 1. При этом...